一种隔热片的安全运送装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种隔热片的安全运送装置，属于半导体制造技术领域，适用于运送以及安装石英材质的隔热片，安全运送装置包括：一用于存放待搬运的隔热片的存储箱，底部设置缓震装置；一用于取放隔热片的搬运治具，搬运治具包括：一握柄；两个支撑柄，通过一角度调节机构连接于握柄的中部；两个固定装置，分别设置于两个支撑柄的自由端(未连接握柄的一端)上，固定装置用以可拆卸地将搬运治具固定在待搬运的隔热片上。上述技术方案的有益效果是：存储箱底部设置有缓震底座可避免隔热片在运送的过程中破损，通过将搬运治具固定在隔热片上，方便工作人员在搬运隔热片时着力，避免人为取放隔热片时隔热片因受力不均出现磕碰甚至损坏。

A safe delivery device for insulation

The utility model discloses a safe transporting device for heat insulation sheet, which belongs to the field of semiconductor manufacturing technology, and is suitable for transporting and installing heat insulation sheets of quartz material. The safety delivery device comprises a storage box for storing the heat insulation sheet to be carried, a slow shock device at the bottom, and a handling tool for the insulation sheet. The handling tools include: a grip handle; two support handles connected to the middle of the grip through an angle adjusting mechanism; two fixers are set on the free end of the two handle, respectively, on the free end (one end of the unconnected grip), and the fixtures are disassembled to fix the handling fixture on the heat insulation sheet to be carried. The beneficial effect of the above technical scheme is that the base of the storage box is set with a slow shock base to avoid the damage of the heat insulation sheet during the transport process. By fixing the handling tool on the heat insulation sheet, it is convenient for the staff to move the heat insulation sheet when the heat insulation sheet is carried, so that the heat insulation sheet will be knocked or even damaged because of the uneven force.

【技术实现步骤摘要】
一种隔热片的安全运送装置
本技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种适用于运送以及安装石英材质隔热片的隔热片的安全运送装置。
技术介绍
半导体制造过程中，需要对晶圆进行热处理，热处理设置包括一反应炉，在反应炉的底部设置有热源，反应炉内设置托盘，待处理的晶圆放置在托盘上。为保证热处理过程中晶圆受热均匀，不会直接将托盘放置在热源上，通常会在热源和托盘之间设置一个隔热片，托盘放置在隔热片上，使得晶圆受热均匀。隔热片为石英材质，石英材质的隔热片在运送过程中，如果遇到颠簸或磕碰极易破损，严重时会造成破碎；而且隔热片一般包括多片层叠的石英片，具有较大的体积，不放便搬运，在安装过程中容易与机台产生碰撞，导致隔热片破损。
技术实现思路
根据现有技术中存在的上述问题，现提供一种适用于运送以及安装石英材质隔热片的隔热片的安全运送装置，旨在避免隔热片在运送和安装的过程产生碰撞导致隔热片破损。本技术采用如下技术方案：一种隔热片的安全运送装置，适用于运送以及安装石英材质的隔热片，所述安全运送装置包括：一用于存放待搬运的隔热片的存储箱，所述存储箱具有向上的开口，所述存储箱设置于一底座上，所述底座内设置有缓震装置；一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种隔热片的安全运送装置，适用于运送以及安装石英材质的隔热片，其特征在于，所述安全运送装置包括：一用于存放待搬运的隔热片的存储箱，所述存储箱具有向上的开口，所述存储箱设置于一底座上，所述底座内设置有缓震装置；一用于取放待搬运的隔热片的搬运治具，所述搬运治具包括：一握柄；两个支撑柄，每个所述支撑柄包括固定端和自由端，两个所述支撑柄的固定端通过一角度调节机构连接于所述握柄的中部；两个固定装置，分别设置于两个所述支撑柄的自由端上，所述固定装置用以可拆卸地将所述搬运治具固定在待搬运的隔热片上。

【技术特征摘要】
1.一种隔热片的安全运送装置，适用于运送以及安装石英材质的隔热片，其特征在于，所述安全运送装置包括：一用于存放待搬运的隔热片的存储箱，所述存储箱具有向上的开口，所述存储箱设置于一底座上，所述底座内设置有缓震装置；一用于取放待搬运的隔热片的搬运治具，所述搬运治具包括：一握柄；两个支撑柄，每个所述支撑柄包括固定端和自由端，两个所述支撑柄的固定端通过一角度调节机构连接于所述握柄的中部；两个固定装置，分别设置于两个所述支撑柄的自由端上，所述固定装置用以可拆卸地将所述搬运治具固定在待搬运的隔热片上。2.如权利要求1所述的安全运送装置，基特征在于，所述固定装置为吸盘。3.如权利要求1所述的安全运送装置，其特征在于，所述缓震装置包括多组缓震弹簧。4.如权利要求1所述的安全运送装置，其特征在于，所述角度调节机构包括：相互平行的第一耳板和第二耳板，垂直地固定于所述握柄的中部；两个齿轮，分别固定在两个所述支撑柄的固定端上并相互啮合地设置于所述第一耳板和所述第二耳板之间；两个紧固件，两个所述齿轮分别通过两个所述紧固件可枢转地固定于所述第一耳板和所述第二耳板之间。5.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄诗阳，周诗铎，辛科，赵庆，
申请(专利权)人：武汉新芯集成电路制造有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北,42