The utility model discloses a structure of a six division rotating disc. The main structure includes a rotating disc, a setting groove formed at the outer edge of a rotating disc, a pressing piece in the setting groove, a pressing ditch formed at least side of the pressing plate, a supporting part in the rotary disc, and a rotary disc and pressure. The locking element of the plate, the connecting module pivot at the center of the rotating disc, the rotating shaft on the side of the connecting module, the intercalated cone hole formed on the side of the connecting module, and the conical intersecting part of the intercalated cone hole, which is formed at the end of the rotating shaft. Because of the above structure, the rotary disc is not easy to be deformed because of the fixed action of the supporting part through the locking element, so the rotating disc is not easy to be deformed, and the service life is extended and the maintenance is convenient.
【技术实现步骤摘要】
六分位旋转盘的结构
本技术涉及一种六分位旋转盘的结构。
技术介绍
中国台湾专利第M296470号「晶圆片之支撑转盘模组」揭露一种习用支撑转盘模组,请参阅图1所示,为习用支撑转盘模组的实施示意图,乃包括一圆形盘体91、至少一压板93、至少二叉体94、及圆形盘体91表面之至少二槽沟92,该二槽沟92彼此间隔设置于圆形盘体91外缘,并于其两侧分别形成一第一嵌合部921,又叉体94端处设有一第二嵌合部941,可在插入槽沟92时,第一嵌合部921恰可与第二嵌合部941相嵌合,并将二叉体94一端稳固的夹持住,而另一端伸出该圆形盘体91外,以支撑至少一晶圆片,且压板93足以压紧在二槽沟92上,并借压板93中央处穿设的多个螺丝与圆形盘体91锁固,使压板93可稳固的将二叉体94一端压抵在该圆形盘体91上,而保持在同一平面。但于实际使用上却发现圆形盘体91不但材料脆弱、厚度不足,加上下凹形成的槽沟92,导致圆形盘体91本身结构强度不足,且因螺丝与圆形盘体91锁固产生拉力,导致圆形盘体91在使用中容易因高温而产生变形,导致圆形盘体91使用寿命缩短,且维修时仅能将圆形盘体91整片替换,故维修成本相当高。此外,圆形盘体91上会设置一旋转座,供与一呈圆柱态样的旋转杆连接,使圆形盘体91得以随旋转杆转动,但于使用中旋转座常会因电浆或腐蚀性气体等影响与旋转杆黏死,导致拆解相当困难,极易于拆解过程中发生旋转座损伤,甚至旋转杆弯曲的状况。所以,要如何解决上述习用的问题与缺失,即为本技术的申请人与从事此行业的相关厂商所亟欲研究改善的方向所在。故,本技术的申请人有鉴于上述缺失,乃搜集相关资料,经 ...
【技术保护点】
1.一种六分位旋转盘的结构,其特征在于,包含:一旋转盘;多个间隔形成于该旋转盘外缘的设置槽;多个分别设于各设置槽中的压制片;至少一形成于所述压制片至少一侧处的压制沟,与各设置槽侧壁对应成型;多个分别设于各设置槽与该压制沟之间的支撑件,且各支撑件凸设于该旋转盘;多个分别穿设该旋转盘与各压制片的锁固元件,所述锁固元件对各压制片施压以固定各支撑件;一枢设于该旋转盘中心的连结模组;及一设于该连结模组一侧的旋转轴,所述旋转轴带动该旋转盘转动。
【技术特征摘要】
1.一种六分位旋转盘的结构,其特征在于,包含:一旋转盘;多个间隔形成于该旋转盘外缘的设置槽;多个分别设于各设置槽中的压制片;至少一形成于所述压制片至少一侧处的压制沟,与各设置槽侧壁对应成型;多个分别设于各设置槽与该压制沟之间的支撑件,且各支撑件凸设于该旋转盘;多个分别穿设该旋转盘与各压制片的锁固元件,所述锁固元件对各压制片施压以固定各支撑件;一枢设于该旋转盘中心的连结模组;及一设于该连结模组一侧的旋转轴,所述旋转轴带动该旋转盘转动。2.如权利要求1所述的六分位旋转盘的结构,其特征在于:各压制片上形成有至少一与各锁固元件配合锁固的锁固孔,该锁固孔邻近各压制沟处。3.如权利要求1所述的六分位旋转盘的结构,其特征在于:各设置槽底部供设置各支撑件处形成有至少一插置孔,且该插置孔内设有一限位元件,而该限位元件上具有一凸出形成于各设置槽底部的限位部。4.如权利要求3所述的六分位旋转盘的结构,其特征在于:各支撑件上形成有至少一与该限位部对应结合的限位槽。5.如权利要求1所述的六分位旋转盘的结构,其特征在于:该连结模组包含有一插合件,且于该插合件一侧形成有一为外宽内窄的锥形孔态样的插合锥孔,并于该旋转轴端处形成有一为前窄后宽的锥形态样的锥形插合部,该锥形插合部可拆卸...
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