The invention relates to an ethylborane preparation device, which comprises a liquid distribution tank, a reactor, a recovery cold hydrazine and a product freezing bottle connected sequentially by a pipeline. The borane preparation device has simple structure and can be used for the preparation of borane.
【技术实现步骤摘要】
一种乙硼烷制备装置及其制备方法
本专利技术涉及一种乙硼烷制备装置及其制备方法,属于特种工业气体生产与净化领域。
技术介绍
乙硼烷(B2H6)在电子工业中主要用于半导体制造扩散和氧化的掺杂剂,广泛应用于半导体集成电路IC、液晶显示器LCD、半导体发光器件LED以及太阳能电池PV等行业。近年来,随着全球石油等能源资源逐渐减少和环境污染,温室效应对气候的影响,世界各国大力发展清洁能源以及节能技术,重点关注低碳经济。在此背景之下,我国的太阳能电池和半导体发光器件及相关产业得到了迅猛发展,电子工业用乙硼烷市场非常广阔。现有的乙硼烷制备装置结构复杂,结构设计不合理,难以使用,具有很大的局限性。
技术实现思路
鉴于现有技术的不足,本专利技术所要解决的技术问题是提供一种乙硼烷制备装置及其制备方法,不仅结构简单,而且便捷高效。为了解决上述技术问题,本专利技术的技术方案是:一种乙硼烷制备装置,包括经管道依次连接的配液槽、反应器、回收冷肼、产品冷冻瓶;所述配液槽包括密闭的配液容器,所述配液容器上设有配液进气口、配液排气口、配液进液口、配液排液口、配液排污口;所述反应器包括密闭的反应容器,所述反应容器上设有反应进气口、反应出气口、反应进液口、反应排液口,所述反应容器的外周部设有密闭的第一保温外壳,所述第一保温外壳与反应容器之间为第一调温空腔,所述第一调温空腔与第一温控装置连接;所述回收冷肼包括密闭的回收容器,所述回收容器上设有回收进气口、回收出气口,所述回收容器的外周部设有密闭的第二保温外壳,所述第二保温外壳与回收容器之间为第二调温空腔,所述第二调温空腔与第二温控装置连接;所述配液排 ...
【技术保护点】
1.一种乙硼烷制备装置,其特征在于:包括经管道依次连接的配液槽、反应器、回收冷肼、产品冷冻瓶;所述配液槽包括密闭的配液容器,所述配液容器上设有配液进气口、配液排气口、配液进液口、配液排液口、配液排污口;所述反应器包括密闭的反应容器,所述反应容器上设有反应进气口、反应出气口、反应进液口、反应排液口,所述反应容器的外周部设有密闭的第一保温外壳,所述第一保温外壳与反应容器之间为第一调温空腔,所述第一调温空腔与第一温控装置连接;所述回收冷肼包括密闭的回收容器,所述回收容器上设有回收进气口、回收出气口,所述回收容器的外周部设有密闭的第二保温外壳,所述第二保温外壳与回收容器之间为第二调温空腔,所述第二调温空腔与第二温控装置连接;所述配液排液口与反应进液口连接,所述反应出气口与回收进气口连接,所述回收出气口与产品冷冻瓶连接。
【技术特征摘要】
1.一种乙硼烷制备装置,其特征在于:包括经管道依次连接的配液槽、反应器、回收冷肼、产品冷冻瓶;所述配液槽包括密闭的配液容器,所述配液容器上设有配液进气口、配液排气口、配液进液口、配液排液口、配液排污口;所述反应器包括密闭的反应容器,所述反应容器上设有反应进气口、反应出气口、反应进液口、反应排液口,所述反应容器的外周部设有密闭的第一保温外壳,所述第一保温外壳与反应容器之间为第一调温空腔,所述第一调温空腔与第一温控装置连接;所述回收冷肼包括密闭的回收容器,所述回收容器上设有回收进气口、回收出气口,所述回收容器的外周部设有密闭的第二保温外壳,所述第二保温外壳与回收容器之间为第二调温空腔,所述第二调温空腔与第二温控装置连接;所述配液排液口与反应进液口连接,所述反应出气口与回收进气口连接,所述回收出气口与产品冷冻瓶连接。2.根据权利要求1所述的乙硼烷制备装置,其特征在于:所述配液进气口与配液排气口均位于配液容器的上周部,所述配液排液口与配液排污口均位于配液容器的下周部,所述配液进液口位于配液容器的顶部且螺接有密封端盖,所述配液进气口上的配液进气管延伸至配液容器的内底部,所述配液排液口上的配液排液管上设有过滤网。3.根据权利要求1所述的乙硼烷制备装置,其特征在于:所述反应进液口与反应出气口位于反应容器的顶部,所述反应进气口上的反应进气管至上往下延伸至反应容器的内底部,所述反应排液口上的反应排液管位于反应容器的底部,所述反应容器上设有反应容器液位计。4.根据权利要求1所述的乙硼烷制备装置,其特征在于:所述第一保温外壳包括内设保温夹层的壳体,所述保温夹层内装入珠光砂保温填料,所述保温夹层的底部设有与真空泵连接的抽真空管,抽真空管上设有过滤网,所述保温夹层的顶部设有填料口;所述第一温控装置包括连接第一调温空腔下周部的第一进气管、连接第一调温空腔上部的第一排气管,所述第一进气管上连接有低温氮气进气管、加热氮气进气管。5.根据权利要求1所述的乙硼烷制备装置,其特征在于:所述回收出气口位于回收容器的顶部,所述回收进气口至上往下延伸至回收容器的内底部;所述第二保温外壳包括内设保温夹层的壳体,所述保温夹层内装入珠光砂保温填料,所述保温夹层的底部设有与真空泵连接的抽真空管,抽真空管上设有过滤网,所述保温夹层的顶部设有填料口;所述第二温控装置包括连接第二调温空腔下周部的第二进气管、连接第二调温空腔上部的第二排气管,所述第二进气管上连接有液氮进气管、热氮气进气管。6.根据权利要求1所述的乙硼烷制备装置,其特征在于:所述产品冷冻瓶包括产品冷冻瓶冷肼,所述产品冷冻瓶冷肼内设有液氮与不锈钢冷冻瓶。7.根据权利要求4所述的乙硼烷制备装置,其特征在于:所述低温氮气进气管上设有阀门A、加热氮气进气管上设有阀门B、第一排气管上设有阀门C。8.根据权利要求5所述的乙硼烷制备装置,其特征在于:所述液氮进气管上设有阀门D、热氮气进气管上设有阀门E、第二进气管设有阀门F。9.根据权利要求1所述的乙硼烷制备装置,其特征在于:所述配液进气口上的配液进气管与进气主管连接,所述配液排液口上的配液排液管与反应进液口连接,所述进气主管上还连接有第一进气支管与第二进气支管,所述配液进气管、第一进气支管、第二进气支管并联连接在进气主管上,所述第一进气支管的另一端连接配液排液管,所述第二进气支管的另一端连接反应进气口的反应进气管,所述反应进气管还连接有三氯化硼添加管,所述进气主管上设有阀门一,所述配液进气管上设有阀门二,所述配液排气口的配液排气管上设有阀门三,所述配液排液管上设有阀门四,所述第一进气支管上设有阀门...
【专利技术属性】
技术研发人员:许少鹏,何经余,
申请(专利权)人:福建久策气体集团有限公司,
类型:发明
国别省市:福建,35
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。