一种电磁感应耦合双介质低温等离子体发生装置制造方法及图纸

本发明专利技术属于等离子体发生装置领域，尤其涉及一种电磁感应耦合双介质低温等离子体发生装置，包括低温等离子发生器、高频电压发生器、直流电压调节器、螺线圈、固定架、进气口、出气口，其中低温等离子发生器由外到内依此为壳体、低压放电电极、低压放电电极介质层、高压放电电极介质层、高压放电电极。该装置利用通电螺线圈产生磁场，通过调节通电螺线圈电压的大小，来调节磁场的强弱，能有效解决利用永久磁铁所产生磁场强度固定、不可调节的弊端，使装置的应用更加广泛。

Electromagnetic induction coupling double medium low temperature plasma generator

The invention belongs to the field of plasma generating device, in particular relates to an electromagnetic induction coupling dual-medium low-temperature plasma generating device, including a low-temperature plasma generator, a high-frequency voltage generator, a DC voltage regulator, a screw coil, a fixture, an air inlet and an air outlet, wherein a low-temperature plasma generator is from outside to inside. The shell, the low voltage discharge electrode, the low voltage discharge electrode dielectric layer, the high voltage discharge electrode dielectric layer and the high voltage discharge electrode are used. The device uses the coil to produce magnetic field. By adjusting the voltage of the coil, it can adjust the magnetic field intensity. It can effectively solve the problem that the magnetic field intensity produced by the permanent magnet is fixed and can not be adjusted, and make the device more widely used.

【技术实现步骤摘要】
一种电磁感应耦合双介质低温等离子体发生装置
本专利技术属于等离子体发生装置领域，尤其涉及一种电磁感应耦合双介质低温等离子体发生装置。
技术介绍
中国专利ZL201320642902.6中公开的大气压磁场增强型低温等离子体电刷发生装置，包括具有进气端口和出气端口的主体腔室、一对主放电电极和一对介质阻挡放电平板电极，主体腔室由绝缘材料制成；所述出气端口为窄缝状，主体腔室内靠近该出气端口的部分形成窄缝腔体，出气端口的宽度与厚度之比为5～100；所述主放电电极的放电端位于所述窄缝腔体处；所述平板电极位于进气端口与主放电电极之间，用来预电离工作气体；其特征在于：在窄缝腔体外侧，设置有永久磁铁，使得放电产生的电子和离子的行径发生改变。工作时，工作气体(等离子体维持气体和/或活性气体)经介质阻挡放电进行电离，使得放电区域存在大量的电荷(电子和正负离子)。电荷(主要是电子)在磁场的影响下受到洛伦兹力的作用，其路径由未加磁场时的直线变成曲线，增加了电子在放电空间的行程和寿命，以及电离度，使得电子能够与更多的气体分子再次碰撞电离或激发产生更多的电子和活性物种，而增加等离子体的化学活性；电子的行径由直线变本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电磁感应耦合双介质低温等离子体发生装置，其特征在于：包括低温等离子发生器、高频电压发生器、直流电压调节器、螺线圈、固定架、进气口、出气口，其中低温等离子发生器由外到内依此为壳体、低压放电电极、低压放电电极介质层、高压放电电极介质层、高压放电电极。

【技术特征摘要】
1.一种电磁感应耦合双介质低温等离子体发生装置，其特征在于：包括低温等离子发生器、高频电压发生器、直流电压调节器、螺线圈、固定架、进气口、出气口，其中低温等离子发生器由外到内依此为壳体、低压放电电极、低压放电电极介质层、高压放电电极介质层、高压放电电极。2.如权利要求1所述的一种电磁感应耦合双介质低温等离子体发生装置，其特征在于：所述低温等离子发生器是套管状结构，中间有供气体通过的腔道。3.如权利要求1所述的一种电磁感应耦合双介质低温等离子体发生装置，其特征在于：所述螺线圈均匀缠绕于低温等离子发生器的外部，两端分别结于直流电压调节器的正负极。4.如权利要求1所述的一种电磁感应耦合双介质低温等离子体发生装置，其特征在于：所述低压放电电极的材质为铜或不锈钢，包裹于低压放电电极介质层外，连于高频电压发生器的负极，同时接地。5.如权利要求1所述的一种电磁感应耦合双介质低温等离子体发生装...

【专利技术属性】
技术研发人员：高秋红，
申请(专利权)人：佛山市万善环保科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44