六分位旋转盘的结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种六分位旋转盘的结构，主要结构包括旋转盘、形成于旋转盘外缘的设置槽、设于设置槽中的压制片、形成于压制片至少一侧的压制沟、设于设置槽与压制沟之间且凸设于旋转盘的支撑件、穿设旋转盘与压制片的锁固元件、枢设于旋转盘中心的连结模组、设于连结模组一侧的旋转轴、形成于连结模组一侧的插合锥孔、及形成于旋转轴端处而可拆卸的与该插合锥孔无缝密合的锥形插合部。借上述结构，因支撑件的固定动作通过锁固元件穿设旋转盘而向上施力于压制片，故旋转盘不易变形，配合锥形的密合结构延长使用寿命、方便拆装维修。

The structure of a six split rotating disk

The utility model discloses a structure of a six division rotating disc. The main structure includes a rotating disc, a setting groove formed at the outer edge of a rotating disc, a pressing piece in the setting groove, a pressing ditch formed at least side of the pressing plate, a supporting part in the rotary disc, and a rotary disc and pressure. The locking element of the plate, the connecting module pivot at the center of the rotating disc, the rotating shaft on the side of the connecting module, the intercalated cone hole formed on the side of the connecting module, and the conical intersecting part of the intercalated cone hole, which is formed at the end of the rotating shaft. Because of the above structure, the rotary disc is not easy to be deformed because of the fixed action of the supporting part through the locking element, so the rotating disc is not easy to be deformed, and the service life is extended and the maintenance is convenient.

【技术实现步骤摘要】
六分位旋转盘的结构
本技术涉及一种六分位旋转盘的结构。
技术介绍
中国台湾专利第M296470号「晶圆片之支撑转盘模组」揭露一种习用支撑转盘模组，请参阅图1所示，为习用支撑转盘模组的实施示意图，乃包括一圆形盘体91、至少一压板93、至少二叉体94、及圆形盘体91表面之至少二槽沟92，该二槽沟92彼此间隔设置于圆形盘体91外缘，并于其两侧分别形成一第一嵌合部921，又叉体94端处设有一第二嵌合部941，可在插入槽沟92时，第一嵌合部921恰可与第二嵌合部941相嵌合，并将二叉体94一端稳固的夹持住，而另一端伸出该圆形盘体91外，以支撑至少一晶圆片，且压板93足以压紧在二槽沟92上，并借压板93中央处穿设的多个螺丝与圆形盘体91锁固，使压板93可稳固的将二叉体94一端压抵在该圆形盘体91上，而保持在同一平面。但于实际使用上却发现圆形盘体91不但材料脆弱、厚度不足，加上下凹形成的槽沟92，导致圆形盘体91本身结构强度不足，且因螺丝与圆形盘体91锁固产生拉力，导致圆形盘体91在使用中容易因高温而产生变形，导致圆形盘体91使用寿命缩短，且维修时仅能将圆形盘体91整片替换，故维修成本相当高。此外，圆形盘体91上会设置一旋转座，供与一呈圆柱态样的旋转杆连接，使圆形盘体91得以随旋转杆转动，但于使用中旋转座常会因电浆或腐蚀性气体等影响与旋转杆黏死，导致拆解相当困难，极易于拆解过程中发生旋转座损伤，甚至旋转杆弯曲的状况。所以，要如何解决上述习用的问题与缺失，即为本技术的申请人与从事此行业的相关厂商所亟欲研究改善的方向所在。故，本技术的申请人有鉴于上述缺失，乃搜集相关资料，经由多方评估及考虑，并以从事于此行业累积的多年经验，经由不断试作及修改，终设计出本技术。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种可减少旋转盘变形风险、排除支撑件及旋转轴变形的可能而延长使用寿命，并具有容易拆装、维修成本低的六分位旋转盘的结构。基于此，本技术主要采用下列技术手段，来实现上述目的。一种六分位旋转盘的结构，包含：一旋转盘；多个间隔形成于该旋转盘外缘的设置槽；多个分别设于各设置槽中的压制片；至少一形成于所述压制片至少一侧处的压制沟，与各设置槽侧壁对应成型；多个分别设于各设置槽与该压制沟之间的支撑件，且各支撑件凸设于该旋转盘；多个分别穿设该旋转盘与各压制片的锁固元件，所述锁固元件对各压制片施压以固定各支撑件；一枢设于该旋转盘中心的连结模组；及一设于该连结模组一侧的旋转轴，所述旋转轴带动该旋转盘转动。进一步，各压制片上形成有至少一与各锁固元件配合锁固的锁固孔，该锁固孔邻近各压制沟处。进一步，各设置槽底部供设置各支撑件处形成有至少一插置孔，且该插置孔内设有一限位元件，而该限位元件上具有一凸出形成于各设置槽底部的限位部。进一步，各支撑件上形成有至少一与该限位部对应结合的限位槽，以避免各支撑件脱出各压制沟。进一步，该连结模组包含有一插合件，且于该插合件一侧形成有一为外宽内窄的锥形孔态样的插合锥孔，并于该旋转轴端处形成有一为前窄后宽的锥形态样的锥形插合部，该锥形插合部可拆卸的与该插合锥孔无缝密合。进一步，该插合锥孔上形成有至少一引导槽，且该锥形插合部上具有至少一与该引导槽对应结合的引导肋。进一步，该插合件中心穿设有一锁合元件，锁固于该锥形插合部中心。进一步，该连结模组包含有一设于该插合件及该旋转盘间的绝缘件、一设于该绝缘件内的压合件、及一套设该绝缘件且由侧处延伸而局部包设该绝缘件的套环件，而该压合件一侧延伸插入该绝缘件以提升厚度及加强结构强度，且该压合件中心处形成有一供该锁合元件穿设的工作孔，并该压合件上具有多个穿设该绝缘件的连接元件，各连接元件与该插合件锁合以固定该绝缘件，且该套环件设置于该旋转盘上以供该旋转轴带动该旋转盘旋动。进一步，该绝缘件一侧形成有至少一定位槽，且该插合件一侧处具有一与该定位槽对应结合的定位肋。进一步，所述六分位旋转盘的结构还包含一拆卸元件，供辅助分离该插合件及该旋转轴，且该拆卸元件包含一螺设于该插合件上的螺旋部、及一由该螺旋部一侧延伸形成的空转部，该空转部穿设该插合件后插设于该旋转轴上。本技术的旋转盘于制造时可借由设置槽与压制片的结构配合，让设置槽槽底的厚度可以加厚制作，以提升旋转盘结构强度及减少发生变形的状况，且经由压制片、设置槽及锁固元件间的配合，可简化整体组装动作，让支撑件装设时贴合设置槽的侧壁，再将压制片装设于设置槽中，让压制沟自然与支撑件相配合，并由锁固元件加以锁固压制片，让本技术安装更为轻松便利，同时因压制沟位于压制片侧边处的结构设计令压制片得缩小体积，且因锁固元件先穿设旋转盘才与压制片锁固，所以锁固产生的拉力会施加于压制片上，并借由此拉力来固定支撑件，也因压制片可代替旋转盘或支撑件直接受力，而可有效避免旋转盘与支撑件受力变形。综前所述，实际使用时，为了保护旋转盘而让压制片来承受锁固产生的拉力，故几乎可排出旋转盘、支撑件变形的可能性，且借由压制片与旋转盘相配合的结构设计，让维修时仅需单独替换发生变形的压制片即可，而大幅降低维修成本及时间。借由上述技术，可针对习用支撑转盘模组所存在的易变形、使用寿命不足、维修成本高、及使用后容易黏死难以拆解等问题点加以突破，达到的上述优点。附图说明图1为习用支撑转盘模组的实施示意图。图2为本技术较佳实施例的立体图。图3为本技术较佳实施例的分解图。图4为本技术较佳实施例的另一角度分解图。图5为本技术较佳实施例的平面分解示意图。图6为本技术较佳实施例的压制示意图。图7为本技术较佳实施例的限位示意图。图8为本技术较佳实施例的压合元件平面示意图。图9为本技术图8的A-A线剖视图。图10为本技术较佳实施例的旋转盘平面示意图。图11为本技术图10的B-B线剖视图。图12为本技术再一较佳实施例的辅助拆卸示意图。【符号说明】［本技术符号］旋转盘1设置槽11插置孔111压制片2压制沟21锁固孔22支撑件3限位槽31限位元件4限位部41连结模组5插合件51、51a插合锥孔511引导槽512定位肋513绝缘件52定位槽521压合件53工作孔531套环件54旋转轴6、6a锥形插合部61引导肋62锁固元件71锁合元件72连接元件73拆卸元件8a螺旋部81a空转部82a［习用符号］圆形盘体91槽沟92第一嵌合部921压板93叉体94第二嵌合部941。具体实施方式为达成上述目的及功效，本技术所采用的技术手段及构造，兹绘图就本技术较佳实施例详加说明其特征与功能如下，以利完全了解。请参阅图2至图5所示，为本技术较佳实施例的立体图、分解图、另一角度分解图、平面分解示意图，由图中可清楚看出本技术包括：一旋转盘1；多个间隔形成于该旋转盘1外缘的设置槽11；多个分别设于各设置槽11中的压制片2；至少一形成于所述压制片2至少一侧处的压制沟21，与各设置槽11侧壁对应成型；至少一形成于各压制片2上且与下述锁固元件71配合锁固的锁固孔22，该锁固孔22邻近各压制沟21处；多个分别设于各设置槽11与该压制沟21之间的支撑件3，且各支撑件3凸设于该旋转盘1；至少一形成于各设置槽11底部供设置各支撑件3的插置孔111，且该插置孔11本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种六分位旋转盘的结构，其特征在于，包含：一旋转盘；多个间隔形成于该旋转盘外缘的设置槽；多个分别设于各设置槽中的压制片；至少一形成于所述压制片至少一侧处的压制沟，与各设置槽侧壁对应成型；多个分别设于各设置槽与该压制沟之间的支撑件，且各支撑件凸设于该旋转盘；多个分别穿设该旋转盘与各压制片的锁固元件，所述锁固元件对各压制片施压以固定各支撑件；一枢设于该旋转盘中心的连结模组；及一设于该连结模组一侧的旋转轴，所述旋转轴带动该旋转盘转动。

【技术特征摘要】
1.一种六分位旋转盘的结构，其特征在于，包含：一旋转盘；多个间隔形成于该旋转盘外缘的设置槽；多个分别设于各设置槽中的压制片；至少一形成于所述压制片至少一侧处的压制沟，与各设置槽侧壁对应成型；多个分别设于各设置槽与该压制沟之间的支撑件，且各支撑件凸设于该旋转盘；多个分别穿设该旋转盘与各压制片的锁固元件，所述锁固元件对各压制片施压以固定各支撑件；一枢设于该旋转盘中心的连结模组；及一设于该连结模组一侧的旋转轴，所述旋转轴带动该旋转盘转动。2.如权利要求1所述的六分位旋转盘的结构，其特征在于：各压制片上形成有至少一与各锁固元件配合锁固的锁固孔，该锁固孔邻近各压制沟处。3.如权利要求1所述的六分位旋转盘的结构，其特征在于：各设置槽底部供设置各支撑件处形成有至少一插置孔，且该插置孔内设有一限位元件，而该限位元件上具有一凸出形成于各设置槽底部的限位部。4.如权利要求3所述的六分位旋转盘的结构，其特征在于：各支撑件上形成有至少一与该限位部对应结合的限位槽。5.如权利要求1所述的六分位旋转盘的结构，其特征在于：该连结模组包含有一插合件，且于该插合件一侧形成有一为外宽内窄的锥形孔态样的插合锥孔，并于该旋转轴端处形成有一为前窄后宽的锥形态样的锥形插合部，该锥形插合部可拆卸...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄用九，
申请(专利权)人：黄用九，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71