粘合带接合方法、粘合带接合装置、以及粘合带输送方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供即使是粘合力较强的粘合带也能够可靠地执行粘合带的末端彼此之间的接合和各种处理的粘合带接合方法、粘合带接合装置以及粘合带输送方法。推出构件(33)使纵长的粘合带(T)中的一部分的粘合带(Tp)向与放出方向(L)大致垂直的方向(R)突出。压合辊(35)通过对突出了的粘合带(Tp)进行压合而使粘合带(T)的一部分形成为把持部。把持部在规定位置(Tf)向方向(R)突出规定长度，因此能够容易且可靠地保持着把持部而操作粘合带(T)。另外，把持部的放出方向(L)上的长度非常短，因此，通过保持着把持部来进行处理，能够提升在纵长的粘合带上执行处理的区域的位置精度，且能够对粘合带(T)的有限的区域施加较大的力。

Adhesive tape bonding method, adhesive tape engaging device, and adhesive tape conveying method

The present invention provides a bonding belt bonding method, a bonding belt bonding device and a bonding belt conveying method which can reliably perform bonding between the ends of the bonding belt and various treatments, even with a strong bonding force. The ejection member (33) makes the adhesive tape (Tp) of a part of the longitudinal adhesive tape (T) protrude in a direction roughly perpendicular to the ejection direction (L). The pressing roller (35) forms a part of the adhesive tape (T) into a holding part by pressing the protruding adhesive tape (Tp). The holder highlights the specified length in the specified position (Tf) in the direction (R), so that it is easy and reliable to maintain the holder and operate the adhesive tape (T). In addition, the length of the discharging direction (L) of the holding part is very short, therefore, processing by maintaining the holding part can improve the positional accuracy of the region performing processing on the longitudinal adhesive tape, and can exert greater force on the limited area of the adhesive tape (T).

【技术实现步骤摘要】
粘合带接合方法、粘合带接合装置、以及粘合带输送方法
本专利技术涉及在粘贴于半导体晶圆、LED(Lightemittingdiode：发光二极管)、电子电路等各种基板的粘合带的供给过程中以在先行的粘合带的后端接合另一粘合带的前端的操作为例的粘合带接合方法、粘合带接合装置、以及粘合带输送方法。
技术介绍
在半导体晶圆(以下，适当称作“晶圆”)的表面形成有多个元件的电路图案。例如，凸块、精细电路形成于晶圆表面。因此，为了防止在背面磨削时和输送时该电路面的污染和损伤，在晶圆的表面粘贴有保护用的粘合带。在此，说明为了在晶圆的表面粘贴粘合带而使用的、带粘贴装置的以往结构。如图33所示，以往的带粘贴装置101包括带供给部103、隔离膜剥离部105、保持台107、带粘贴部109、带切断机构111、带回收部113、以及隔离膜回收部115等。带供给部103自装填有卷绕了电路保护用的带隔离膜的粘合带TS的粘合带卷的供给卷轴放出并引导该粘合带TS。隔离膜剥离部105自放出了的粘合带TS剥离隔离膜S。保持台107对电路形成面成为朝上的状态的晶圆W进行吸附保持。带粘贴部109作为一个例子是粘贴辊，在图33中，其向左方向水平移动。通过该水平移动，带粘贴部109将剥离了隔离膜S的粘合带T粘贴于保持台107上的晶圆W。带切断机构111包括刀具111a，通过使带切断机构111绕附图标记P所示的铅垂轴线旋转，从而粘合带T被沿着晶圆W的外形切下。切下后的不需要的不要带Tn在构成带回收部113的卷绕轴处被卷绕成卷状并被回收。另外，自粘合带T剥离了的隔离膜S在构成隔离膜回收部115的卷绕轴处被卷绕成卷状并被回收。在这样的带粘贴装置中，在带供给部103的粘合带T的装填量低于恒定量的情况下或被带回收部113回收的不要带Tn的量等超过恒定量的情况下，需要更换辊。在以往的带粘贴装置101中更换辊的情况下，操作员需要用手动来进行复杂的作业。即，在带供给部103中，需要将自粘合带卷放出的粘合带T切断、更换粘合带卷、进行切断后的粘合带T的接合、以及再次进行粘合带T的放出这样的一系列的作业。并且，在带回收部113等中，需要切断不需要的带Tn、去除以卷状回收后的不要带Tn、相对于卷绕轴进行不要带Tn的接合、以及再次进行不要带Tn的卷绕这样的一系列的作业。在以往的装置中，在进行这一系列的作业的期间，需要使带粘贴装置的运转中断。近年来，为了避免带粘贴装置的运转中断所导致的粘贴效率的降低，尝试自动地进行辊的更换作业、尤其是使切断后的粘合带T的末端彼此之间相接合的作业。作为其一个例子，提出了以下这样的带接合方法(例如，参照专利文献1)。即，通过利用吸附构件来吸附先行的带隔离膜的粘合带T的末端的单面并使该吸附构件进行离开移动，从而在先行带的末端将粘合带T和隔离膜剥离规定长度。随后，将剥离了隔离膜的粘合带T的该末端粘贴于后续的带隔离膜的粘合带T的前端部分，由此能够使带隔离膜的粘合带T的末端彼此之间自动地接合。专利文献1：日本特开2014－133616号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题然而，在上述以往装置中存在如下这样的问题。近年来，对于晶圆保护用等的粘合带，倾向使用具有更强的粘合力的粘合剂。因此，在专利文献1的以往的带接合方法中，即使使粘合构件进行离开移动，也无法使粘合带T和隔离膜S可靠地剥离，担心产生接合错误这样的问题。本专利技术是鉴于这样的情况而做出的，其主要目的在于，提供即使是粘合力较强的粘合带也能够可靠地执行粘合带的末端彼此之间的接合和各种处理的粘合带接合方法、粘合带接合装置、以及粘合带输送方法。用于解决问题的方案为了实现这样的目的，本专利技术采用如下的结构。即，一种粘合带接合方法，使附设有隔离膜的纵长的粘合带的端部彼此相接合，其特征在于，该粘合带接合方法包括：把持部形成过程，形成使自带供给部所具有的多个粘合带卷中的第1粘合带卷放出的第1粘合带和第1隔离膜中的至少一者向相对于放出方向大致垂直的方向突出而成的把持部；切断过程，在利用保持所述第1粘合带的粘合带保持构件和保持所述第1隔离膜的隔离膜保持构件夹持着所述第1粘合带和所述第1隔离膜的状态下，在比所述把持部靠后端侧的位置分别切断所述第1粘合带和所述第1隔离膜；剥离过程，通过使所述粘合带保持构件和所述隔离膜保持构件以把持着所述把持部的状态相对地离开移动，从而自后端将所述第1隔离膜从所述第1粘合带剥离规定长度；切换过程，将先行的所述第1粘合带卷切换为不同的第2粘合带卷；以及接合过程，使自所述第2粘合带卷放出的后行的第2粘合带的前端和所述第1粘合带的后端相接合。(作用·效果)采用该方法，在把持部形成过程中，在自第1粘合带卷放出的第1粘合带和第1隔离膜中的至少一者形成把持部，在比该把持部靠后端侧的位置切断第1粘合带和第1隔离膜。并且，通过使粘合带保持构件和隔离膜保持构件以把持着把持部的状态相对地离开移动，从而自后端将第1隔离膜自第1粘合带剥离规定长度。由于把持部为向相对于放出方向大致垂直的方向突出的形状，因此，通过把持着把持部使粘合带保持构件和隔离膜保持构件进行离开移动，能够容易地剥离第1粘合带和第1隔离膜。因此，即使在粘合力较强的粘合材料使用于粘合带的情况下，也能够自先行的第1粘合带的后端部可靠地剥离第1隔离膜。因而，能够可靠地避免产生第1隔离膜的剥离错误所引起的、后行的第2粘合带与先行的第1粘合带之间的接合错误。并且，使自第1粘合带卷放出的第1粘合带的后端和自第2粘合带卷放出的第2粘合带的前端相接合。即，能够通过该接合而将分别自不同的粘合带卷放出的粘合带彼此之间作为连成1条的粘合带进行处理另外，在上述专利技术中，优选的是，该粘合带接合方法包括倒退过程，其在所述把持部形成过程后，使所述第1粘合带和所述第1隔离膜向与所述放出方向相反的方向移动而使所述把持部靠近所述第1粘合带卷。(作用·效果)采用该结构，在把持部形成过程之后，在倒退过程中，使第1粘合带和第1隔离膜向与放出方向相反的方向移动而使把持部靠近第1粘合带卷。在该情况下，在切断过程中将第1粘合带和第1隔离膜切断的位置更靠近第1粘合带卷，因此能够降低在利用切断机构进行切断时的第1粘合带的浪费。另外，由于第1粘合带和第2粘合带的接合位置靠近粘合带卷，因此能够减少在接合时放出第2粘合带所需的时间。另外，在上述专利技术中，优选的是，该粘合带接合方法包括自所述第1粘合带剥离第1隔离膜的隔离膜剥离过程，在所述把持部形成过程中，通过使剥离了所述第1隔离膜的所述第1粘合带向相对于所述放出方向大致垂直的方向突出而形成所述把持部，该粘合带接合方法包括再附设过程，其在所述把持部形成过程之后，使所述第1隔离膜再次附设于所述第1粘合带的形成有所述把持部的部分。(作用·效果)采用该结构，由于在隔离膜剥离过程之后进行把持部形成过程，因此，易于使第1粘合带单独向大致垂直方向突出而形成把持部。之后，将第1隔离膜再附设于第1粘合带的形成有把持部的部分。因此，在切断过程中，能够在比把持部靠后端侧的任意的位置切断第1粘合带和第1隔离膜，能够将该位置设为先行的第1粘合带的后端部和第1隔离膜的后端部。另外，在上述专利技术中，优选的是，在所述接合过程中，使自所述第2粘合带卷放出的后行的第2粘合带的前端移动到由所述粘合带保持本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种粘合带接合方法，使附设有隔离膜的纵长的粘合带的端部彼此相接合，其特征在于，该粘合带接合方法包括：把持部形成过程，形成使自带供给部所具有的多个粘合带卷中的第1粘合带卷放出的第1粘合带和第1隔离膜中的至少一者向相对于放出方向大致垂直的方向突出而成的把持部；切断过程，在利用保持所述第1粘合带的粘合带保持构件和保持所述第1隔离膜的隔离膜保持构件夹持着所述第1粘合带和所述第1隔离膜的状态下，在比所述把持部靠后端侧的位置分别切断所述第1粘合带和所述第1隔离膜；剥离过程，通过使所述粘合带保持构件和所述隔离膜保持构件以把持着所述把持部的状态相对地离开移动，从而自后端将所述第1隔离膜从所述第1粘合带剥离规定长度；切换过程，将先行的所述第1粘合带卷切换为不同的第2粘合带卷；以及接合过程，使自所述第2粘合带卷放出的后行的第2粘合带的前端和所述第1粘合带的后端相接合。

【技术特征摘要】
2017.02.08 JP 2017-0212001.一种粘合带接合方法，使附设有隔离膜的纵长的粘合带的端部彼此相接合，其特征在于，该粘合带接合方法包括：把持部形成过程，形成使自带供给部所具有的多个粘合带卷中的第1粘合带卷放出的第1粘合带和第1隔离膜中的至少一者向相对于放出方向大致垂直的方向突出而成的把持部；切断过程，在利用保持所述第1粘合带的粘合带保持构件和保持所述第1隔离膜的隔离膜保持构件夹持着所述第1粘合带和所述第1隔离膜的状态下，在比所述把持部靠后端侧的位置分别切断所述第1粘合带和所述第1隔离膜；剥离过程，通过使所述粘合带保持构件和所述隔离膜保持构件以把持着所述把持部的状态相对地离开移动，从而自后端将所述第1隔离膜从所述第1粘合带剥离规定长度；切换过程，将先行的所述第1粘合带卷切换为不同的第2粘合带卷；以及接合过程，使自所述第2粘合带卷放出的后行的第2粘合带的前端和所述第1粘合带的后端相接合。2.根据权利要求1所述的粘合带接合方法，其中，该粘合带接合方法包括倒退过程，其在所述把持部形成过程后，使所述第1粘合带和所述第1隔离膜向与所述放出方向相反的方向移动而使所述把持部靠近所述第1粘合带卷。3.根据权利要求1或2所述的粘合带接合方法，其中，该粘合带接合方法包括自所述第1粘合带剥离第1隔离膜的隔离膜剥离过程，在所述把持部形成过程中，通过使剥离了所述第1隔离膜的所述第1粘合带向相对于所述放出方向大致垂直的方向突出而形成所述把持部，该粘合带接合方法包括再附设过程，其在所述把持部形成过程之后，使所述第1隔离膜再次附设于所述第1粘合带的形成有所述把持部的部分。4.根据权利要求1或2所述的粘合带接合方法，其中，在所述接合过程中，使自所述第2粘合带卷放出的后行的第2粘合带的前端移动到由所述粘合带保持构件保持着的所述第1粘合带与由所述隔离膜保持构件保持着的所述第1隔离膜之间，利用所述第1粘合带和所述第1隔离膜夹持所述第2粘合带的前端，由此使所述第1粘合带和所述第2粘合带相接合。5.一种粘合带接合装置，其使附设有隔离膜的纵长的粘合带的端部彼此相接合，其特征在于，该粘合带接合装置包括：带供给部，其包括粘合带的多个粘合带卷，自多个所述粘合带卷中的第1粘合带卷放出粘合带；后行带保持构件，其夹持各粘合带卷的粘合带的前端；粘合带保持构件，其对自所述第1粘合带卷放出的第1粘合带进行保持；隔离膜保持构件，其通过对附设于所述第1粘合带的第1隔离膜进行保持，从而与所述粘合带...

【专利技术属性】
技术研发人员：奥野长平，
申请(专利权)人：日东电工株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP