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本发明实施例公开了一种检测方法和设备，所述检测设备包括：电容生成电路，包括相对设置的第一电容电极和第二电容电极，以及分别连接第一电容电极和第二电容电极的电源；第一电容电极靠近第二电容电极的一侧用于放置待测基板；其中，第一电容电极为电极板，第...该专利属于鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司;京东方科技集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司;京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。