流量测定系统技术方案

在容器收纳设备中，流量测定系统使用流量测定装置来对净化气体的流量进行测定，该容器收纳设备具备：收纳架，其具有支撑部；搬送装置，其对支撑部搬送容器；以及气体供给装置，其将净化气体供给至由支撑部支撑的容器。搬送装置和流量测定装置以能够通信的状态经由电力线而连接。在搬送装置搬送流量测定装置而将该流量测定装置承载于对象支撑部的状态下，流量测定装置对净化气体的流量进行测定。

Flow measurement system

In a container receiving device, a flow measuring system uses a flow measuring device to measure the flow of purified gases. The container receiving device has a receptacle with a support; a conveying device, which carries a container to a support; and a gas supplying device, which supplies purified gases to a capacity supported by a support. Apparatus. The conveying device and the flow measuring device are connected by a power line in a state of communication. When the conveying device carries the flow measuring device and the flow measuring device is loaded on the supporting part of the object, the flow measuring device measures the flow rate of the purified gas.

【技术实现步骤摘要】
流量测定系统
本专利技术涉及流量测定系统。
技术介绍
利用一种容器收纳设备，该容器收纳设备具备：收纳架，其具有多个支撑部；搬送装置，其对多个支撑部中的任一个搬送容器；以及气体供给装置，其将净化气体供给至由多个支撑部中的每个支撑的容器。例如，在半导体工厂中，为了大规模地保管容纳半导体晶圆或中间掩模等的容器，使用这样的容器收纳设备。由于作为容器内的收纳物的半导体晶圆或中间掩模因自然氧化等而污损，因而为了防止那样的污损，要求对供给至各容器的净化气体的流量精度良好地进行测定且恰当地进行管理。例如，在日本特开2015-12040号公报(专利文献1)中，公开了一种检查装置，该检查装置具备检查用供气口，该检查用供气口接合至气体供给装置的供给喷嘴，在代替容器而由支撑部支撑的状态下，该检查装置对从检查用供气口流入的净化气体的流量进行测定。由于该检查装置以与通常的容器相同的方式，在由支撑部支撑的状态下，对净化气体的流量进行测定，因而依次移动运载至各支撑部而进行流量测定，由此，能够对在各支撑部中供给的净化气体的流量精度良好地进行测定。此外，在检查装置，还搭载有检查用控制装置，该检查用控制装置进行基于测定结果的各种判定，或者，存储测定结果或判定结果等，从另外搭载于该检查装置的小型的电池供给检查装置的驱动电力。然而，能够使用检查装置来统一测定的支撑部的范围受电池的容量制约。因此，有时候也不能对全部的支撑部统一进行测定，在那样的情况下，在途中进行电池更换，并且，间歇地进行测定操作。另外，将在各批中得到的测定结果的数据分别调入操作用计算机，最后将那些数据合并，由此，对于全部的支撑部，得到一对一地对应的测定数据。这样，在专利文献1的检查装置中，由于需要为了得到整组测定数据而间歇地实施电池更换的多批测定处理和利用操作用计算机来实现的数据处理，因而在检查效率的点上，存在改善的余地。
技术实现思路
专利技术要解决的课题期望能够对供给至承载于收纳架的支撑部的各容器的净化气体的流量精度良好地高效地进行测定。用于解决课题的方案本公开所涉及的流量测定系统，在容器收纳设备中，使用流量测定装置来对从气体供给装置供给的净化气体的流量进行测定，该容器收纳设备具备：收纳架，其具有多个支撑部；搬送装置，其对从多个所述支撑部中选择的对象支撑部搬送容器；以及所述气体供给装置，其将所述净化气体供给至由多个所述支撑部中的每个支撑的所述容器，该流量测定系统的特征在于，所述搬送装置和所述流量测定装置以能够通信的状态经由电力线而连接，在所述搬送装置代替所述容器而搬送所述流量测定装置且将该流量测定装置承载于所述对象支撑部的状态下，所述流量测定装置对所述净化气体的流量进行测定。依据该构成，由于在流量测定装置承载于对象支撑部的状态下，以与由支撑部支撑容器的状态同样的状态进行流量测定，因而能够对所供给的净化气体的流量精度良好地进行测定。另外，通常，由于在搬送容器的搬送装置例如连接至电力系统等而恒定地进行电力供给的情况下，该搬送装置和流量测定装置经由电力线而连接，因而还将电力经由搬送装置而稳定地供给至流量测定装置。因此，不需要在如针对流量测定装置而从例如小型的电池进行电力供给那样的情况下成为问题的电池更换，能够效率良好地进行数据测定。而且，通常，在搬送容器的搬送装置与控制装置可通信地连接的情况下，由于搬送装置和流量测定装置能够通信，因而能够将通过流量测定装置而得到的测定数据经由搬送装置而依次发送至控制装置。因此，不需要在如分成多批而进行流量测定那样的情况下成为问题的控制装置侧处的测定数据的合并处理，能够效率良好地得到整组测定数据。将通过参照附图而记述的以下的举例说明的且非限定的实施方式的说明而使得本公开所涉及的技术的进一步的特征和优点更明确。附图说明图1是容器收纳设备的截面图；图2是支撑部的侧视图；图3是气体供给装置的示意图；图4是移动运载装置和流量测定装置的立体图；图5是流量测定装置的立体图；图6是流量测定中的支撑部和流量测定装置的侧视图；图7是移动运载装置和流量测定装置的平面图；图8是示出控制部的构成的框图；图9是示出第一重试模式的处理顺序的流程图；图10是示出第二重试模式的处理顺序的流程图；图11是示出诊断处置模式的处理顺序的流程图。用于实施本专利技术的方式参照附图，对流量测定系统的实施方式进行说明。在容器收纳设备10中，利用本实施方式的流量测定系统1，容器收纳设备10具备：收纳架2，其具有支撑部22；搬送装置3，其对支撑部22搬送容器5；以及气体供给装置4，其将净化气体供给至由支撑部22支撑的容器5。在例如工业制品的制造过程中，为了在工序等待等的期间，暂时地保管原料或半制品等，或保管成品，使用容器收纳设备10。在这样的容器收纳设备10中，流量测定系统1使用该流量测定系统1所具备的流量测定装置6来对从气体供给装置4供给的净化气体的流量进行测定。如图1所示，容器收纳设备10设置于洁净室内。洁净室能够以例如气体从顶板部12侧流向地板部11侧的向下流动式构成。在地板部11，铺设有行驶轨道14。在顶板部12，铺设有顶板轨道15。收纳架2设置于分隔壁17的内部空间，其中，分隔壁17设于地板部11与顶板部12之间。以夹着构成搬送装置3的塔式起重机33而对置的状态具备一对收纳架2。在本实施方式中，将一对收纳架2的排列方向称为“前后方向X”，将各收纳架2的横宽方向称为“左右方向Y”。收纳架2具有：多个支柱21，其沿左右方向Y排列；和多个支撑部22，其遍及沿左右方向Y相邻的一对支柱21而以沿上下方向Z排列的状态固定(参照图2)。这样，收纳架2以沿上下方向Z和左右方向Y并排的状态具有多个支撑部22。支撑部22能够由例如在中央具有切口部的俯视时呈U字状的架板构成。“U字状”意味着，即使具有字母的Ｕ字或略微的异形部分，也能够作为整体而概略地视为Ｕ字的形状(以下，关于形状等，关于标记使用“状”的其他的表达，也是相同的宗旨)。如图2所示，在将容器5承载于支撑部22上的状态下，支撑部22从下方支撑该容器5。另外，在将流量测定装置6承载于支撑部22上的状态下，支撑部22从下方支撑该流量测定装置6(参照图6)。U字状的支撑部22支撑容器5和流量测定装置6的底面的三边。在支撑部22，在多个部位设有向上方突出的突出销22P。在本实施方式中，作为容器5，使用容纳EUV(极紫外线)光刻用的中间掩模(光掩模)的中间掩模盒。容器5具有容纳中间掩模的主体部51和比主体部51更设于上方的凸缘部56。主体部51以长方体状形成，更具体地，以俯视时呈正方形状的长方体状形成。容器5以既定的重量平衡具有既定重量。在容器5的主体部51的底面，向上下方向Z的上方凹陷的凹部54与支撑部22的突出销22P的形成位置相对应地设于多个部位。凹部54的内面成为倾斜面。在容器5承载于支撑部22时，凹部54的内面与突出销22P的卡合作用导致即使容器5相对于支撑部22的位置沿水平方向偏移，也将该相对位置修正为适当的位置。如图3所示，在容器5，设有供气口52和排气口53。在图3的示意图中，为了优先容易理解，正确性欠缺，但实际上，供气口52和排气口53全都形成于容器5的底面。在由支撑部22支撑容器5的状态下，气体供给装置4的吐出喷嘴47嵌合于供气口52。搬送装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种流量测定系统，在容器收纳设备中，使用流量测定装置来对从气体供给装置供给的净化气体的流量进行测定，该容器收纳设备具备：收纳架，其具有多个支撑部；搬送装置，其对从多个所述支撑部中选择的对象支撑部搬送容器；以及所述气体供给装置，其将所述净化气体供给至由多个所述支撑部中的每个支撑的所述容器，该流量测定系统的特征在于，所述搬送装置和所述流量测定装置以能够通信的状态经由电力线而连接，在所述搬送装置代替所述容器而搬送所述流量测定装置且将该流量测定装置承载于所述对象支撑部的状态下，所述流量测定装置对所述净化气体的流量进行测定。

【技术特征摘要】
2017.02.08 JP 2017-0215711.一种流量测定系统，在容器收纳设备中，使用流量测定装置来对从气体供给装置供给的净化气体的流量进行测定，该容器收纳设备具备：收纳架，其具有多个支撑部；搬送装置，其对从多个所述支撑部中选择的对象支撑部搬送容器；以及所述气体供给装置，其将所述净化气体供给至由多个所述支撑部中的每个支撑的所述容器，该流量测定系统的特征在于，所述搬送装置和所述流量测定装置以能够通信的状态经由电力线而连接，在所述搬送装置代替所述容器而搬送所述流量测定装置且将该流量测定装置承载于所述对象支撑部的状态下，所述流量测定装置对所述净化气体的流量进行测定。2.根据权利要求1所述的流量测定系统，其特征在于，所述容器收纳设备还具备：控制部，其对所述搬送装置和所述气体供给装置的动作进行控制；和显示部，所述流量测定装置的测定数据实时地传送至所述控制部，所述控制部将所接收到的所述测定数据显示于所述显示部。3.根据权利要求1或2所述的流量测定系统，其特征在于，所述容器收纳设备还具备控制部，该控制部对所述搬送装置和所述气体供给装置的动作进行控制，所述流量测定装置的测定数据实时地传送至所述控制部，在所得到的测定数据从预定的正常值范围偏离的情况下，在将所述流量测定装置重新承载于所述对象支撑部之后，所述控制部仅以预定的设定次数对所述净化气体的流量进行再次测定，在所述测定数据被控制在所述正常值范围内的情况下，选择新的所述支撑部，以作为所述对象支撑部，将所述流量测定装置移动运载至该对象支撑部，对所述净化气体的流量进行测定。4.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：上田俊人，田中淳，河村真辅，
申请(专利权)人：株式会社大福，
类型：发明
国别省市：日本,JP