多点测量用应变传感器及其制造方法技术

课题为提供一种不会发生因贴合时的错位而产生的导通不良并可以降低材料费的多点测量用应变传感器及其制造方法。作为解决课题的方法，本发明专利技术的多点测量用应变传感器(31)具备基材膜(34)、形成于上述基材膜(34)的第一主面(34a)的多个应变感测部(33)、在上述基材膜(34)的第二主面(34b)上与各上述应变感测部(33)对应形成并在上述基材膜(34)的外缘附近具有外部连接端子部(37b、38b)的引绕线路(37、38)以及填充于导通孔(39、40)内来连接各上述应变感测部(33)以及与其对应的上述引绕线路(37、38)的导电糊(41、42)。

Strain sensor for multipoint measurement and its manufacturing method

The task is to provide a multi point measuring strain sensor and its manufacturing method, which can not be caused by the misplacement of the fitting and can reduce the material cost. As a solution to the subject, the multipoint measurement of the invention has a strain sensor (31) with a substrate membrane (34), a plurality of strain sensing units (33) formed in the first main surface (34a) of the substrate membrane (34), and on the second main surface (34B) of the substrate membrane (34) corresponding to the above strain sensing unit (33) and the outer edge of the substrate membrane (34). A winding circuit (37, 38) with an external connection terminal (37B, 38) and a conductive paste (41, 42) which are connected to each of the above strain sensing units (33) and their corresponding aforesaid aforesaid (37, 38) are filled in the through holes (39, 40).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】多点测量用应变传感器及其制造方法
本专利技术涉及一种多点测量用应变传感器及其制造方法。
技术介绍
就高度发展时期配备的社会公共设施的老化问题通过引入适当的管理维护方法以实现延长使用寿命、维护管理和更新的总成本的削减和平均化已经成为一个需要解决的问题。充分利用传感器、IT等技术使有效掌控社会公共设施状态成为可能的监控技术的开发推进备受期待。作为监控技术的测量方式有通过将传感器和相机等设置在构造物(混凝土构造物、钢构造物、土构造、地基、其他)上随时监控的固定型和使用设置有传感器和相机等的移动体(车辆等)定期监控的移动型，但现在的主流是固定型。作为固定型的代表性例子可以列举如下：在混凝土构造物(隧道壁面、路面等)以及钢构造物(桥梁等)上设置应变传感器，监控应变量的经年变化。作为应用于此类固定型监控技术的应变传感器，如，专利文献1中公开了一种多点测量移动体的行走用车轮接地的路面的应变的传感器。该可多点测量的应变传感器1，具体而言，通过在柔性基板2的背面贴合粘贴有多个电阻式应变仪3的应变仪底板4，并进一步在柔性基板2的表面上贴合片状绝缘构件(覆盖膜)5以构成传感器构造部6(参考图13、图14)。在柔性基板2上设置有导通于各电阻式应变仪3的应变感测部13的两端部的导线连接部(舌片)14a、14b中的导线连接部14a的薄膜状导体(引绕线路)18和导通于导线连接部14b的薄膜状导体(引绕线路)19、20。应变仪3位于路面中的车轮的接地区域上，传感器6的应变仪底板4以使薄膜状导体18、19、20的端部18b、19b、20b位于在车轮的宽度方向上偏离接地区域的区域中的方式设置在路面上。此外，专利文献1公开了多种实施方式，例如图13、图14所示的柔性基板2是由第一层基板7和第二层基板8构成的两层构造。但是亦可以使用单层的柔性基板代替。另外，虽然在图14中使用了具有应变仪底板12以及应变感测部13的多个应变仪3，并且将这些应变仪3粘贴在了应变仪底板4的表面，但是，与此不同，也可以在应变仪底板4的表面上通过光刻等直接形成多个应变感测部13。进一步，在图13、图14中，分别将应变仪引线15a、15b结线到各应变感测部13的两端部的舌片14a、14b，并把舌片14a和薄膜状导体18、以及舌片14b和薄膜状导体19、20经由应变仪引线15a、15b导通；但是，与此不同，执行舌片14a和薄膜状导体18的导通、以及舌片14b和薄膜状导体19、20的导通也可以不使用应变仪引线15a、15b。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利申请公开第2009-79976号公报。
技术实现思路
专利技术所要解决的课题但是，专利文献1中记载的应变传感器存在如下问题：具有多个应变感测部13的应变仪底板4和设置有对应各应变感测部13的薄膜状导体(引绕线路)18、19、20的柔性基板2贴合时发生偏移，引起应变感测部13的两端部的导线连接部14a、14b和柔性基板2的薄膜状导体(引绕线路)18、19、20之间的导通不良。并且，因为层构成比较多，存在材料费以及制造成本格外高的问题。因此，本专利技术的目的在于提供一种不会发生因贴合时偏移而导通不良、且可以降低材料费的多点测量用应变传感器及其制造方法。用于解决课题的方案作为解决上述课题的方案，本专利技术的第一方面提供一种如下所述多点测量用应变传感器。上述多点测量应变传感器具备：基材膜、多个应变感测部、引绕线路、以及导电糊；上述应变感测部形成在上述基材膜的第一主面上，上述引绕线路在上述基材膜的第二主面上对应上述各应变感测部形成，并且在上述基材膜的外缘附近具有外部连接端子部，上述导电糊填充在导通孔内来连接上述各应变感测部和与其对应的上述引绕线路。如上所述多个应变感测部和对应各应变感测部的引绕线路设置在同一基材膜的不同面上，应变感测部和引绕线路之间的连接不需要贴合。所以，不会发生因贴合时的偏移而产生的应变感测部和引绕线路之间的导通不良。并且，因为减少了构成应变传感器的层数，所以可以降低材料费甚至制造成本。另外，本专利技术的第二方面提供进一步具备绝缘性的第一覆盖层、绝缘性的第二覆盖层、以及导电性的端子保护层的第一方面的多点测量用应变传感器。上述第一覆盖层在上述基材膜的第一主面上以覆盖上述应变感测部的方式形成，上述第二覆盖层在上述基材膜的第二主面上以除上述外部连接端子部之外覆盖上述引绕线路的方式形成，上述导电性的端子保护层以覆盖上述引绕线路的上述外部连接端子部的方式形成。通过如上所述构成，可以防止因氧化、硫化或迁移(电蚀)而产生的劣化。另外，本专利技术的第三方面提供进一步具备引线的第一方面或第二方面的多点测量用应变传感器，其中，上述引线安装在上述引绕线路的上述外部连接端子部上。另外，本专利技术的第四方面提供进一步具备粘合层的第一方面至第三方面的多点测量用应变传感器，其中，上述粘合层用于将传感器固定在上述基材膜的第一主面侧，并且上述粘合层避开上述导通孔上而形成。通过如上所述构成可以缓和对应变时的导通孔以及导通孔中的导电糊的应力，并防止在该部分断线。本专利技术的第五方面提供包括如下工序的多点测量用应变传感器的制造方法。即在基材膜的第一主面上层压第一金属层，并在上述基材膜的第二主面上层压第二金属层；通过蚀刻法从上述第一金属层形成构成多个应变感测部的导电图案，并通过蚀刻法从上述第二金属层形成构成引绕线路的导电图案，上述引绕线路与各上述应变感测部对应并在上述基材膜的外缘附近具有外部连接端子部；在上述应变感测部和上述引绕线路相对的位置上在上述基材膜上开导通孔；以及向上述导通孔内填充导电糊。如上所述多个应变感测部和对应各应变感测部的引绕线路设置在同一基材膜的不同面上，应变感测部和引绕线路之间的连接不需要贴合。所以，不会发生因贴合时的偏移而产生的应变感测部和引绕线路之间的导通不良。并且，因为减少了构成应变传感器的层数，所以可以降低材料费甚至制造成本。另外，本专利技术的第六方面提供进一步具备如下工序的第五方面的多点测量用应变传感器的制造方法。即在上述导通孔中填充了上述导电糊的上述基材膜的第一主面上以覆盖上述应变感测部的方式形成绝缘性的第一覆盖层；在上述基材膜的第二主面上，以除上述外部连接端子部外覆盖上述引绕线路的方式形成绝缘性的第二覆盖层；以覆盖上述引绕线路的上述外部连接端子部的方式形成导电性的端子保护层。通过如上所述处理，可以防止因氧化、硫化或迁移(电蚀)而产生的劣化。另外，本专利技术的第六方面提供进一步具备如下工序的第五方面或第六方面的多点测量用应变传感器的制造方法。即在上述引绕线路的上述外部连接端子部上安装引线。专利技术效果本专利技术的多点测量用应变传感器及其制造方法如上所述多个应变感测部和对应各应变感测部的引绕线路设置在同一基材膜的不同面上，应变感测部和引绕线路之间的连接不需要贴合。所以，不会发生因贴合时的偏移而产生的应变感测部和引绕线路之间的导通不良。并且，因为减少了构成应变传感器的层数，所以可以降低材料费甚至制造成本。附图说明图1是从应变感测部侧观察本专利技术的第一实施方式的应变传感器的传感器构造部而得到的俯视图。图2是图1所示的传感器构造部上安装引线的剖面图。图3是从引绕线路侧观察图1所示传感器构造部而得到的俯视图。图4是示出本专利技术的第一实施方式的应变传感器的层压工序的剖本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多点测量用应变传感器，其特征在于，具备：基材膜；多个应变感测部，所述多个应变感测部形成于所述基材膜的第一主面上；引绕线路，所述引绕线路在所述基材膜的第二主面上与各所述应变感测部对应形成并在所述基材膜的外缘附近具有外部连接端子部；以及导电糊，所述导电糊填充于导通孔来连接各所述应变感测部和与各所述应变感测部对应的所述引绕线路。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.12.01 JP 2015-2344311.一种多点测量用应变传感器，其特征在于，具备：基材膜；多个应变感测部，所述多个应变感测部形成于所述基材膜的第一主面上；引绕线路，所述引绕线路在所述基材膜的第二主面上与各所述应变感测部对应形成并在所述基材膜的外缘附近具有外部连接端子部；以及导电糊，所述导电糊填充于导通孔来连接各所述应变感测部和与各所述应变感测部对应的所述引绕线路。2.根据权利要求1所述的多点测量用应变传感器，进一步具备：绝缘性的第一覆盖层，所述第一覆盖层在所述基材膜的第一主面上以覆盖所述应变感测部的方式形成；绝缘性的第二覆盖层，所述第二覆盖层在所述基材膜的第二主面上以除所述外部连接端子部外覆盖所述引绕线路的方式形成；以及导电性的端子保护层，所述端子保护层以覆盖所述引绕线路的所述外部连接端子部的方式形成。3.根据权利要求1或2所述的多点测量用应变传感器，进一步具备：安装在所述引绕线路的所述外部连接端子部的引线。4.根据权利要求1至3中任一项所述的多点测量用应变传感器，其中，在所述基材膜的第一主面侧进一步具备用于固定传感器的粘合层，所述粘合层避开所述导通...

【专利技术属性】
技术研发人员：中村一登，坂田喜博，川岛永嗣，竹村六佑，冈本好司，永井宏之，
申请(专利权)人：NISSHA株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP