一种检测平板清洁度及平整度的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及检测技术领域，具体涉及一种检测平板清洁度及平整度的装置，包括图像采集装置、中继镜头、分光棱镜、物镜、物镜外套、电源装置、暗场照明装置以及光源控制装置，其特征在于，所述图像采集装置包括相机与成像系统，所述中继镜头与分光棱镜的A端通过套接管连接在一起，所述分光棱镜的B端与物镜通过物镜外套连接在一起，所述暗场照明装置与物镜外套连接在一起，所述暗场照明装置的外环上设置有安装孔，每个安装孔内都设置有LED灯，所述光源控制装置包括同轴光源、控制按钮以及照明镜组。解决了现有技术中存在着无法准确检测并且判断平板，尤其是PI膜工艺上存在的杂质或者凹凸点的技术缺陷。本实用新型专利技术可以检测平板清洁度及平整度的装置具有准确区分出平板上缺陷类型的性能，适合大量投产与生产生活中。

A device for measuring flatness and flatness of a flat plate

The utility model relates to the field of detection technology, in particular to a device for detecting flatness and flatness of a flat plate, including an image acquisition device, a relay lens, a light splitting prism, an objective lens, an object lens coat, a power supply device, a dark field lighting device, and a light source control device. The image acquisition device includes the image acquisition device including the phase. In machine and imaging system, the relay lens is connected to the A end of the optical prism through a sleeve nozzle. The B end of the optical prism is connected with an objective lens through an object lens coat. The dark field lighting device is connected with the object lens coat, and the outer ring of the dark field lighting device is provided with an installation hole in each installation hole. A LED lamp is arranged, and the light source control device comprises a coaxial light source, a control button and a lighting mirror group. The technical defects in the existing technology that can not accurately detect and judge the existence of impurities or bumps in the PI film process are solved. The device which can detect the flatness and flatness of the flat plate has the performance of accurately dividing the type of defect on the flat plate, and is suitable for a large number of production and production life.

【技术实现步骤摘要】
一种检测平板清洁度及平整度的装置
本技术涉及检测
，具体涉及一种检测平板清洁度及平整度的装置。
技术介绍
暗场照明技术在原理上应用了光学上的丁达尔效应，当照明光束进入溶胶时，在照明光的传播过程中，光线与颗粒作用沿着不同方向按一定统计规律被散射可以偏离原来的方向，每个微粒就成为一个发光点，从侧面可以看到一条光柱。通用的暗场照明显微成像技术一般采用斜射照明并利用环形光阑挡住中心的直射照明光，因此照明使用的聚光镜的数值孔径必须要大于成像物镜的数值孔径才能使照明光不能通过聚光器直接进入物镜，而只能从聚光器的光阑四周边及未遮暗的部位斜射到样品池中的样本上。因照明光线是斜射且角度大于物镜的采集角度的，不能进入物镜，故由显微镜观察到的视野背景是暗的，只能看到因光散射作用而使样品发出亮光，从而实现样品的暗场观测。由于滤除了直射光，采集的只是样品池中颗粒的散射光，因此暗背景情况下可以有效的提高信噪比。单颗粒的光散射在溶液中，横向照明光束截面的尺度比颗粒要大得多，所以入射波可以近似为平面波，又由于微粒间距离很大，因此可以看成是单颗粒对平面波的散射。CN203882007U公开了一种金相显微镜用暗场本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检测平板清洁度及平整度的装置，包括图像采集装置、中继镜头(3)、分光棱镜(5)、物镜(7)、物镜外套(12)、电源装置、暗场照明装置(8)以及光源控制装置，其特征在于，所述图像采集装置包括相机(1)与成像系统(2)，所述中继镜头(3)与分光棱镜(5)的A端(4)通过套接管连接在一起，所述分光棱镜的B端(6)与物镜(7)通过物镜外套(12)连接在一起，所述暗场照明装置(8)与物镜外套(12)连接在一起，所述暗场照明装置(8)的外环(11)上设置有安装孔，每个安装孔内都设置有LED灯，所述光源控制装置包括同轴光源(9)、控制按钮以及照明镜组(10)。

【技术特征摘要】
1.一种检测平板清洁度及平整度的装置，包括图像采集装置、中继镜头(3)、分光棱镜(5)、物镜(7)、物镜外套(12)、电源装置、暗场照明装置(8)以及光源控制装置，其特征在于，所述图像采集装置包括相机(1)与成像系统(2)，所述中继镜头(3)与分光棱镜(5)的A端(4)通过套接管连接在一起，所述分光棱镜的B端(6)与物镜(7)通过物镜外套(12)连接在一起，所述暗场照明装置(8)与物镜外套(12)连接在一起，所述暗场照明装置(8)的外环(11)上设置有安装孔，每个安装孔内都设置有LED灯，所述光源控制装置包括同轴光源(9)、控制按钮以及照明镜组(10)。2.根据权利要求1所述的检测平板清洁度及平整度的装置，其特征在于，所述安装孔为8-12个。3.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：张冲，赵润川，李波，曾耀，
申请(专利权)人：武汉中导光电设备有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北,42