带回收方法和带回收装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够使放出的纵长带的回收工序更高度地自动化的带回收方法和带回收装置。在将纵长的不要带(Tn)以平坦地扩展了的状态切断成单张之后，一边维持着该平坦的状态一边使单张状的不要带(Tn)层叠并收纳于回收箱内。在该情况下，由于不要带(Tn)分别被整齐且无浪费地层叠，因此，相对于不要带(Tn)的收纳量将不要带(Tn)所占的体积抑制在最小限度。由于能够降低回收箱的更换频率，因此能够较大地提升装置的运转效率。另外，由于不要带(Tn)堆积的速度成为恒定，因此，容易执行计划性的作业。

Belt recovery method and recovery device

The invention provides a belt recovery method and a belt recovery device capable of making the recovery process of the released longitudinal belt more highly automatic. After cutting the longitudinal non-belt (Tn) into sheets in a flatly expanded state, the flat state is maintained while the sheet-like non-belt (Tn) is stacked and stored in the recycle bin. In this case, since no band (Tn) is separately stacked in neat and wasteless formations, the volume of no band (Tn) is suppressed to a minimum relative to no band (Tn). Since the replacement frequency of the recycle bin can be reduced, the operation efficiency of the device can be greatly improved. In addition, because the speed of stacking is not constant (Tn), it is easy to perform planned tasks.

【技术实现步骤摘要】
带回收方法和带回收装置
本专利技术涉及用于在粘贴于半导体晶圆、LED(Lightemittingdiode：发光二极管)、电子电路等各种基板的粘合带的供给过程等中回收不需要的纵长状的带的带回收方法和带回收装置。
技术介绍
在半导体晶圆(以下，适当称作“晶圆”)的表面形成有多个元件的电路图案。例如，凸块、精细电路形成于晶圆表面。因此，为了防止在背面磨削时和输送时该电路面的污染和损伤，在晶圆的表面粘贴有保护用的粘合带。在此，说明为了在晶圆的表面粘贴粘合带而使用的、带粘贴装置的以往结构。如图33所示，以往的带粘贴装置101包括带供给部103、隔离膜剥离部105、保持台107、带粘贴部109、带切断机构111、带回收部113、以及隔离膜回收部115等。带供给部103自装填有卷绕了电路保护用的带隔离膜的粘合带TS的粘合带卷的供给卷轴放出并引导该粘合带TS。隔离膜剥离部105自放出了的粘合带TS剥离隔离膜S。保持台107对电路形成面成为朝上的状态的晶圆W进行吸附保持。带粘贴部109作为一个例子是粘贴辊，在图33中，其向左方向水平移动。通过该水平移动，带粘贴部109将剥离了隔离膜S的粘合带T粘贴于保持台107上的晶圆W。带切断机构111包括刀具111a，通过使带切断机构111绕附图标记P所示的铅垂轴线旋转，从而粘合带T被沿着晶圆W的外形切下。切下后的不需要的不要带Tn在构成带回收部113的卷绕轴处被卷绕成卷状并被回收。另外，自粘合带T剥离了的隔离膜S在构成隔离膜回收部115的卷绕轴处被卷绕成卷状并被回收。在这样的带粘贴装置中，在带供给部103的粘合带T的装填量低于恒定量的情况下或被带回收部113回收的不要带Tn的量等超过恒定量的情况下，需要更换辊。在以往的带粘贴装置101中更换辊的情况下，操作员需要用手动来进行复杂的作业。即，在带供给部103中，需要将自粘合带卷放出的粘合带T切断、更换粘合带卷、进行切断后的粘合带T的接合、以及再次进行粘合带T的放出这样的一系列的作业。并且，在带回收部113等中，需要切断不需要的带Tn、去除以卷状回收后的不要带Tn、相对于卷绕轴进行不要带Tn的接合、以及再次进行不要带Tn的卷绕这样的一系列的作业。在以往的装置中，在进行这一系列的作业的期间，需要使带粘贴装置的运转中断。近年来，为了避免带粘贴装置的运转中断所导致的粘贴效率的降低，尝试自动地进行辊的更换作业、尤其是使切断后的粘合带T的末端彼此之间相接合的作业。作为其一个例子，提出了以下这样的带接合方法(例如，参照专利文献1)。即，通过在先行的带隔离膜的粘合带T的末端粘贴粘合构件并使该粘合构件相对于粘合带T的放出方向进行离开移动，从而将粘合带T和隔离膜剥离规定长度。随后，将剥离了隔离膜的粘合带T的该末端粘贴于自新的粘合带卷供给的后续的带隔离膜的粘合带T的前端部分，由此能够使带隔离膜的粘合带T的末端彼此之间自动地接合。专利文献1：日本特开2014－133616号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题然而，在上述以往装置中存在如下这样的问题。即，以往的自动接合方法以适用于带供给部为前提，而难以适用于带回收部、隔离膜回收部。在以往的装置中，例如，在带回收部中，将纵长的不要带卷绕在轴上进行回收。在这样的以往的回收方法中，在切断不要带之后，需要将卷绕成卷状而被回收的不要带连同轴一起取出并更换上新的轴。由于在新的轴上未卷绕有带等，因此难以适用以往的自动接合方法。因此，在每次不要带的回收量达到规定量以上时，需要用手动来进行以去除被以卷状回收的不要带为开始的、一系列的复杂的操作。其结果，操作员的负担增加。另外，在使装置停止之后，要进行不要带的去除等一系列的操作，在该操作的结束后再次启动装置，因此使装置的工作效率降低。并且，在卷绕并回收的结构中，需要设置大型的卷绕轴，因此，还担心使粘合带粘贴装置大型化这样的问题。本专利技术是鉴于这样的情况而做出的，其主要目的在于，提供能够使放出的纵长带的回收工序更高度地自动化的带回收方法和带回收装置。用于解决问题的方案为了实现这样的目的，本专利技术采用如下的结构。即，本专利技术提供一种带回收方法，其特征在于，该带回收方法包括：保持过程，将以纵长状放出的带的距前端规定长度的区域保持为平坦的状态；切断过程，将以平坦的状态保持的所述带切断成单张；以及收纳过程，一边维持被切断成单张的所述带的平坦的状态，一边将被切断成单张的所述带层叠并收纳于带回收箱。(作用·效果)采用该方法，将纵长状的带的距前端规定长度的区域保持为平坦的状态，并将该平坦状态的带切断成单张。随后，一边维持该平坦的状态一边将单张状的带层叠并收纳于带回收箱。在该情况下，在对带进行回收的动作中，在回收箱的收纳量超过规定量的情况下，能够使除了更换该回收箱的操作以外的大部分过程自动化，因此能够提升装置的工作效率。另外，由于收纳于带回收箱的单张状的带分别被整齐且无浪费地层叠，因此，能够相对于带的收纳量将带所占的体积抑制在最小限度。其结果，能够降低带回收箱的更换频率，因此能够较大地提升装置的运转效率。另外，由于在带回收箱中单张状的带堆积的速度成为恒定，因此，容易执行计划性的更换作业。另外，在上述专利技术中，优选的是，在所述保持过程中，保持机构将所述带的距前端规定长度的区域保持为平坦的状态，在所述切断过程中，在所述保持机构保持着成为平坦的所述带的状态下将所述带切断成单张，在所述收纳过程中，对被切断成单张的所述带进行保持的所述保持机构与所述带一起被向所述带回收箱引导。(作用·效果)采用该结构，在保持机构将带保持为平坦的状态下，带被切断成单张，并且，被切断后的该带一边维持平坦的状态一起与保持机构被层叠和收纳。在该情况下，纵长状的带使用于以被保持机构保持的状态被层叠和收纳起来的一系列的过程中。因而，能够将带以平坦状态可靠地层叠并收纳。另外，在上述专利技术中，优选的是，所述保持机构通过吸附所述带而将所述带保持为平坦的状态。采用该结构，由于保持机构对带进行吸附，因此，能够将带更容易且可靠地保持为平坦的状态。为了实现这样的目的，本专利技术也可以采用如下那样的结构。即，本专利技术提供一种带回收装置，其特征在于，该带回收装置包括：带保持机构，其将以纵长状放出的带的距前端规定长度的区域保持为平坦的状态；带切断机构，其将以平坦的状态保持的所述带切断成单张；带回收箱，其收纳被切断成所述单张的所述带；以及带引导机构，其将被切断成所述单张的所述带一边维持为平坦的状态一边向所述带回收箱引导，使被切断成所述单张的所述带层叠并收纳于所述带回收箱。(作用·效果)采用该方法，将纵长状的带的距前端规定长度的区域保持为平坦的状态，并将该平坦状态的带切断成单张。随后，一边维持该平坦的状态一边将单张状的带层叠并收纳于带回收箱。在该情况下，能够使除了对带回收箱进行更换的操作以外的大部分的过程自动化，因此能够提升装置的工作效率。另外，由于收纳于带回收箱的单张状的带分别被整齐且无浪费地层叠，因此，能够相对于带的收纳量将带所占的体积抑制在最小限度。其结果，能够降低带回收箱的更换频率，因此能够较大地提升装置的运转效率。另外，由于在带回收箱中单张状的带堆积的速度成为恒定，因此，容易执行计划性的更换作业。另外，在上述专利技术中，优选的是，所述带切断机构将所述带保持机构本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带回收方法，其特征在于，该带回收方法包括：保持过程，将以纵长状放出的带的距前端规定长度的区域保持为平坦的状态；切断过程，将以平坦的状态保持的所述带切断成单张；以及收纳过程，一边维持被切断成单张的所述带的平坦的状态，一边将被切断成单张的所述带层叠并收纳于带回收箱。

【技术特征摘要】
2017.02.08 JP 2017-0212011.一种带回收方法，其特征在于，该带回收方法包括：保持过程，将以纵长状放出的带的距前端规定长度的区域保持为平坦的状态；切断过程，将以平坦的状态保持的所述带切断成单张；以及收纳过程，一边维持被切断成单张的所述带的平坦的状态，一边将被切断成单张的所述带层叠并收纳于带回收箱。2.根据权利要求1所述的带回收方法，其特征在于，在所述保持过程中，保持机构将所述带的距前端规定长度的区域保持为平坦的状态，在所述切断过程中，在所述保持机构保持着成为平坦的所述带的状态下将所述带切断成单张，在所述收纳过程中，对被切断成单张的所述带进行保持的所述保持机构与所述带一起被向所述带回收箱引导。3.根据权利要求1或2所述的带回收方法，其特征在于，所述保持机构通过吸附所述带而将所述带保持为平坦的状态。4.一种带回收装置，其特征在于，该带回收装置包括：带保持机构，...

【专利技术属性】
技术研发人员：奥野长平，
申请(专利权)人：日东电工株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP