一种新型高效蒸发舟用半导电陶瓷制造技术

本发明专利技术属于蒸发舟加工技术领域，具体涉及一种新型高效蒸发舟用半导电陶瓷。该半导体陶瓷包括如下成分：氮化硼、硼化钛、氮化铝、氮化硅、氧化铝、氧化镁、碳酸钙、银粉、稀土元素添加剂、羟甲基纤维素钠和发泡剂。其中氮化硅经过改性处理，改性使用四氯化锡和三氯化锑的盐酸溶液进行处理；该半导电陶瓷的烧结在烧结炉中进行，烧结温度在2100‑2300℃，烧结炉中充入气压为14‑18MPa的惰性气体进行保护。陶瓷制造的蒸发舟表面结构致密，内部含有气隙，使用时发热均匀，高温性能优良，不易断裂，机械强度高，使用寿命长。

A new type of high efficiency evaporative boat semi conductive ceramics

The invention belongs to the evaporation boat processing technology field, in particular to a new high efficiency semi conductive ceramic for evaporation boat. The semiconductor ceramics include the following components: boron nitride, titanium boride, aluminum nitride, silicon nitride, alumina, Magnesium Oxide, calcium carbonate, silver powder, rare earth element additive, hydroxymethyl cellulose sodium and foaming agent. The silicon nitride was modified and modified with four stannic chloride and three antimony chloride solution. The sintering of the semi conductive ceramic was carried out in the sintering furnace, the sintering temperature was 2100 and 2300 degrees C, and the sintering furnace was filled with an inert gas of 14 18MPa. The surface structure of the evaporative boat made by ceramic is compact, it contains air gap, the heating is uniform in use, the high temperature performance is good, it is not easy to break, the mechanical strength is high, and the service life is long.

【技术实现步骤摘要】
一种新型高效蒸发舟用半导电陶瓷
本专利技术属于蒸发舟加工
，具体涉及一种新型高效蒸发舟用半导电陶瓷。
技术介绍
蒸发舟是真空镀膜工艺中使用发热部件，通过蒸发舟发热产生的热量将金属、金属化合物蒸发，再通过沉积技术附着到基材表面形成镀膜，由于需要产生大量的热量，承受超高的温度，因此，蒸发舟是真空镀膜工艺的一个关键易耗部件。常规的蒸发舟采用的半导电陶瓷存在材料表面不够致密，内部的均匀性较差的缺点，这使得在使用过程中，蒸发舟与在承受快速升高的极高温度时，容易发生炸裂，材料导电性波动较大，产热不够稳定，影响金属溶液的一致性和镀层质量。此外，因为结构的原因，高温性能表现不够稳定，与被镀金属液的润湿性表现也较差。
技术实现思路
针对以上问题，本专利技术的目的在于提供一种新型高效蒸发舟用半导电陶瓷，该陶瓷制造的蒸发舟表面结构致密，内部含有气隙，使用时发热均匀，高温性能优良，不易断裂，机械强度高，使用寿命长。一种新型高效蒸发舟用半导电陶瓷，按照质量份数，包括如下成分：氮化硼80-90份，硼化钛85-100份，氮化铝20-35份，氮化硅15-18份，氧化铝6-9份，氧化镁5-8份，碳酸钙7-13份，银本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型高效蒸发舟用半导电陶瓷，其特征在于：按照质量份数，所述半导体陶瓷包括如下成分：氮化硼80‑90份，硼化钛85‑100份，氮化铝20‑35份，氮化硅15‑18份，氧化铝6‑9份，氧化镁5‑8份，碳酸钙7‑13份，银粉0.5‑2份，稀土元素添加剂3‑6份，羟甲基纤维素钠8‑10份，发泡剂4‑6份。

【技术特征摘要】
1.一种新型高效蒸发舟用半导电陶瓷，其特征在于：按照质量份数，所述半导体陶瓷包括如下成分：氮化硼80-90份，硼化钛85-100份，氮化铝20-35份，氮化硅15-18份，氧化铝6-9份，氧化镁5-8份，碳酸钙7-13份，银粉0.5-2份，稀土元素添加剂3-6份，羟甲基纤维素钠8-10份，发泡剂4-6份。2.根据权利要求1所述一种新型高效蒸发舟用半导电陶瓷，其特征在于：所述半导体陶瓷包括如下成分：氮化硼84-86份，硼化钛90-93份，氮化铝28-30份，氮化硅16-17份，氧化铝7-8份，氧化镁6-7份，碳酸钙10-11份，银粉1-1.2份，稀土元素添加剂4-5份，羟甲基纤维素钠8-9份，发泡剂5-6份。3.根据权利要求1所述一种新型高效蒸发舟用半导电陶瓷，其特征在于：所述氮化硼、硼化钛、氮化铝、氮化硅、氧化铝、氧化镁和碳酸钙各物料的目数均为400-500目。4.根据权利要求1所述一种新型高效蒸发舟用半导电陶瓷，其特征在于：所述稀土元素添加剂中含有La、Ce、Y、Lu和Sc元素中的两种或两种以上。5.根据权利要求1所述一种新型高效蒸发舟用半导电陶瓷，其特征在于：所述氮化硅经过改性处理，改性处理包括如下步骤：配置四氯化锡和三氯化锑的盐酸溶液，使用...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨自芬，
申请(专利权)人：合肥市大卓电力有限责任公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34