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本发明属于等离子体发生装置领域,尤其涉及一种电磁感应耦合双介质低温等离子体发生装置,包括低温等离子发生器、高频电压发生器、直流电压调节器、螺线圈、固定架、进气口、出气口,其中低温等离子发生器由外到内依此为壳体、低压放电电极、低压放电电极介质...该专利属于佛山市万善环保科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过佛山市万善环保科技有限公司授权不得商用。
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本发明属于等离子体发生装置领域,尤其涉及一种电磁感应耦合双介质低温等离子体发生装置,包括低温等离子发生器、高频电压发生器、直流电压调节器、螺线圈、固定架、进气口、出气口,其中低温等离子发生器由外到内依此为壳体、低压放电电极、低压放电电极介质...