发光元件制造技术

本公开涉及一种掩模。该掩模经设计用于图案化一表面上的有机发光材料。该掩模包含一基板，该基板具有一第一表面与一第二表面，该第一表面与该第二表面相对。该掩模另包含多个孔洞延伸穿过该基板，具有不大于150um的一间隔，并且每一孔洞于该第一表面具有一第一出口以及于该第二表面具有一第二出口。其中该多个孔洞至少其中之一具有一最小尺寸，该最小尺寸不大于约15um。

Luminescent element

The present disclosure relates to a mask. The mask is designed for patterning organic light-emitting materials on a surface. The mask comprises a substrate, which has a first surface and a second surface, and the first surface is opposite to the second surface. The mask also includes a plurality of holes extending through the substrate, having an interval of not greater than 150um, and each hole has a first outlet on the first surface and a second outlet on the second surface. At least one of the holes has a minimum size, and the minimum size is not greater than about 15um.

【技术实现步骤摘要】
发光元件
本公开涉及一种发光元件，具体涉及一种有机发光元件及其制造方法。
技术介绍
近年来，平板显示器越来越受欢迎，并且从口袋尺寸电子装置(例如行动电话)至壁挂式大萤屏电视皆广泛采用平板显示器。如同集成电路(IntegratedCircuit，IC)对于晶体管密度需求增加，显示器的分辨率需求也已经提高。显示器的分辨率高度取决于位于显示器中的发光单元的密度，这已经缩小了制造商的工艺窗口(processwindow)。再者，近来趋势转移至可挠式显示器，也造成越来越多制造商对于发光单元选择由固态发光单元转变为有机型式发光材料。鉴于上述情况，显示器制造商不但正在面临更多的障碍，同时努力赶上市场的变化。
技术实现思路
本公开的一些实施例提供一种掩模，该掩模经设计用于图案化一表面上的有机发光材料。该掩模包含一基板，该基板具有一第一表面与一第二表面，该第一表面与该第二表面相对。该掩模另包含多个孔洞延伸穿过该基板，具有不大于150um的一间隔，并且每一孔洞于该第一表面具有一第一出口以及于该第二表面具有一第二出口。其中该多个孔洞至少其中之一具有一最小尺寸，该最小尺寸不大于约15um。在一些实施例中，该基板至少包含Ni或Fe，以及在一些实施例中，该基板是一堆叠结构，具有至少一聚合物层与至少一金属层位于其上。在一些实施例中，该堆叠结构是一三明治结构，并且该聚合物层位于该金属层与另一金属层之间。在一些实施例中，第一出口的尺寸大于该第二出口的尺寸。在一些实施例中，该第一出口的该尺寸比该第二出口的该尺寸大约1.5至2倍。在一些实施例中，该基板内的该间隔的一偏差不大于10％。在一些实施例中，该基板的一Ni浓度为约5％与约50％之间。本公开的一些实施例提供一种用于图案化有机发光材料的掩模，该掩模包含一基板以及位于该可延伸基质上的一堆叠结构，该基板具有一可延伸基质。该掩模具有多个孔洞延伸穿过该可延伸基质，其中该多个孔洞的一部分的一间隔不大于约150um。在一些实施例中，该堆叠结构配置为一网格图案。在一些实施例中，该网格图案具有多个网格，并且每一单元网格环绕至少两个贯穿孔洞。在一些实施例中，该堆叠结构具有一热膨胀系数(coefficientofthermalexpansion，CTE)不大于该基质的CTE。在一些实施例中，该堆叠结构具有一Ni-Fe合金。在一些实施例中，该Ni-Fe合金的一Ni浓度是自约5％至约50％。本公开的一些实施例提供一种掩模的形成方法，包含提供一聚合物基板，以及配置一金属层于该聚合物基板上以形成一复合结构。该方法另包含在该复合结构中形成一阵列的贯穿孔洞，其中该阵列的贯穿孔洞具有一间隔，该间隔不大于约150um。在一些实施例中，该形成方法包含处理该聚合物基质的一表面，其中该表面经配置以接收该金属层。在一些实施例中，通过一激光源，进行在该复合结构中形成一阵列的贯穿孔洞。在一些实施例中，该金属层配置为一网格。在一些实施例中，该形成方法包含在形成该阵列的贯穿孔洞之前，扩张该聚合物基板。在一些实施例中，该形成方法包含形成一光致抗蚀剂于该聚合物基板上方。附图说明图1A与图1B例示本公开实施例的发光元件。图2A至2C例示本公开实施例的发光元件的制造。图3A至3I说明制造装置(apparatus)的方法。图4为金属层的结晶结构的SEM照片。图5A至5C例示本公开实施例的装置。图6说明制造装置的方法。图7A至7B例示本公开实施例的装置。图8至图10说明制造装置的方法。图11例示本公开实施例的装置。图12至13例示本公开实施例的装置。图14例示本公开实施例的装置的贯穿孔(throughhole)。图15说明激光光束来源。图16例示本公开实施例的发光元件的制造。附图标记说明：13：第一基板14：发光层14a：发光组件14b：发光组件15：第二基板55：掩模100：基板102：表面105：孔洞105a：孔洞105b：孔洞105e：出口105f：出口120：层120a：部分125：光致抗蚀剂层126：开口135：材料135a：柱状物/台面(mesa)140：有机发光材料220：光束300：光源302：透镜305：光发射器306：分光器400：基板400a：第一表面400b：第二表面405：台面701：层702：层703：层704：层d：距离D1：宽度D2：宽度h：高度k：宽度P：间隔P’：间隔S：尺寸t：间隔W：宽度w：最小尺寸w1：第一尺寸w2：第二尺寸具体实施方式本公开提供一种高密度(highdensity，HD)发光显示器的制造方法。在本公开中，“高密度”一词定义为发光像素密度为至少等于或大于800ppi。然而，该方法也可应用于具有像素密度低于800ppi的发光显示器。本公开也提供用以制造高密度发光显示器的装置。在一些实施例中，该装置为用于图案化操作的掩模。再者，本公开也提供该装置的制造方法。一种发光显示器可包含至少一发光面板，其夹置于阳极与阴极之间。在一些实施例中，当形成发光面板时，图1A与1B说明制造发光元件的一些例示性操作步骤。在图1A中，提供一第一基板13，并且一发光层14位于该基板13上。在一些实施例中，第一基板13可为堆叠结构，并且包含一些不同材料。在一些实施例中，第一基板13包含氧化物层。在一些实施例中，第一基板13包含氮化物层。在一些实施例中，第一基板13包含电极结构，该电极结构经配置以提供电流至发光层14。在一些实施例中，第一基板l3包含与发光层14相邻的一电子运输层(electrontransportationlayer，ETL)。在一些实施例中，第一基板13包含与发光层14相邻的一空穴运输层(holetransportationlayer，HTL)。发光层14可包含有机发光材料。发光层14可包含多个发光组件(lightemittingelement)，所述多个发光组件彼此相邻且位于基板13上。在一些实施例中，可使用填充材料填充相邻发光组件之间的间隙。在图1B中，第二基板15位于发光层14与基板13上方。在一些实施例中，第二基板15可为堆叠结构并且包含一些不同材料。在一些实施例中，第二基板15包含氧化物层。在一些实施例中，第二基板15包含氮化物层。在一些实施例中，第二基板15包含电极结构，经配置以提供电流至发光层14。在一些实施例中，第二基板15包含电子运输层(ETL)与发光层14相邻。在一些实施例中，第二基板15包含空穴运输层(HTL)与发光层14相邻。掩模55位于第一基板13上方。第一基板13的顶表面与掩模55之间可有间隙。有一些孔洞15延伸穿过掩模55的基板。掩模55的基板可包含一些不同层，所述多个不同层经由接合、粘着或任何合适的工艺所层积的。在图2B中，有机发光材料140穿过掩模55中的孔洞105。在一些实施例中，发光元件所需要的发光材料可有不只一种型式或一种颜色。可重复图2B所示的次步骤(sub-step)。另一掩模具有与掩模55不同的图案可用于不型式的发光材料。图案化有机发光层可以阵列形式配置，如图2C所示，其中一些发光组件位于基板13上。相邻的发光组件，例如14a与14b，可经配置以发出不同波长的光。在一些实施例中，14a可为发绿光凸块(bump)，以及14b可为发红光组件。相邻发光组件之本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于图案化有机发光材料的掩模，包括：一基板，具有一第一表面与一第二表面，该第一表面与该第二表面相对；以及多个孔洞，延伸穿过该基板，具有不大于150um的一间隔，以及每一个孔洞于该第一表面具有一第一出口以及于该第二表面具有一第二出口，其中该多个孔洞至少其中之一具有不大于约15um的一最小尺寸。

【技术特征摘要】
2016.12.27 US 62/439,301;2017.09.14 US 15/704,6071.一种用于图案化有机发光材料的掩模，包括：一基板，具有一第一表面与一第二表面，该第一表面与该第二表面相对；以及多个孔洞，延伸穿过该基板，具有不大于150um的一间隔，以及每一个孔洞于该第一表面具有一第一出口以及于该第二表面具有一第二出口，其中该多个孔洞至少其中之一具有不大于约15um的一最小尺寸。2.如权利要求1所述的掩模，其中该基板至少包含Ni或Fe。3.如权利要求1所述的掩模，其中该基板是一堆叠结构，具有至少一聚合物层与至少一金属层位于其上。4.如权利要求3所述的掩模，其中该堆叠结构是一三明治结构，并且该聚合物层位于该金属层与另一金属层之间。5.如权利要求1所述的掩模，其中该第一出口的尺寸大于该第二出口的尺寸。6.如权利要求5所述的掩模，其中该第一出口的该尺寸比该第二出口的该尺寸大约1.5至2倍。7.如权利要求1所述的掩模，其中该基板内的该间隔的一偏差不大于10％。8.如权利要求1所述的掩模，其中该基板的一Ni浓度为约5％与约50％之间。9.一种用于图案化有机发光材料的掩模，包括：一基板，包含一可延伸基质以及位于该...

【专利技术属性】
技术研发人员：施秉彝，陈裕宏，黄信哲，陈建宇，
申请(专利权)人：创王光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71