The utility model provides a new type of X ray absorption spectrum measuring device, which is realized by an integrated fluorescence detector and a sample placement device. In practice, it is combined with a X ray source, a current amplifying device and a processor. The first detection module of the fluorescence detection device is a photodiode (PIN diode). A filter membrane capable of filtering electrons is disposed between the tested sample and the fluorescence detection device. The integrated sample placement device in the measuring device adopts grazing incidence geometry and the angle between the X ray and the angle of 1 rays is 4 degrees. Through the combination of large area detector, filter film and grazing incidence geometry, the effective detection of X ray absorption spectrum can be realized. Compared with the traditional detector, the detection sensitivity and detection efficiency have been greatly improved.
【技术实现步骤摘要】
一种X射线吸收谱测量装置
本技术涉及一种吸收谱测量装置,尤其涉及一种X射线吸收谱测量装置。
技术介绍
自上世纪七十年代以来,薄膜技术得到突飞猛进的发展,无论在学术上还是在实际应用中都取得了丰硕的成果,并已成为当代真空科学技术和材料科学中最活跃的研究领域,在高新技术产业中具有举足轻重的作用,同时现代超大规模集成电路要求研究亚微米和纳米级薄膜制备技术,以及利用亚微米、纳米结构的薄膜制造各种功能器件,这类薄膜包括单晶薄膜、超微粒子薄膜、小晶粒的多晶薄膜、非晶薄膜和有机分子膜等。因此可知薄膜技术深刻的影响着电子学的发展,影响着生产和生活的诸多领域。薄膜技术和表面科学相结合推动了薄膜产品全方位的开发和应用,但是,目前薄膜样品的检测方法比较零散,常用的电子显微技术和低能电子衍射技术都存在一定的缺点,如电子显微技术只能研究薄膜的形貌,低能电子衍射技术因只能穿入几个原子层的深度,只能研究样品表面级薄层的晶体结构信息,无法有效研究非晶体样品。X射线吸收精细结构(XAFS)技术是随着X射线源发展起来的独特技术,是研究材料局域原子结构和电子结构的一种重要方法。相比于X射线衍射、红外吸收等方法,XAFS具有很多无法替代的优势,XAFS用于测量吸收原子的局域结构,可以提供原子键长、配位数、无序度、原子种类等信息,样品可以是固体、液体甚至是气体。在检测方法上,对元素浓度较高的样品,XAFS通常采用透射方法;对稀释样品,往往采用反射方法,测量发出的二次电子或X射线荧光。在微纳设计、加工以及元器件生产中,经常要接触到各类被测样品,包括单层或多层膜。由于被测样品通常很薄,在荧光测量谱里包括 ...
【技术保护点】
1.一种X射线吸收谱测量装置,其特征在于:包括用于放置被测样品(20)的样品安放装置(8),向被测样品(20)发射所述X射线的X射线源(30),所述被测样品(20)接收X射线并发出荧光信号;还包括用于探测所述荧光信号的荧光探测装置(6)以及与荧光探测装置(6)的输出电连接的处理器(10),所述的样品安放装置(8)上的被测样品(20)的安装面与X射线的夹角范围为1°‑4°。
【技术特征摘要】
1.一种X射线吸收谱测量装置,其特征在于:包括用于放置被测样品(20)的样品安放装置(8),向被测样品(20)发射所述X射线的X射线源(30),所述被测样品(20)接收X射线并发出荧光信号;还包括用于探测所述荧光信号的荧光探测装置(6)以及与荧光探测装置(6)的输出电连接的处理器(10),所述的样品安放装置(8)上的被测样品(20)的安装面与X射线的夹角范围为1°-4°。2.根据权利要求1所述的X射线吸收谱测量装置,其特征在于:还包括用于调节荧光探测装置(6)与被测样品(20)的距离的位置调节装置(50),荧光探测装置(6)与位置调节装置(50)连接。3.根据权利要求1所述的X射线吸收谱测量装置,其特征在于,所述荧光探测装置(6)包括至少两个用于探测所述荧光信号的第一探测模块(61);各个第一探测模块(61)分别连接有相互独立工作的控制开关(62),各个第一探测模块(61)并联后与处理器(10)电连接。4.根据权利要求3所述的X射线吸收谱测量装置,其特征在于,所述第一探测模块的数量为...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘涛,唐跃强,黄翀,
申请(专利权)人:长沙新材料产业研究院有限公司,
类型:新型
国别省市:湖南,43
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。