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本发明公开了一种多层式的多级阵列压力传感器。包含主要由底层、下隔空层、中间层、上隔空层和顶层依次从下到上紧密层叠构成的压力传感单元；底层的上表面设有三个沿圆周方向间隔均匀分布的底层电极，下隔空层和上隔空层中设有与三个底层电极位置对应的三个通...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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