一种光学非接触式压力传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种光学非接触式压力传感器，包括由激光器、半反半透镜、第一反射镜、相位补偿板、滤光透镜、第二反射镜和可移动反射镜组成的迈克尔逊干涉系统，及水平支板、第一滑动支杆、第一平行导轨、第一弹簧、第二滑动支杆、第二平行导轨、第二弹簧、固定水平台、CCD相机、信号处理机。水平支板在向下压力作用下导致可移动反射镜向下移动，CCD相机采集到的迈克尔逊干涉系统的干涉条纹变化，通过对条纹信息进行帧间强度相关处理，得到干涉条纹的相位变化值，信号处理机实时解算干涉条纹的相位变化信息最终得到压力值。本发明专利技术系统设计独特，采用简单的结构可以达到非接触式检测压力的目的，且具有精度高、响应快及动态范围大等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种光学非接触式压力传感器
本专利技术涉及一种非接触式压力传感器，尤其涉及一种光学非接触式压力传感器，属于非接触式压力

技术介绍
由于抗电磁干扰、高精度、高灵敏度等优点，光纤传感器越来越广泛地应用于各种物理量的测量，如温度、应力、磁场、方位、振动等。而光学传感器主要应用于振动、流量及水平位移的测量，这里提出了一种光学非接触式压力传感器。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种光学非接触式压力传感器。为了实现上述目的本专利技术采用以下技术方案：一种光学非接触式压力传感器，它包括激光器、半反半透镜、第一反射镜、相位补偿板、滤光透镜、第二反射镜、可移动反射镜、水平支板、第一滑动支杆、第一平行导轨、第一弹簧、第二滑动支杆、第二平行导轨、第二弹簧、固定水平台、CCD相机及信号处理机。上述方案中的激光器、半反半透镜、第一反射镜、相位补偿板、滤光透镜及第二反射镜构成迈克尔逊干涉系统，经过第一反射镜的激光光路为参考光路，经过相位补偿板、滤光透镜、第二反射镜及可移动反射镜的激光光路为信号光路，所述滤光透镜对所述激光器产生激光透过率大于90％，所述激光器产生的激光波长为380nm至760nm之间的可见光波段。进一步的，上述方案中水平支板在向下的压力作用下，第一滑动支杆与第二滑动支杆分别压缩第一弹簧与第二弹簧向下运动，同时推动可移动反射镜向下移动，导致CCD相机采集到的迈克尔逊干涉系统的干涉条纹发生移动。进一步的，所述信号处理机对干涉条纹图像信息进行实时处理的核心算法为帧间强度相关算法，所述帧间强度相关算法先提取干涉图像的图像系数矩阵，再对相邻干涉图像的系数矩阵进行强度相关运算，通过最小二乘迭代得到每帧干涉图样的相位变化值。进一步的，所述的第一反光镜与可移动反射镜为镜面反射镜或漫反射镜。本专利技术的工作原理如下：当水平支板在向下的压力作用下，第一滑动支杆与第二滑动支杆分别压缩第一弹簧与第二弹簧向下运动，同时推动可移动反射镜向下移动，导致CCD相机采集到的迈克尔逊干涉系统的干涉条纹发生移动，经过信号处理机对条纹信息进行帧间强度相关处理，得到干涉条纹的相位变化值，因此可以通过信号处理机实时解算干涉条纹的相位变化信息而解算出水平支板向下移动的距离，从而进一步得到向下的压力大小。因为本专利技术采用以上技术方案，所以具备以下有益效果：一、本专利技术中的水平支板在向下的压力作用下，第一滑动支杆与第二滑动支杆分别压缩着第一弹簧与第二弹簧向下运动，同时推动可移动反射镜向下移动，迈克尔逊干涉系统信号光与参考光的光程差，将压力大小转化为干涉条纹的相位信息，系统设计独特。二、采用迈克尔逊干涉仪系统，具有精度高、响应快及动态范围大等优点。三、系统结构设计简单，易于操作，容易实现系统性能提高的相关改进。四、本专利技术中的帧间强度相关方法在处理干涉图像方面，不仅对干涉图像的对比度要求不高，而且具有相当高的精度和计算速度。五、系统工作在可见光波长范围内，不仅方便光路调节，及时规避激光对人眼造成伤害，同时在系统光路出现较大偏差时，能够及时对系统进行调整，校正系统至系统正常工作。附图说明图1为本专利技术原理图。图中1-激光器，2-半反半透镜，3-第一反射镜，4-相位补偿板，5-第二反射镜，6-滤光透镜，7-可移动反射镜，8-水平支板，9-第一滑动支杆，10-第一平行导轨，11-第一弹簧，12-第二滑动支杆，13-第二平行导轨，14-第二弹簧，15固定水平台，16-CCD相机，17-信号处理机，18-向下压力。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。本专利技术采用一种光学非接触式压力传感器，其特征在于：包括激光器1、半反半透镜2、第一反射镜3、相位补偿板4、第二反射镜5、滤光透镜6、可移动反射镜7、水平支板8、第一滑动支杆9、第一平行导轨10、第一弹簧11、第二滑动支杆12、第二平行导轨13、第二弹簧14、固定水平台15、CCD相机16、信号处理机17。上述方案中的激光器1、半反半透镜2、第一反射镜3、相位补偿板4、第二反射镜5、滤光透镜6以及可移动反射镜7构成迈克尔逊干涉系统，经过第一反射镜3的激光光路为参考光路，经过相位补偿板4、滤光透镜6、第二反射镜5及可移动反射镜7的激光光路为信号光路。所述滤光透镜6对所述激光器1产生激光透过率大于90％，所述激光器1产生的激光波长为380nm至760nm之间的可见光波段。上述方案中的第一平行导轨10与第二平行导轨13相互平行，并与所述固定水平台15垂直。上述方案中的第一滑动支杆9和第二滑动支杆12在压力作用下会分别沿所述第一平行导轨10和第二平行导轨13竖直向下运动。上述方案中的水平支板8为刚性结构。上述方案的第一反射镜3与可移动反射镜7为镜面反射镜或漫反射镜。上述方案中的可移动反射镜7水平固定在所述水平支板8上。CCD相机16实时采集迈克尔逊干涉系统的干涉条纹，并将采集的干涉条纹图像信息传递给信号处理机17。信号处理机17对干涉条纹图像信息实时进行帧间强度相关处理，所述帧间强度相关算法原理如下：由CCD相机16采集到的干涉图像光强分布可以表示为：其中M为相移次数，N为CCD相机16像素个数，其余为干涉表达式中的系数常量。而CCD相机16拍摄得到建立的方程个数远大于方程未知数个数，通过使下述代价方程最小化得到方程组的最小二乘解。进一步将上述方程组矩阵化，定义C(1)是干涉条纹图像的大小为M×M的相关矩阵，干涉图像中相位的移动只是相关矩阵II+的函数。假设光强分布的测量误差服从均值为零的随机统计规律，并且与波前变量无关，C(1)的最小特征值近似与光强误差的方差相等。将其最小特征值从C(1)对角线中去除可以得到一个噪声抑制的相关矩阵C(ns)，其中，定义调制光波为um＝exp(iθm)，参考光为引入微分矩阵D进一步减少方程和未知数个数，建立帧间强度相关方法矩阵优化模型，C＝DC(ns)DT≈VHV+其中，利用等式右侧模型对左侧计算得到的矩阵C进行最小二乘迭代拟合，得到的相位变化大小，通过上述处理，得到干涉条纹的相位变化值，因此可以通过信号处理机17实时解算干涉条纹的相位变化信息而解算出水平支板8向下移动的距离，从而进一步得到向下的压力大小。以上仅为本专利技术的优选实施例而已，并不用于限制本专利技术，对于本领域的技术人员来说，本专利技术可以有各种更改和变化。凡在本专利技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本专利技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学非接触式压力传感器，其特征在于：它包括激光器、半反半透镜、第一反射镜、相位补偿板、滤光透镜、第二反射镜、可移动反射镜、水平支板、第一滑动支杆、第一平行导轨、第一弹簧、第二滑动支杆、第二平行导轨、第二弹簧、固定水平台、CCD相机及信号处理机；所述激光器、半反半透镜、第一反射镜、相位补偿板、滤光透镜及第二反射镜构成迈克尔逊干涉系统，经过第一反射镜的激光光路为参考光路，经过相位补偿板、滤光透镜、第二反射镜及可移动反射镜的激光光路为信号光路，所述滤光透镜对所述激光器产生激光透过率大于90％，所述激光器产生的激光波长为380nm至760nm之间的可见光波段；所述第一平行导轨与第二平行导轨相互平行，并与所述固定水平台垂直；所述第一滑动支杆和第二滑动支杆在压力作用下会分别沿所述第一平行导轨和第二平行导轨竖直向下运动；所述水平支板为刚性结构；所述可移动反射镜水平固定在所述水平支板上；所述CCD相机实时采集迈克尔逊干涉系统的干涉条纹，并将采集的干涉条纹图像信息传递给信号处理机；所述信号处理机对干涉条纹图像信息实时进行帧间强度相关处理，得到干涉条纹的相位变化值，并进一步解算出作用在水平支板上的压压力大小。...

【技术特征摘要】
1.一种光学非接触式压力传感器，其特征在于：它包括激光器、半反半透镜、第一反射镜、相位补偿板、滤光透镜、第二反射镜、可移动反射镜、水平支板、第一滑动支杆、第一平行导轨、第一弹簧、第二滑动支杆、第二平行导轨、第二弹簧、固定水平台、CCD相机及信号处理机；所述激光器、半反半透镜、第一反射镜、相位补偿板、滤光透镜及第二反射镜构成迈克尔逊干涉系统，经过第一反射镜的激光光路为参考光路，经过相位补偿板、滤光透镜、第二反射镜及可移动反射镜的激光光路为信号光路，所述滤光透镜对所述激光器产生激光透过率大于90％，所述激光器产生的激光波长为380nm至760nm之间的可见光波段；所述第一平行导轨与第二平行导轨相互平行，并与所述固定水平台垂直；所述第一滑动支杆和第二滑动支杆在压力作用下会分别沿所述第一平行导轨和第二平行导轨竖直向下运动；所述水平支板为刚性结构；所述可移动反射镜水平固定在所述水平支板上；所述CCD相机实时采集迈克尔逊干涉系统...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘菲菲，
申请(专利权)人：孝感锐创机械科技有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42