阀装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种阀装置，可防止发生故障。阀装置包括：框体，形成有流道；阀体，沿着与所述流道交叉的方向移动，并对所述流道的开口面积进行控制；阀盖，设置有从所述流道向直径方向扩大且供所述阀体退避的空洞部，且可装卸地安装于所述框体；以及负载承受部，承受由于外力而使得所述框体受到的旋转扭矩在所述阀盖上产生的惯性力。

Valve device

The invention provides a valve device to prevent failures. The valve device consists of a frame body forming a flow channel; the valve body moves along the direction of crossing the flow passage and controls the opening area of the flow passage; the valve cover is provided with an empty section which is expanded from the channel to the diameter for the body to be withdrawn from the body, and can be installed in the frame, and the load is loaded. The external force is used to cause inertia force generated by the rotating torque of the frame on the valve cover.

【技术实现步骤摘要】
阀装置
本专利技术涉及一种阀装置。
技术介绍
在将涡轮分子泵等真空泵安装于真空处理装置的真空室的情况下，一般会使真空阀介于真空泵与真空室之间。专利文献1中公开了此种真空阀。专利文献1所记载的真空阀包括形成有气体流道的第一框体、阀体及覆盖退避流道后的阀体的第二框体。第二框体安装于第一框体的侧面。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]美国专利第5577707号说明书。
技术实现思路
本专利技术的目的在于在涡轮分子泵中，转子(rotor)以数万r.p.m的速度高速旋转，当转子在旋转过程中损坏时，因为转子的旋转动能而在旋转方向产生的巨大力量(冲击力)将传递至静止侧(例如泵壳)。所述冲击力经由泵壳传递至真空阀的第一框体之后，由第二框体的惯性引起的力而使第一框体与第二框体之间的相对位置变更的大的力会作用。本专利技术的目的是采用以下技术方案来实现的。本专利技术提供一种阀装置，包括：框体，形成有流道；阀体，沿着与所述流道交叉的方向移动，并对所述流道的开口面积进行控制；阀盖(bonnet)，设置有从所述流道向直径方向扩大且供所述阀体退避的空洞部，且可装卸地安装于所述框体；以及负载承受部，承受由于外力而本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种阀装置，其特征在于，包括：框体，形成有流道；阀体，沿着与所述流道交叉的方向移动，并对所述流道的开口面积进行控制；阀盖，设置有从所述流道向直径方向扩大且供所述阀体退避的空洞部，且可装卸地安装于所述框体；以及负载承受部，承受由于外力而使得所述框体受到的旋转扭矩在所述阀盖上产生的惯性力。

【技术特征摘要】
2017.01.13 JP 2017-0043281.一种阀装置，其特征在于，包括：框体，形成有流道；阀体，沿着与所述流道交叉的方向移动，并对所述流道的开口面积进行控制；阀盖，设置有从所述流道向直径方向扩大且供所述阀体退避的空洞部，且可装卸地安装于所述框体；以及负载承受部，承受由于外力而使得所述框体受到的旋转扭矩在所述阀盖上产生的惯性力。2.根据权利要求1所述的阀装置，其特征在于：所述负载承受部是所述框体与所述阀盖之间的嵌合部。3.根据权利要求2所述的阀装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：小亀正人，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP