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本实用新型涉及检测技术领域，具体涉及一种检测平板清洁度及平整度的装置，包括图像采集装置、中继镜头、分光棱镜、物镜、物镜外套、电源装置、暗场照明装置以及光源控制装置，其特征在于，所述图像采集装置包括相机与成像系统，所述中继镜头与分光棱镜的A端...
该专利属于武汉中导光电设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉中导光电设备有限公司授权不得商用。

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