电感式压力传感器及压力测量电路制造技术

本发明专利技术适用于传感器技术领域，提供了一种电感式压力传感器及压力测量电路，包括：具有第一空腔的衬底、可动薄膜和电感线圈；电感线圈设置在衬底的第一空腔上部，电感线圈的两端分别设置在衬底上，电感线圈与衬底的接触部分设置有绝缘介质层；可动薄膜设置在电感线圈的下部，可动薄膜与电感线圈之间形成第二空腔，可动薄膜与衬底的第一空腔的内壁连接，可动薄膜与电感线圈通过支撑部件连接。当可动薄膜受到压力时，可动薄膜的位置发生变化，与可动薄膜连接支撑部件位置发生变化，进而带动与支撑部件连接的电感线圈的形状发生变化，由于设计支撑部件处于可动薄膜上，可以达到使电感线圈的电感值变化量较大的目的，进而使本发明专利技术电感式传感器的灵敏度较高。

【技术实现步骤摘要】
电感式压力传感器及压力测量电路
本专利技术属于MEMS
，尤其涉及一种MEMS电感式压力传感器及压力测量电路。
技术介绍
目前，MEMS压力传感器已广泛应用于各种工业领域中。最常见的MEMS压力传感器为压阻式压力传感器。压阻式压力传感器的空腔上方为可动敏感薄膜，可动敏感薄膜直接与锚区连接，压阻条位于可动敏感薄膜的四周边缘中心处。当可动敏感薄膜收到压力作用时，向下弯曲，使得压阻条电阻发生变化，从而测量压力的变化。但是由于压阻式压力传感器的可动敏感薄膜与锚区完全连接，可动敏感薄膜受到锚区的拉力，应力分散，造成压阻条电阻变化有限，传感器的灵敏度较低。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术实施例提供了一种电感式压力传感器及压力测量电路，该传感器灵敏度较高解决现有技术中压阻式压力传感器的可动敏感薄膜直接与锚区完全连接，可动敏感薄膜受到锚区的拉力，应力分散，造成压阻条电阻变化有限，传感器的灵敏度较低的问题。本专利技术实施例的第一方面提供了一种电感式压力传感器，包括：具有第一空腔的衬底、可动薄膜和电感线圈；所述电感线圈设置在所述衬底的第一空腔上部，所述电感线圈的两端分别设置在所述衬底上，所述电感线本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电感式压力传感器，其特征在于，包括：具有第一空腔的衬底、可动薄膜和电感线圈；所述电感线圈设置在所述衬底的第一空腔上部，所述电感线圈的两端分别设置在所述衬底上，所述电感线圈与所述衬底的接触部分设置有绝缘介质层；所述可动薄膜设置在所述电感线圈的下部，所述可动薄膜与所述电感线圈之间形成第二空腔，所述可动薄膜与所述衬底的第一空腔的内壁连接，所述可动薄膜与所述电感线圈通过支撑部件连接。

【技术特征摘要】
1.一种电感式压力传感器，其特征在于，包括：具有第一空腔的衬底、可动薄膜和电感线圈；所述电感线圈设置在所述衬底的第一空腔上部，所述电感线圈的两端分别设置在所述衬底上，所述电感线圈与所述衬底的接触部分设置有绝缘介质层；所述可动薄膜设置在所述电感线圈的下部，所述可动薄膜与所述电感线圈之间形成第二空腔，所述可动薄膜与所述衬底的第一空腔的内壁连接，所述可动薄膜与所述电感线圈通过支撑部件连接。2.根据权利要求1所述的电感式压力传感器，其特征在于，所述电感线圈为平面电感线圈，并且在其下方有第二空腔。3.根据权利要求2所述的电感式压力传感器，其特征在于，所述平面电感线圈为多个U型形状的线圈首尾相接形成的电感线圈。4.根据权利要求1所述的电感式压力传感器，其特征在于，所述支撑部件的个数为一个，所述支撑部件设置在所述电感线圈的中心处。5.根据权利要求1所述的电感式压力传感器，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：霍红颖，湛邵斌，胡涛，陆芸婷，万学元，
申请(专利权)人：深圳信息职业技术学院，湛邵斌，
类型：发明
国别省市：广东,44