【技术实现步骤摘要】
一种太阳能电池扩散用石英炉管
本技术属于太阳能电池片制造
,具体涉及一种太阳能电池扩散用石英炉管。
技术介绍
随着能源的不断消耗和能源价格的上涨,新能源的开发利用成为当今能源领域研究的主要课题。随着光伏技术不断的发展,作为将太阳能转化为电能的半导体器件的太阳能电池产品得到了快速的开发。晶硅太阳能电池生产工艺流程中,需经过扩散工艺过程形成PN结,此工艺过程需要高的洁净度和长时间的800℃以上的高温过程。传统的扩散用石英管采用直径310mm的圆形的管口设计,如图1所示,图中1为外截面,2为内截面,1、2均为圆形,相对于方形的硅片,管口尺寸过大。在使用时,承载硅片的石英舟由石墨桨缓缓送入石英管的过程中,由于石英管的炉门处于打开状态,外界的空气和杂质很容易进入到炉管中,影响后面扩散过程的洁净度,从而影响最终太阳能电池的光电转换效率;同时,外界冷空气进入炉管中,使炉管内的温度由开门前的800℃快速降低至700℃以下,在扩散通源前需要长时间的加热回复炉温。
技术实现思路
有鉴于此,为了克服现有技术的缺陷,本技术的目的是提供一种太阳能电池扩散用石英炉管,其既能减少回温时间、提高扩散产能,又能避免外界杂质的污染,从而提高扩散的洁净度而提高太阳能电池的转换效率。为了达到上述目的,本技术采用以下的技术方案:一种太阳能电池扩散用石英炉管,包括石英管口,所述石英管口的外截面为圆形,所述石英管口的内截面为与硅片以及承载所述硅片的石英舟相配合的形状。优选地,所述内截面为多边形。更加优选地,所述多边形为正多边形。更加优选地,所述多边形为矩形。进一步优选地,所述矩形的底边平行于水平面设 ...
【技术保护点】
1.一种太阳能电池扩散用石英炉管,包括石英管口,其特征在于:所述石英管口的外截面为圆形,所述石英管口的内截面呈与硅片以及承载所述硅片的石英舟相配合的形状;所述内截面的中点与所述外截面圆形的圆心重合。
【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池扩散用石英炉管,包括石英管口,其特征在于:所述石英管口的外截面为圆形,所述石英管口的内截面呈与硅片以及承载所述硅片的石英舟相配合的形状;所述内截面的中点与所述外截面圆形的圆心重合。2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池扩散用石英炉管,其特征在于:所述内截面为多边形。3.根据权利要求2所述的一种太阳能电池扩散用石英炉管,其特征在于:所述多边形为正多边形。4.根据权利要求2所述的一种太阳能电池扩散用石英炉管,其特征在于:所述多边形为矩形。5.根...
【专利技术属性】
技术研发人员:崔美丽,符欣,金起弘,
申请(专利权)人:韩华新能源启东有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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