【技术实现步骤摘要】
密封装置专利
本专利技术涉及一种密封装置,具体地一种用于在真空泵壳体和电子驱动器壳体之间密封的密封装置。
技术介绍
涡轮分子泵(TMP)被用在诸如质谱仪和扫描电子显微镜的许多设备中,以实现设备正确地操作所需的低压力。容纳操作涡轮分子泵马达和内部电子设备所需的电子驱动器的壳体能够定位成或者远离TMP罩壳,或者直接连接到TMP罩壳。随着电子电路变得更小,更多的TMP被制造成驱动器壳体直接连接到TMP罩壳。为了保护被容纳在壳体内的驱动器电子设备免受来自周围环境的颗粒和湿气的影响,密封元件必须定位于驱动器将附接于其的涡轮分子泵罩壳的外表面部分与将附接于泵罩壳的所述外表面部分的电子驱动器壳体的内表面部分之间。目前,用两种方式实现用以保护以防止颗粒和湿气的进入的密封。第一种方法是使用密封泡沫,当将两个元件附接在一起时,所述密封泡沫被施加在泵罩壳和驱动器壳体之间。这初始地提供极好的密封,但如果需要移除驱动器壳体,例如以维修TMP,则当重新附接这两个元件时,在能够重新施加新泡沫之前,必须将泡沫残留物从驱动器壳体和TMP的表面完全移除。此外,如果在生产中施加了密封泡沫,则在时常已知其在运输中被损坏,从而形成进入驱动器壳体的泄漏路径。第二种已知方法是在外TMP罩壳表面和/或内驱动器壳体表面中形成密封凹槽,以便接收密封件从而在这两个元件之间实现密封。然而,密封元件进入复杂的三维、非平面密封凹槽的定位是耗时的,并且需要高的技术水平以在不挤压或损坏该密封件的情况下实现正确的密封。而且,如果需要移除驱动器壳体,则该密封件必须被重新定位在凹槽中,从而为该过程增添相当多的时间。专利技术内 ...
【技术保护点】
1.一种用于在真空泵罩壳的非平面外表面部分和壳体的非平面内表面部分之间密封的密封装置,所述壳体可移除地附接于所述真空泵罩壳的所述外表面部分,其特征在于,所述密封装置包括密封件载体和密封件,所述密封件从所述密封件载体的周边延伸并连接到所述密封件载体的周边,所述密封件载体的所述周边被成形成与所述真空泵罩壳的外表面部分和所述壳体的内表面部分的非平面形状相符合。
【技术特征摘要】
2016.09.01 GB 1614815.71.一种用于在真空泵罩壳的非平面外表面部分和壳体的非平面内表面部分之间密封的密封装置,所述壳体可移除地附接于所述真空泵罩壳的所述外表面部分,其特征在于,所述密封装置包括密封件载体和密封件,所述密封件从所述密封件载体的周边延伸并连接到所述密封件载体的周边,所述密封件载体的所述周边被成形成与所述真空泵罩壳的外表面部分和所述壳体的...
【专利技术属性】
技术研发人员:G·M·G·洛德,
申请(专利权)人:爱德华兹有限公司,
类型:新型
国别省市:英国,GB
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