The invention provides a method for preparing flexible devices. Firstly, the device is fabricated on a rigid substrate with a sacrificial layer on the rigid substrate. Then the sacrificial layer is dissolved by solvent to separate the device from the rigid substrate. Finally, the device is transferred to the flexible substrate and laminated to obtain the flexible device. Compared with the prior art, the method of the invention is simple and feasible, which can reduce the thickness of the flexible substrate, maintain the morphology of the flexible substrate, and reduce the limitation of the substrate on the device deformation, and has a good application prospect in the field of flexible electronic device technology.
【技术实现步骤摘要】
一种柔性器件的制备方法
本专利技术涉及柔性电子
，尤其是一种柔性器件的制备方法。
技术介绍
近年来，柔性电子学得到迅速的发展，许多研究人员已经研究出各种柔性的电子设备，如柔性传感，柔性显示器，柔性致动器，人造电极皮肤以及各种可穿戴电子产品等，而用于健康监测和医疗的可穿戴电子设备已有万亿级市场。例如，在柔性电子系统中存储器是用于信息存储和数据处理的重要组成部件，因此对存储器也提出了柔性化的发展要求。在众多的非易失性存储器当中，阻变存储器(RRAM)具有简单的三明治结构、操作速度快、功耗低、CMOS工艺兼容等优势。更为重要的是，RRAM在柔性化方面还具有器件结构简单(两端器件)，选材广泛等先天优势，使得其在下一代新兴柔性信息存储器中脱颖而出。有机材料具有较好的机械性能，但是基于有机薄膜的器件性能受控于外部的环境，造成阻变性能不稳定、器件易失效。与有机材料相比，无机材料具有很好的阻变稳定性，且不易受环境的影响。在无机材料中，特别是无定形氧化物，具有一定的优点，包括较好的柔韧性，较大面积的均匀性，较低的制备温度，这使得采用无机材料作为柔性RRAM的功能层成为可能。目...
【技术保护点】
1.一种柔性器件的制备方法，其特征是：包括如下步骤：(1)在刚性衬底表面设置可溶解于溶剂的牺牲层，在牺牲层表面制备器件；然后，利用溶剂溶解牺牲层，使器件与刚性衬底分离；(2)将器件转移至柔性衬底表面进行层压结合，得到柔性器件。
【技术特征摘要】
1.一种柔性器件的制备方法，其特征是：包括如下步骤：(1)在刚性衬底表面设置可溶解于溶剂的牺牲层，在牺牲层表面制备器件；然后，利用溶剂溶解牺牲层，使器件与刚性衬底分离；(2)将器件转移至柔性衬底表面进行层压结合，得到柔性器件。2.如权利要求1所述的柔性器件的制备方法，其特征是：所述步骤(1)中，牺牲层与器件之间设置保护层；作为进一步优选，所述保护层与器件之间设置缓冲层。3.如权利要求1所述的柔性器件的制备方法，其特征是：所述步骤(1)中，溶剂包括丙酮、氯仿、二氯甲烷、苯酚、苯甲醚等中的一种或者几种。4.如权利要求1所述的柔性器件的制备方法，其特征是：所述步骤(2)中，将器件转移至柔性衬底表面的过程中，采用支撑层支撑该器件；作为优选，所述的支撑层是黏贴在器件顶部的水溶性胶带。5.如权利要求4所述的柔性器件的制备方法，其特征是：在所述步骤(1)中，在牺牲层表面制备器件后，在器件顶部黏贴该水溶性胶带，器件与刚性衬底分离后，以该水溶性胶带为支撑将器件转移至柔性衬底表面，使器件底部与柔性衬底表面进行层压结合；作为优选，器件底部与柔性衬底表面进行层压结合之后，将器...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘钢，卢颖，李润伟，
申请(专利权)人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所，
类型：发明
国别省市：浙江,33
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