太阳能RENA刻蚀机横流管改造结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种太阳能RENA刻蚀机横流管改造结构，副槽通过泵连接横流管，将药液输送至横流管；横流管放置于主槽中，通过横流管的喷淋孔将药液喷淋至主槽；主槽放置于外槽中，药液自主槽溢出至外槽；外槽连接副槽，将药液回流至副槽，其特征在于所述横流管倾斜放置于主槽中，横流管近主槽槽壁的一端高于原离主槽槽壁的一端；横流管在近主槽槽壁的一端开有细孔，细孔连接排空气细管，排空气细管的另一端引出至外槽。改造前刻蚀边角泛液片产生的比例约0.2％，改造后没有边角泛液片。

Transformation structure of cross flow tube for solar RENA etching machine

The utility model discloses a transverse flow tube reconstruction structure of a solar RENA etching machine, in which the auxiliary groove is connected with a transverse flow tube by a pump and the liquid medicine is transported to the transverse flow tube; the transverse flow tube is placed in the main groove, and the liquid medicine is sprayed to the main groove through the spray hole of the transverse flow tube; the main groove is placed in the outer groove, and the liquid medicine autonomous groove overflows to the outer groove; The trough is characterized in that one end of the cross-flow pipe near the main trough wall is higher than the other end from the main trough wall; the cross-flow pipe is provided with a small hole near the one end of the main trough wall; the fine hole is connected with the air exhaust pipe, and the other end of the air exhaust pipe is drawn out to the outer trough. The proportion of the liquid film produced by the etching before the transformation is about 0.2%, and there is no corner pan after transformation.

【技术实现步骤摘要】
太阳能RENA刻蚀机横流管改造结构
本技术涉及太阳能刻蚀
，具体是一种太阳能RENA刻蚀机横流管改造结构。
技术介绍
刻蚀槽用于去除边缘的结，防止漏电，硅片采取“水上漂”进行背面腐蚀。目前RENA刻蚀机的刻蚀槽的使用药液(还有氢氟酸，硝酸，硫酸，水四种化学物质)，RENA刻蚀机通过泵从副槽抽液至主槽的横流管(2根)，然后由横流管上的喷淋孔(喷淋孔直径1mm，数量较多，在管子的朝偏下方，防止喷液至主槽时引起液面波动)均匀喷液至主槽，主槽多余的液会通过主槽边上的外槽流至副槽，溶液进行均匀循环使用。但是泵在抽取副槽溶液的时候会带入一部分空气进入横流管，由于空气聚集越来越多，气泡会从横流管的气孔里冒出来至液面处发生破碎，气泡破碎导致药液波动，引起翻液至硅片正面的上，腐蚀正面，加工至成品引起外观降级，给公司带来一定的经济损失。
技术实现思路
本技术针对
技术介绍
中存在的问题，提出了一种降低了不良片的产生的改造结构。一种太阳能RENA刻蚀机横流管改造结构，副槽通过泵连接横流管，将药液输送至横流管；横流管放置于主槽中，通过横流管的喷淋孔将药液喷淋至主槽；主槽放置于外槽中，药液自主槽溢出至外槽；外槽连接副槽，将药液回流至副槽，所述横流管倾斜放置于主槽中，横流管近主槽槽壁的一端高于原离主槽槽壁的一端；横流管在近主槽槽壁的一端开有细孔，细孔连接排空气细管，排空气细管的另一端引出至外槽。优选的，所述横流管的倾斜角度为10°。优选的，所述细孔的孔径为1mm。优选的，所述排空气细管的管径为5mm。本技术的有益效果改造前刻蚀边角泛液片产生的比例约0.2％，改造后没有边角泛液片。附图说明图1为本技术的结构示意图。图2为本技术刻蚀槽横流管横截面图。具体实施方式下面结合实施例对本技术作进一步说明，但本技术的保护范围不限于此：实施例：一种太阳能RENA刻蚀机横流管改造结构，副槽5通过泵4连接横流管1，将药液输送至横流管1；横流管1放置于主槽6中，通过横流管1的喷淋孔将药液喷淋至主槽6；主槽6放置于外槽7中，药液自主槽6溢出至外槽7；外槽7连接副槽5，将药液回流至副槽5，所述横流管1倾斜放置于主槽6中，横流管1近主槽6槽壁的一端高于原离主槽6槽壁的一端；横流管1在近主槽6槽壁的一端开有细孔2，细孔2连接排空气细管3，排空气细管3的另一端引出至外槽7。原理说明：本专利技术首先第一步将横流管1在主槽6内略微倾斜放置，接近槽壁的一头略高(将空气聚集在一端)，然后在这一头(横流管1的上方)打个细孔2，然后通一根排空气细管3将聚集的空气引出，为了防止泵打液从排空气细管3喷出造成影响，将排空气细管3另一头引至外槽7。这样可以把横流管1内的空气排出，从而解决气泡破裂导致不良片问题。改造前刻蚀边角泛液片产生的比例约0.2％，如本实施例改造后没有边角泛液片。优选的实施例中，所述横流管1的倾斜角度为10°。优选的实施例中，所述细孔2的孔径为1mm。优选的实施例中，所述排空气细管3的管径为5mm。本文中所描述的具体实施例仅仅是对本技术精神做举例说明。本技术所属
的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本技术的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种太阳能RENA刻蚀机横流管改造结构，副槽(5)通过泵(4)连接横流管(1)，将药液输送至横流管(1)；横流管(1)放置于主槽(6)中，通过横流管(1)的喷淋孔将药液喷淋至主槽(6)；主槽(6)放置于外槽(7)中，药液自主槽(6)溢出至外槽(7)；外槽(7)连接副槽(5)，将药液回流至副槽(5)，其特征在于所述横流管(1)倾斜放置于主槽(6)中，横流管(1)近主槽(6)槽壁的一端高于原离主槽(6)槽壁的一端；横流管(1)在近主槽(6)槽壁的一端开有细孔(2)，细孔(2)连接排空气细管(3)，排空气细管(3)的另一端引出至外槽(7)。

【技术特征摘要】
1.一种太阳能RENA刻蚀机横流管改造结构，副槽(5)通过泵(4)连接横流管(1)，将药液输送至横流管(1)；横流管(1)放置于主槽(6)中，通过横流管(1)的喷淋孔将药液喷淋至主槽(6)；主槽(6)放置于外槽(7)中，药液自主槽(6)溢出至外槽(7)；外槽(7)连接副槽(5)，将药液回流至副槽(5)，其特征在于所述横流管(1)倾斜放置于主槽(6)中，横流管(1)近主槽(6)槽壁的一端高于原离主槽(6)槽壁的一端；横流管(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐建，俞超，李慧，吴俊清，樊华，张子森，
申请(专利权)人：东方环晟光伏江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32