The invention discloses a three-dimensional dynamic adjustment and locking mechanism, which realizes axial displacement adjustment and tilt adjustment of optical elements by means of a three-point uniform elastic adjustment mechanism. The mechanism distributes three elastic adjustment mechanisms evenly at the bottom of the optical element, and uses the deformation of the elastic mechanism to realize high-precision dynamic adjustment of the optical element. Y can be adjusted when the deformation of Z2 is the same and the deformation of Z3 is different. Each elastic mechanism is equipped with a corresponding lever mechanism, which can convert the vertical adjustment of the mechanism into horizontal adjustment, and at the same time, the adjustment accuracy of the mechanism is improved by using the scaling ratio of the lever.
【技术实现步骤摘要】
一种三维动态调节及锁紧机构
本专利技术所述为一种精密机械装置,具体涉及一种三维动态调节及锁紧机构。
技术介绍
随着光学成像系统性能的提高,对光学元件的调节功能提出了进一步的要求:不仅要求光学元件的调节精度达到微米甚至亚微米级;还对调节机构的动态响应时间提出更高的要求;同时对调节机构的空间尺寸要求更加紧凑。在光学成像系统中,常见的一种对光学元件进行位置调节为沿光轴Z向位移调节和X/Y向的倾斜调节。为实现光学元件的相应调节,常见的机构为利用直线导轨实现Z向位移调节和利用三点楔块机构实现光学元件X/Y向的倾斜调节,将两种机构合并组合使用即可实现光学元件的位置调节。在高分辨成像光学系统中,利用直线导轨加楔块调节的组合机构对光学元件进行位置调节存在相应的技术难点:一方面直线导轨加楔块的组合机构需要较大的安装空间,不符合高分辨成像系统对调节机构的紧凑性尺寸要求;另一方面该机构调节误差不能满足光学元件的高精度调节要求。
技术实现思路
为解决上述问题,实现高分辨成像系统光学元件的精密调节,本专利技术提出一种三维调节机构,在较小空间尺寸下实现光学元件的高精度位置调节。本专利技术采用的技术方案为:一种三维动态调节及锁紧机构,该机构利用3点均布的弹性调节机构实现光学元件的轴向位移调节和倾斜调节,该调节机构在光学元件底部均匀分布3个弹性调节机构,利用弹性机构变形实现光学元件的高精度动态调节;利用3点弹性机构变形实现调节:3点弹性机构Z1/Z2/Z3变形量相同时,可实现光学元件光轴Z向调节;Z3保持不变,Z1和Z2相反变形时即可实现X向倾斜调节;当Z1和Z2变形量相同而Z3变形量存在差 ...
【技术保护点】
1.一种三维动态调节及锁紧机构,其特征在于:该机构利用3点均布的弹性调节机构实现光学元件的轴向位移调节和倾斜调节,该调节机构在光学元件底部均匀分布3个弹性调节机构,利用弹性机构变形实现光学元件的高精度动态调节;利用3点弹性机构变形实现调节:3点弹性机构Z1/Z2/Z3变形量相同时,可实现光学元件光轴Z向调节;Z3保持不变,Z1和Z2相反变形时即可实现X向倾斜调节;当Z1和Z2变形量相同而Z3变形量存在差异时可实现Y向调节。
【技术特征摘要】
1.一种三维动态调节及锁紧机构,其特征在于:该机构利用3点均布的弹性调节机构实现光学元件的轴向位移调节和倾斜调节,该调节机构在光学元件底部均匀分布3个弹性调节机构,利用弹性机构变形实现光学元件的高精度动态调节;利用3点弹性机构变形实现调节:3点弹性机构Z1/Z2/Z3变形量相同时,可实现光学元件光轴Z向调节;Z3保持不变,Z1和Z2相反变形时即可实现X向倾斜调节;当Z1和Z2变形量相同而Z3变形量存在差异时可实现Y向调节。2.根据权利要求1所述的三维动态调节及锁紧机构,其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱咸昌,王建,陈磊,
申请(专利权)人:中国科学院光电技术研究所,
类型:发明
国别省市:四川,51
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