一种专用于半导体晶圆运送的推车制造技术

本实用新型专利技术公开了一种专用于半导体晶圆运送的推车，包括牵引车和拖车，且在牵引车的上表面设有多个固定槽，所述牵引车的左侧面设有拉手，同时在牵引车的右侧面设有卡槽，且在卡槽上设有对穿的圆孔，所述拖车的左侧面设有卡舌，且所述卡舌伸进插槽内，并通过插销将牵引车和拖车连接在一起，另外在拖车的下方设有定向轮，且在定向轮的上方设有固定板，同时在固定板和定向轮之间连接有弹簧，由于在牵引车和拖车上均设有固定槽，从而使得半导体晶圆可以固定，另外牵引车和拖车通过插销固定从而使得牵引车可以一次性带动多个拖车，从而实现了半导体晶圆的运送，当卸下拖车时，牵引车也可以推着走，进而实现了一车多用的功能，进而值得推广。

A cart dedicated to the transport of semiconductor wafers

The utility model discloses a cart for transporting a semiconductor wafer, including a tractor and a trailer, and a plurality of fixed grooves on the upper surface of the tractor. The left side of the tractor is provided with a pull hand, and a card slot is provided on the right side of the tractor, and a circular hole is arranged on the slot and the left side of the trailer is on the left side. The tongue is provided with a tongue, and the card tongue is inserted into the slot, and the tractor and the trailer are connected together through the pin. In addition, a directional wheel is provided under the trailer, and a fixed plate is provided above the direction wheel, and a spring is connected between the fixed plate and the orientation wheel. In addition, the semiconductor wafer can be fixed, and the tractor and trailer can be fixed by the pin so that the tractor can drive a number of trailers at one time, thus realizing the transport of semiconductor wafer. When the trailer is unloaded, the tractor can be pushed and walk, and then the function of a car is realized, and it is worth popularizing.

【技术实现步骤摘要】
一种专用于半导体晶圆运送的推车
本技术涉及半导体晶圆的运输领域，具体为一种专用于半导体晶圆运送的推车。
技术介绍
目前，半导体制造厂内，半导体晶圆无论在那一道生产环节均需要运送，但是半导体晶圆属于精密仪器领域，在运输过程中尤为小心，一不注意就有可能造成半导体晶圆破损，另外在半导体晶圆生产时无论成品还是代加工品，均需要不断地将原料和成品运走，然而市场上的手推车多采用液压顶推车，该产品运送物品时需要托盘，由于托盘较大放置半导体晶圆时容易倒塌，同时这类推车由于没有减震系统，走到哪都是颠颠晃晃的，容易出现半导体晶圆运送途中发生破损现象，另外这类手推车每次只能运输一种产品，往往出现顾此失彼的问题，尤其是在流水线生产中，不同种类的原料需要较多的手推车配合才能满足不同产品的运送，从而增加生产成本。
技术实现思路
一种专用于半导体晶圆运送的推车，包括牵引车和拖车，所述牵引车的左侧面设有拉手，在牵引车的右侧面设有卡槽，且在牵引车的下底面设有四个万向轮，所述牵引车的上表面设有多个固定槽；所述拖车的左侧面设有卡舌，同时卡舌和卡槽上均设有圆孔，所述卡舌伸进卡槽的内部，且在卡槽和卡舌的连接处设有插销，所述拖车的下底面设有四个连接板，且在连接板的下方设有两个螺钉，所述连接板通过螺钉固定在拖车的下表面上；所述牵引车和拖车的上方均设有防护棚，且所述防护棚的左右两个侧面上对称设置有拉环，所述牵引车和拖车上表面的四个拐角处设有固定孔。作为本技术的优选技术方案：所述拖车的下底面活动连接有四个定向轮。作为本技术的优选技术方案：所述定向轮的上方设有弹力板，且在弹力板上设有弹簧固定槽。作为本技术的优选技术方案：所述弹簧固定槽上安装有弹簧，且所述弹簧的另一端固定在连接板上。作为本技术的优选技术方案：所述定向轮轴销处设有自锁拉杆。作为本技术的优选技术方案：所述牵引车与所述拖车为活动连接，且通过插销将二者连接。作为本技术的优选技术方案：所述拖车的右侧面设有连接槽，且所述连接槽与所述卡槽的结构相同。采用上述技术方案，本技术的有益效果如下：1.由于设置牵引车配合配合拖车，具有半导体晶圆的运输功能，从而解决了半导体晶圆的运输问题；2.由于牵引车和拖车为活动连接，从而使得牵引车可以一次带动多个拖车，同时每个拖车可以装载不一样的原材料，进而解决了不同原材料需要多次运送的问题；3.由于拖车可以根据实际需要，进行定制生产，从而可以满足各类半导体晶圆同时运送，进而解决了不同晶圆需要不同的设备进行运送的问题；4.由于定向轮上设有弹力板且在弹力板上连接有弹簧，具有很好地减震效果，从而解决了半导体晶圆运输中颠颠晃晃的问题；5.由于设置防倒棚，防倒棚具有稳定半导体晶圆在运输中倒塌的作用，从而解决了半导体晶圆倒塌带来经济损失的问题；6.由于设置自锁拉杆，从而使得拖车拆下时可以通过自锁拉杆将拖车稳稳锁在原地，具有随拉随走、随放随稳的作用，进而解决了半导体晶圆存放时不稳定的问题。附图说明图1为本技术的主体结构示意图；图2为拖车结构示意图；图3为防倒棚结构示意图；图4为定向轮结构示意图。图中：1-拉手；2-固定槽；3-牵引车；4-插销；5-拖车；6-卡槽；7-圆孔；8-万向轮；9-卡舌；10-连接槽；11-定向轮；12-固定孔；13-防护棚；14-拉环；15-自锁拉杆；16-弹力板；17-螺钉；18-连接板；19-弹簧；20-弹簧固定槽。具体实施方式下面结合附图对本实用型的具体实施方式作进一步说明。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本实用型，但并不构成对本实用型的限定。此外，下面所描述的本技术各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。实施例请参阅图1、图2、图3和图4，本技术提供一种专用于半导体晶圆运送的推车，包括牵引车3和拖车5，所述牵引车3的左侧面设有拉手1，在牵引车3的右侧面设有卡槽6，且在牵引车3的下底面设有四个万向轮8，从而使得牵引车3可以通过拉手1控制该装置的前进方向，所述牵引车3的上表面设有多个固定槽2，从而使得半导体晶圆可以放置在固定槽2内，专门运输半导体晶圆，避免了其他运输装置，对半导体晶圆造成的损坏；所述拖车5的左侧面设有卡舌9，同时卡舌9和卡槽6上均设有圆孔7，所述卡舌9伸进卡槽6的内部，且在卡槽6和卡舌9的连接处设有插销4，从而使得牵引车3和拖车5安装和拆卸方便，同时在流水线生产时，每个流水线生产的半导体晶圆性质不同，可以放置不同的拖车5，由于设置的卡槽6配合卡舌9从而便于牵引车3顺利带走拖车5，所述拖车5的下底面设有四个连接板18，且在连接板18的下方设有两个螺钉17，所述连接板18通过螺钉17固定在拖车5的下表面上，从而使得定向轮11损坏时更换方便，在连接板18的下方设有定向轮11，且在定向轮11的上方安装有弹力板16，同时在弹力板16上设有弹簧固定槽20，在弹簧固定槽20上安装有弹簧19，所述弹簧19的另一端固定在连接板18上，从而实现了拖车5在运输半导体晶圆时，可以有效降低震动，进而保证半导体晶圆运输过程中的安全稳定，同时在定向轮11的正面设有自锁拉杆15，从而使得拖车5脱离牵引车3时通过自锁拉杆15将拖车5牢牢固定在所需要的位置，防止拖车5自溜带来的危害，同时拖车5也便于预留在每个所需要的岗位上；所述牵引车3和拖车5的上方均设有防护棚13，由于防护棚13的设置，从而使得半导体晶圆放置在拖车5上可以稳定牢固，进一步降低半导体晶圆倒塌的风险，且所述防护棚13的左右两个侧面上对称设置有拉环14，通过拉环14向上即可提起防护棚13，进而便于取出拖车5上的半导体晶圆，所述牵引车3和拖车5上表面的四个拐角处设有固定孔12，另外在拖车5的右侧面设有连接槽10，且所述连接槽10与所述卡槽6的结构相同，从而使得一个牵引车3可以同时带动多个拖车5，继而使得拖车5可以根据生产需要进行定制生产；所述牵引车3和拖车5的活动连接，从而使得该装置，既可以带动成品移动也可以带动半成品移动，进而实现了一个牵车人就可以满足不同岗位对原材料的需求，不仅便于生产和运输还大大降低了人员成本，尤其是在大企业生产中，无论成品还是半成品都是大量的，因而需要一种牵引车3可以同时带动放置有成品和半成品半导体晶圆的拖车5，当多个岗位完成生产时，牵车人只需将牵引车3牵引到预留位置上的拖车5处，并将二者连接在一起，即可带动拖车5移动了，另外在拖走的途中需要增加或者取下其他类型的半导体晶圆时，只需将拖车5连接或者拆下即可，进而实现了一个人即可以拉走整条流水线上预留的拖车5，也可以在拖走的过程中将上一道工序的产品带到下一个工序中去。本技术的工作原理是：使用时，通过插销4将拖车5和牵引车3连接在一起并将空的牵引车3和拖车5一起拉到流水线上，并将拖车5预留在设定位置，然后通过自锁拉杆15将拖车5锁在设定位置，直至每条流水线均有一台拖车5；第二步，牵车人顺着车间流水线走动将装满的半成品的拖车5从上一个工序拉到下一个工序，取下插销4将拖车5留下，并将该工序的拖车5拖至下一工序；第三步，牵车人在拖车过程中，根据岗位需求可以放下该岗位所需要的拖车5；第四步，当走至成品区时，将成品的半导体晶圆集中拉至仓库保存。以上所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种专用于半导体晶圆运送的推车，包括牵引车(3)和拖车(5)，其特征在于：所述牵引车(3)的左侧面设有拉手(1)，在牵引车(3)的右侧面设有卡槽(6)，且在牵引车(3)的下底面设有四个万向轮(8)，所述牵引车(3)的上表面设有多个固定槽(2)；所述拖车(5)的左侧面设有卡舌(9)，同时卡舌(9)和卡槽(6)上均设有圆孔(7)，所述卡舌(9)伸进卡槽(6)的内部，且在卡槽(6)和卡舌(9)的连接处设有插销(4)，所述拖车(5)的下底面设有四个连接板(18)，且在连接板(18)的下方设有两个螺钉(17)，所述连接板(18)通过螺钉(17)固定在拖车(5)的下表面上；所述牵引车(3)和拖车(5)的上方均设有防护棚(13)，且所述防护棚(13)的左右两个侧面上对称设置有拉环(14)，所述牵引车(3)和拖车(5)上表面的四个拐角处设有固定孔(12)。

【技术特征摘要】
1.一种专用于半导体晶圆运送的推车，包括牵引车(3)和拖车(5)，其特征在于：所述牵引车(3)的左侧面设有拉手(1)，在牵引车(3)的右侧面设有卡槽(6)，且在牵引车(3)的下底面设有四个万向轮(8)，所述牵引车(3)的上表面设有多个固定槽(2)；所述拖车(5)的左侧面设有卡舌(9)，同时卡舌(9)和卡槽(6)上均设有圆孔(7)，所述卡舌(9)伸进卡槽(6)的内部，且在卡槽(6)和卡舌(9)的连接处设有插销(4)，所述拖车(5)的下底面设有四个连接板(18)，且在连接板(18)的下方设有两个螺钉(17)，所述连接板(18)通过螺钉(17)固定在拖车(5)的下表面上；所述牵引车(3)和拖车(5)的上方均设有防护棚(13)，且所述防护棚(13)的左右两个侧面上对称设置有拉环(14)，所述牵引车(3)和拖车(5)上表面的四个拐角处设有固定孔(12)。2.根据权利要求1所述的一种专用于半导体晶圆运送...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱军，龚胜利，屈军亮，
申请(专利权)人：合肥新汇成微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34