The present invention provides a wide spectrum light power beam splitter and power distribution method, including: the first waveguide and the second waveguide, the first waveguide and the second waveguide have interaction zones, the interacting region is a graphene waveguide action area, for adjusting the voltage size of the graphene wave conduction region by adjusting the voltage of the graphene wave conduction region. The optical conductivity of the graphene layer adjusts the output power. The wide spectrum optical power splitter provided by the invention can change the optical power ratio of the output port, and realize reconfigurable on chip, small size and wide working range.
【技术实现步骤摘要】
一种宽谱光功率分束器及功率分配方法
本专利技术涉及光电子集成
，具体涉及一种宽谱光功率分束器及功率分配方法。
技术介绍
光功率分束器件是集成光子系统中的重要单元器件之一。目前片上系统的光功率分束主要由多模干涉耦合器(MultimodeInterference,MMI)实现，通过对多模干涉区域的结构设计，利用多模波导的自映像效应，可以在较小的器件尺寸下实现固定比例的光功率分束器件。传统的多模干涉耦合器通过对多模干涉区域的硅波导进行不同程度的刻蚀，改变自映像点光功率的比例从而实现功率分束功能。然而这类结构一经制作完成则光功率分束比例即固定，对于不同波长或不同分束比需要不同的设计。故传统基于多模干涉耦合器的无源光功率分束器很难满足复杂应用系统中对多种分束比或分束比实时变化的需求。方向耦合器(DirectionalCoupler)作为常见的光波导器件，由于其结构精简，工艺容差大，损耗低，均衡性好等优点被应用于诸多场景，如光功率分(合)束，光开关，波分复用，模式转换等。耦合模理论(coupled-modetheory)是方向耦合器的基本原理。二十世纪五十年代，耦合模理...
【技术保护点】
1.一种宽谱光功率分束器，其特征在于，至少包括：第一波导和第二波导，所述第一波导和所述第二波导存在互作用区，所述互作用区为石墨烯波导作用区域，用于通过调节所述石墨烯波导作用区域的电压大小，以改变所述石墨烯层的光学电导率，对输出的功率进行调节。
【技术特征摘要】
1.一种宽谱光功率分束器，其特征在于，至少包括：第一波导和第二波导，所述第一波导和所述第二波导存在互作用区，所述互作用区为石墨烯波导作用区域，用于通过调节所述石墨烯波导作用区域的电压大小，以改变所述石墨烯层的光学电导率，对输出的功率进行调节。2.根据权利要求1所述的分束器，其特征在于，所述石墨烯波导作用区域包括二氧化硅埋氧层、有源波导层、氧化铝层、石墨烯层和电极层，并从下到上依次排列；其中：所述石墨烯层位于所述氧化铝层上面，作为电容结构的上极板，用于通过对所述石墨烯层加载电压，以改变所述石墨烯层的光学电导率。3.根据权利要求2所述的分束器，其特征在于，所述有源波导层位于所述二氧化硅埋氧层和所述氧化铝层之间，至少包括轻掺杂的脊波导和重掺杂的脊波导。4.根据权利要求3所述的分束器，其特征在于，所述轻掺杂的脊波导用于和所述电容结构的下极板，重掺杂的脊波导用于与接地电极形成欧姆接...
【专利技术属性】
技术研发人员：舒浩文，王兴军，陶源盛，金明，
申请(专利权)人：北京大学，
类型：发明
国别省市：北京,11
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