下载电感式压力传感器及压力测量电路的技术资料

文档序号:18613266

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本发明适用于传感器技术领域,提供了一种电感式压力传感器及压力测量电路,包括:具有第一空腔的衬底、可动薄膜和电感线圈;电感线圈设置在衬底的第一空腔上部,电感线圈的两端分别设置在衬底上,电感线圈与衬底的接触部分设置有绝缘介质层;可动薄膜设置在电...
该专利属于深圳信息职业技术学院;湛邵斌所有,仅供学习研究参考,未经过深圳信息职业技术学院;湛邵斌授权不得商用。

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