一种半导体集成圆片制造设备制造技术

本发明专利技术公开了一种半导体集成圆片制造设备，包括基座以及与所述基座一体式设置的机架，所述机架中上下延伸设置有第一滑动槽和第二滑动槽，所述第一滑动槽和第二滑动槽之间相互连通设有第一转动槽，所述第一滑动槽中滑动安装有第一滑动臂，所述第一滑动臂右侧端面设有第一齿条，所述第二滑动槽中滑动安装有第二滑动臂，所述第二滑动臂左侧端面设有第二齿条，所述第一转动槽中转动安装有与所述第一齿条和第二齿条啮合设置的转动齿轮，所述第二滑动槽右侧端壁中连通设置有开口朝右的升降槽，所述升降槽中滑动安装有升降臂，所述升降臂左侧端面与所述第二滑动臂右侧端面顶部固定连接，所述升降臂中设有切割组件。

A new type of semiconductor integrated wafer fabrication equipment

The invention discloses a novel semiconductor integrated wafer manufacturing device, which comprises a base and a frame integrated with the base. A first sliding groove and a second sliding groove are arranged in the upper and lower extensions of the frame, and a first rotating groove and a first sliding groove are connected with each other between the first sliding groove and the second sliding groove. A first sliding arm is mounted in the groove, a first rack is arranged on the right end face of the first sliding arm, a second sliding arm is mounted in the second sliding groove, a second rack is arranged on the left end face of the second sliding arm, and a rotation set in the first rotating groove is rotated and mounted to engage the first rack and the second rack. The right end wall of the second sliding groove is connected with a lifting groove with an opening facing to some. A lifting arm is sliding in the lifting groove. The left end face of the lifting arm is fixedly connected with the top of the right end face of the second sliding arm, and a cutting component is arranged in the lifting arm.

【技术实现步骤摘要】
一种新型半导体集成圆片制造设备
本专利技术涉及一种新型半导体集成圆片制造设备。
技术介绍
半导体集成圆片在电子集成领域中使用及其广泛，其主要是由二氧化硅矿石经由切割、电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后加工制作而成，而在集成圆片制造过程中对于原矿石的切割加工是最为关键的加工工序，传统中所使用的矿石切割装置需要过多的人力操作，使的劳动强度大，同时其切割刀片在未启动状态下可自由转动，人为意外接触后可造成意外伤害，存在较大安全隐患；另外，传统中的切割装置在切割操作时，难以对原矿石加已固定，使得切割效果差。
技术实现思路
针对上述技术的不足，本专利技术提出了一种新型半导体集成圆片制造设备。本专利技术装置的一种新型半导体集成圆片制造设备，包括基座以及与所述基座一体式设置的机架，所述机架中上下延伸设置有第一滑动槽和第二滑动槽，所述第一滑动槽和第二滑动槽之间相互连通设有第一转动槽，所述第一滑动槽中滑动安装有第一滑动臂，所述第一滑动臂右侧端面设有第一齿条，所述第二滑动槽中滑动安装有第二滑动臂，所述第二滑动臂左侧端面设有第二齿条，所述第一转动槽中转动安装有与所述第一齿条和第二齿条啮合设置的转动齿轮，所述第二滑动槽右侧端壁中连通设置有开口朝有的升降槽，所述升降槽中滑动安装有升降臂，所述升降臂左侧端面与所述第二滑动臂右侧端面顶部固定连接，所述升降臂中设有切割组件，所述切割组件包括固定设置于所述升降臂底部端面中心位置处的安装座以及设置于所述安装座底部端面且开口朝下的伸缩腔，所述伸缩腔中滑动安装有伸缩块，所述伸缩腔顶壁中左右对称设置有液压缸，所述液压缸的液压杆伸入所述伸缩腔中且与所述伸缩块顶部端面固定连接，所述伸缩块底部端面内设有开口朝下的第二转动腔，所述第二转动腔中通过转动轴可转动的设置有切割轮，所述转动轴左侧端可转动的设置于所述第二转动腔左侧内壁，右侧端与固定设置于所述第二转动腔右侧内壁中的第一电机动力连接，所述第一电机外侧设有护托装置，所述护托装置包括抗振垫与散热翅片，所述第一电机上方的所述第二转动腔左右两侧内壁中对称设置有开口朝向所述第二转动腔的滑腔，所述滑腔中滑动安装有滑动块，所述滑动块远离所述第二转动腔的端面内固定设有永磁体，所述滑腔与所述永磁体相对的端面中设有与所述永磁体相配合的电磁驱动装置，所述滑动块远离所述永磁体的端面固定设有伸入所述第二转动腔中且与所述切割轮外表面摩擦配合连接的摩擦块，所述基座中设有夹持装置。进一步的技术方案，所述夹持装置包括横向延伸设置于所述基座顶部端面的第三滑动槽以及设置于所述第三滑动槽顶壁且连通外部的缝隙槽，所述第三滑动槽左右两侧对称设置有第三滑动臂，左右两个所述第三滑动臂之间的所述第三滑动槽中固定设置固定座，所述固定座中固定安装有第二电机，所述第二电机左右两侧分别动力安装有螺杆，所述螺杆与所述三滑动臂螺纹配合连接，所述缝隙槽中滑动安装有底部与所述三滑动臂顶部固定连接的连接臂，所述连接臂顶部伸出所述基座顶部端面外，且所述连接臂顶部固定设置有夹持环。进一步的技术方案，所述第三滑动槽左侧的所述机架中设有第三转动腔，所述第三转动腔中可转动的设置有绕线轮，所述第三转动腔右侧底壁与所述第三滑动槽左侧底壁之间相互连通设置有第一过线槽，所述所述第三转动腔左侧顶壁与所述第二滑动槽底壁之间设有第二过线槽，所述绕线轮上饶设有拉绳，所述拉绳一端穿过所述第一过线槽并与左侧的所述第三滑动臂左侧端面固定连接，所述拉绳另一端穿过所述第二过线槽后伸入所述第二滑动槽中并与所述第二滑动臂底部固定连接。进一步的技术方案，左右两个所述夹持环内侧端面均设有夹持片。进一步的技术方案，所述第一滑动臂顶部端面设有与所述电磁驱动装置电性连接的导电片，所述第一滑动槽内顶壁设有与导电片相配合且与市电连接的供电片。进一步的技术方案，所述第二滑动槽内顶壁设有凹槽，所述凹槽中设有与所述第二滑动臂顶部固定连接的拉伸弹簧。进一步的技术方案，所述滑腔上下端壁中对称设有导滑槽，所述导滑槽中滑动安装有与所述滑动块固定连接的滑动凸出，所述导滑槽中还固定设置有与所述滑动凸出相抵的顶压弹簧。进一步的技术方案，所述抗振垫设置在所述第一电机的上端和下端且与所述第一电机固定连接，所述散热翅片设置在所述第一电机的前端和后端且与所述第一电机的外壳固定连接，所述散热翅片的上端和下端均与所述抗振垫固定连接，所述第一电机的前端和后端分别设有多组所述散热翅片。本专利技术的有益效果是：本专利技术结构简单，操作简便通过机架中上下延伸设置有第一滑动槽和第二滑动槽，第一滑动槽和第二滑动槽之间相互连通设有第一转动槽，第一滑动槽中滑动安装有第一滑动臂，第一滑动臂右侧端面设有第一齿条，第二滑动槽中滑动安装有第二滑动臂，第二滑动臂左侧端面设有第二齿条，第一转动槽中转动安装有与第一齿条和第二齿条啮合设置的转动齿轮，第二滑动槽右侧端壁中连通设置有开口朝有的升降槽，升降槽中滑动安装有升降臂，升降臂左侧端面与第二滑动臂右侧端面顶部固定连接，升降臂中设有切割组件，切割组件包括固定设置于升降臂底部端面中心位置处的安装座以及设置于安装座底部端面且开口朝下的伸缩腔，伸缩腔中滑动安装有伸缩块，伸缩腔顶壁中左右对称设置有液压缸，液压缸的液压杆伸入伸缩腔中且与伸缩块顶部端面固定连接，伸缩块底部端面内设有开口朝下的第二转动腔，第二转动腔中通过转动轴可转动的设置有切割轮，转动轴左侧端可转动的设置于第二转动腔左侧内壁，右侧端与固定设置于第二转动腔右侧内壁中的第一电机动力连接，第一电机上方的第二转动腔左右两侧内壁中对称设置有开口朝向第二转动腔的滑腔，滑腔中滑动安装有滑动块，滑动块远离第二转动腔的端面内固定设有永磁体，滑腔与永磁体相对的端面中设有与永磁体相配合的电磁驱动装置，滑动块远离永磁体的端面固定设有伸入第二转动腔中且与切割轮外表面摩擦配合连接的摩擦块，基座中设有夹持装置，从而可大大提高切割效率，可大大降低劳动强度，同时可大大提高切割时的安全性。附图说明为了更清楚地说明专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术的一种新型半导体集成圆片制造设备的结构示意图。图2为图1中切割组件的结构示意图。图3为图1基座的俯性结构示意图。具体实施方式本说明书中公开的所有特征，或公开的所有方法或过程中的步骤，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均可以以任何方式组合。本说明书中公开的任一特征，除非特别叙述，均可被其他等效或具有类似目的的替代特征加以替换。即，除非特别叙述，每个特征只是一系列等效或类似特征中的一个例子而已。如图1-3所示，本专利技术装置的一种新型半导体集成圆片制造设备，包括基座10以及与所述基座10一体式设置的机架20，所述机架20中上下延伸设置有第一滑动槽21和第二滑动槽26，所述第一滑动槽21和第二滑动槽26之间相互连通设有第一转动槽23，所述第一滑动槽21中滑动安装有第一滑动臂212，所述第一滑动臂212右侧端面设有第一齿条，所述第二滑动槽26中滑动安装有第二滑动臂25，所述第二滑动臂25左侧端面设有第二齿条，所述第一转动槽23中转动安装有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型半导体集成圆片制造设备，包括基座以及与所述基座一体式设置的机架，其特征在于：所述机架中上下延伸设置有第一滑动槽和第二滑动槽，所述第一滑动槽和第二滑动槽之间相互连通设有第一转动槽，所述第一滑动槽中滑动安装有第一滑动臂，所述第一滑动臂右侧端面设有第一齿条，所述第二滑动槽中滑动安装有第二滑动臂，所述第二滑动臂左侧端面设有第二齿条，所述第一转动槽中转动安装有与所述第一齿条和第二齿条啮合设置的转动齿轮，所述第二滑动槽右侧端壁中连通设置有开口朝有的升降槽，所述升降槽中滑动安装有升降臂，所述升降臂左侧端面与所述第二滑动臂右侧端面顶部固定连接，所述升降臂中设有切割组件，所述切割组件包括固定设置于所述升降臂底部端面中心位置处的安装座以及设置于所述安装座底部端面且开口朝下的伸缩腔，所述伸缩腔中滑动安装有伸缩块，所述伸缩腔顶壁中左右对称设置有液压缸，所述液压缸的液压杆伸入所述伸缩腔中且与所述伸缩块顶部端面固定连接，所述伸缩块底部端面内设有开口朝下的第二转动腔，所述第二转动腔中通过转动轴可转动的设置有切割轮，所述转动轴左侧端可转动的设置于所述第二转动腔左侧内壁，右侧端与固定设置于所述第二转动腔右侧内壁中的第一电机动力连接，所述第一电机外侧设有护托装置，所述护托装置包括抗振垫与散热翅片，所述第一电机上方的所述第二转动腔左右两侧内壁中对称设置有开口朝向所述第二转动腔的滑腔，所述滑腔中滑动安装有滑动块，所述滑动块远离所述第二转动腔的端面内固定设有永磁体，所述滑腔与所述永磁体相对的端面中设有与所述永磁体相配合的电磁驱动装置，所述滑动块远离所述永磁体的端面固定设有伸入所述第二转动腔中且与所述切割轮外表面摩擦配合连接的摩擦块，所述基座中设有夹持装置。...

【技术特征摘要】
1.一种新型半导体集成圆片制造设备，包括基座以及与所述基座一体式设置的机架，其特征在于：所述机架中上下延伸设置有第一滑动槽和第二滑动槽，所述第一滑动槽和第二滑动槽之间相互连通设有第一转动槽，所述第一滑动槽中滑动安装有第一滑动臂，所述第一滑动臂右侧端面设有第一齿条，所述第二滑动槽中滑动安装有第二滑动臂，所述第二滑动臂左侧端面设有第二齿条，所述第一转动槽中转动安装有与所述第一齿条和第二齿条啮合设置的转动齿轮，所述第二滑动槽右侧端壁中连通设置有开口朝有的升降槽，所述升降槽中滑动安装有升降臂，所述升降臂左侧端面与所述第二滑动臂右侧端面顶部固定连接，所述升降臂中设有切割组件，所述切割组件包括固定设置于所述升降臂底部端面中心位置处的安装座以及设置于所述安装座底部端面且开口朝下的伸缩腔，所述伸缩腔中滑动安装有伸缩块，所述伸缩腔顶壁中左右对称设置有液压缸，所述液压缸的液压杆伸入所述伸缩腔中且与所述伸缩块顶部端面固定连接，所述伸缩块底部端面内设有开口朝下的第二转动腔，所述第二转动腔中通过转动轴可转动的设置有切割轮，所述转动轴左侧端可转动的设置于所述第二转动腔左侧内壁，右侧端与固定设置于所述第二转动腔右侧内壁中的第一电机动力连接，所述第一电机外侧设有护托装置，所述护托装置包括抗振垫与散热翅片，所述第一电机上方的所述第二转动腔左右两侧内壁中对称设置有开口朝向所述第二转动腔的滑腔，所述滑腔中滑动安装有滑动块，所述滑动块远离所述第二转动腔的端面内固定设有永磁体，所述滑腔与所述永磁体相对的端面中设有与所述永磁体相配合的电磁驱动装置，所述滑动块远离所述永磁体的端面固定设有伸入所述第二转动腔中且与所述切割轮外表面摩擦配合连接的摩擦块，所述基座中设有夹持装置。2.根据权利要求1所述的一种新型半导体集成圆片制造设备，其特征在于：所述夹持装置包括横向延伸设置于所述基座顶部端面的第三滑动槽以及设置于所述第三滑动槽顶壁且连通外部的缝隙槽，所述第三滑动槽左右两侧对称设置有第三滑动臂，左右两个所述第三滑动臂之间的所述第三滑...

【专利技术属性】
技术研发人员：楼天涯，
申请(专利权)人：义乌市满旺机械设备有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33