一种检测方法和装置制造方法及图纸

本发明专利技术实施例公开了一种检测方法和设备，所述检测设备包括：电容生成电路，包括相对设置的第一电容电极和第二电容电极，以及分别连接第一电容电极和第二电容电极的电源；第一电容电极靠近第二电容电极的一侧用于放置待测基板；其中，第一电容电极为电极板，第二电容电极包括n个绝缘设置的子电极，n为大于或等于1的整数；至少一个电容检测电路，连接电极板和子电极，用于在待测基板放置于电极板靠近第二电容电极的一侧后，检测电极板与子电极之间的电容值；控制器，用于根据电容值判断待测基板上与子电极对应的区域中是否存在异物。通过本发明专利技术实施例，利用电容感应原理快速、准确的检测异物，提高了检测效率，缩短了检测时间。

【技术实现步骤摘要】
一种检测方法和装置
本专利技术涉及显示领域，尤指一种检测方法和装置。
技术介绍
在显示领域，异物的有效监控对于显示产品的产品良率有较大影响。相关技术中异物监控包括自动光学检测(AOI，AutomaticOpticInspection)设备的测试方法有五点法和图片法，其中，五点法为同时测定检测区域内的五个点到AOI设备的距离，如果五个点到AOI设备的距离均相同，认为该检测区域内不存在异物；如果五个点到AOI设备的距离不相同，认为该检测区域内存在异物。图片法通过拍摄检测区域的图片来获得异物的形状，传统的AOI设备只能拍摄2D图片，不能确定异物的基本特性，而且由于测量原理的限制，存在测试死角，比如阵列基板栅极驱动(GOA，GateDriveronArray)区域是无法测量的。这两种方法均为单点测试，效率较低，测试时间较长。
技术实现思路
本专利技术实施例提供了一种检测方法和装置，能够在一定程度上提高检测效率，缩短检测时间。本专利技术实施例提供了一种检测设备，包括：电容生成电路，包括相对设置的第一电容电极和第二电容电极，以及分别连接第一电容电极和第二电容电极的电源；第一电容电极靠近第二电容电极的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检测设备，其特征在于，包括：电容生成电路，包括相对设置的第一电容电极和第二电容电极，以及分别连接所述第一电容电极和所述第二电容电极的电源；所述第一电容电极靠近所述第二电容电极的一侧用于放置待测基板；其中，所述第一电容电极为电极板，所述第二电容电极包括n个绝缘设置的子电极，n为大于或等于1的整数；至少一个电容检测电路，连接所述电极板和所述子电极，用于在所述待测基板放置于所述电极板靠近所述第二电容电极的一侧后，检测所述电极板与所处子电极之间的电容值；控制器，用于根据所述电容值判断所述待测基板上与所述子电极对应的区域中是否存在异物。

【技术特征摘要】
1.一种检测设备，其特征在于，包括：电容生成电路，包括相对设置的第一电容电极和第二电容电极，以及分别连接所述第一电容电极和所述第二电容电极的电源；所述第一电容电极靠近所述第二电容电极的一侧用于放置待测基板；其中，所述第一电容电极为电极板，所述第二电容电极包括n个绝缘设置的子电极，n为大于或等于1的整数；至少一个电容检测电路，连接所述电极板和所述子电极，用于在所述待测基板放置于所述电极板靠近所述第二电容电极的一侧后，检测所述电极板与所处子电极之间的电容值；控制器，用于根据所述电容值判断所述待测基板上与所述子电极对应的区域中是否存在异物。2.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述电容生成电路还包括：绝缘板，所述子电极镶嵌在所述绝缘板中。3.根据权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述电容生成电路还包括：电连接板，设置于所述绝缘板远离所述子电极的一侧；连接n个所述子电极的导线通过所述绝缘板中的过孔连接至所述电连接板，并通过所述电连接板与所述电源连接。4.根据权利要求2或3所述的检测设备，其特征在于，所述检测设备还包括：与所述绝缘板或所述连接板连接的升降装置；所述升降装置在所述控制器的控制下，带动所述第二电容电极沿垂直于所述第一电容电极的方向移动。5.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，n个所述子电极的大小和形状均相同。6.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，n个所述子电极按照阵列排布。7.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述电容检测电路的数量为n；所述电容检测电路和所述子电极一一对应连接。8.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述电容检测电路的数量为1；所述检测设备还包括：开关单元，设置于所述子电极和所述电容检测电路之间，用于控制所述子电...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐海燕，王栋，赵文龙，唐欢，金贤镇，张蕾，王钊，孙乐，
申请(专利权)人：鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：内蒙古,15