一种氢气质谱法检漏装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种氢气质谱法检漏装置，包括机台、充填室、真空室、氢气质谱仪、气罐、质谱真空泵和抽气泵。机台设有操作台、控制台、显示器和工作指示灯，工作指示灯位于机台的顶部，显示器固连在机台的一侧；所述的操作台位于机台的中间部分，控制台与操作台相连；所述的充填室固连在操作台上，充填室与气罐相连；所述的真空室包括密封盖、抽气管道和气缸，抽气管道与抽气泵相连；所述的氢气质谱仪固连在操作台的后方，氢气质谱仪与质谱真空泵相连；所述的抽气泵位于操作台的下方。本实用新型专利技术把氢气的检测精度从传统的0.01SCCM提高到0.0001sccm。同时排除探头嗅探法的人为因素干扰，使得氢气检测法大规模产业化成为可能。而且氢氮气价格便宜，为企业节约大量成本。

【技术实现步骤摘要】
一种氢气质谱法检漏装置
本技术涉及真空泄漏检测领域，具体地是涉及一种氢气质谱法检漏装置。
技术介绍
目前氢气在线检漏的方法多数采用嗅探法，向被测物品中充入氢氮混合气，探测氢气在被测物品外围空气中浓度，以判断是否存在泄漏。采用氢气嗅探法侧漏，精度偏低，而且容易收到人工操作影响，如果人工没有将氢气探枪放在泄漏点周围，则探测不到泄漏，容易误判，不适合产品大批量的检测，满足不了产品质量控制的要求，而且实际操作精度偏低，氦气质谱法虽然可以实现高精度自动测试，但是氦气价格昂贵，不适合一般企业的成本控制要求。
技术实现思路
鉴于以上内容，本技术提供了一种氢气质谱法检漏装置，其通过新的夹具专利技术，把氢气的检测精度从传统的0.01SCCM提高到0.0001sccm。同时排除探头嗅探法的人为因素干扰，使得氢气检测法大规模产业化成为可能。而且氢氮气价格便宜，为企业节约大量成本。为达到上述目的，本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种氢气质谱法检漏装置，其特征在于：包括机台、充填室、真空室、氢气质谱仪、气罐、质谱真空泵和抽气泵；所述的机台设有操作台、控制台、显示器和工作指示灯，工作指示灯位于机台的顶部，显示器固连在机台的一侧；所述的操作台位于机台的中间部分，控制台与操作台相连；所述的充填室固连在操作台上，充填室与气罐相连；所述的真空室包括密封盖、抽气管道和气缸，抽气管道与抽气泵相连；所述的氢气质谱仪固连在操作台的后方，氢气质谱仪与质谱真空泵相连；所述的抽气泵位于操作台的下方。进一步地，所述的气罐内采用5%的氢气和95%的氮气混合气体。进一步地，所述的工作指示灯设有三个模式。进一步地，所述的密封盖内设有密封条。附图说明图1是本技术一种氢气质谱法检漏装置的结构示意图。图2是本技术后视结构示意图。图中，1、机台；2、充填室；3、真空室；4、氢气质谱仪；5、气罐；6、质谱真空泵；7、抽气泵；11、操作台；12、控制台；13、显示器；14、工作指示灯；31密封盖；32、抽气管道；33、气缸。具体实施方式为了使本
的人员更好地理解本申请中的技术方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围：如图1至图2所示的一种氢气质谱法检漏装置，其特征在于：包括机台1、充填室2、真空室3、氢气质谱仪4、气罐5、质谱真空泵6和抽气泵7；所述的机台1设有操作台11、控制台12、显示器13和工作指示灯14，工作指示灯14位于机台1的顶部，显示器13固连在机台1的一侧；所述的操作台11位于机台1的中间部分，控制台12与操作台11相连；所述的充填室2固连在操作台11上，充填室2与气罐5相连；所述的真空室3包括密封盖31、抽气管道32和气缸33，抽气管道32与抽气泵33相连；所述的氢气质谱仪4固连在操作台11的后方，氢气质谱仪4与质谱真空泵6相连；所述的抽气泵7位于操作台的下方。进一步地，所述的气罐5内采用5%的氢气和95%的氮气混合气体。进一步地，所述的工作指示灯14设有三个模式。进一步地，所述的密封盖31内设有密封条。开始工作时，本技术将含有5%的氢气和95%的氮气混合气充填进待测产品内部，再将产品放入真空箱，抽气泵工作，待真空箱压力降低到质谱仪要求的压力时，打开质谱仪，同时确保氢氮气充入产品中，检测真空箱子内的氢气含量，从而检出泄漏率。测试完毕排空产品内部氢氮气，打开真空箱，检测结束。上述实施例只为说明本技术的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本技术的内容并加以实施，并不能以此限制本技术的保护范围，凡根据本技术精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本技术的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氢气质谱法检漏装置，其特征在于：包括机台、充填室、真空室、氢气质谱仪、气罐、质谱真空泵和抽气泵；所述的机台设有操作台、控制台、显示器和工作指示灯，工作指示灯位于机台的顶部，显示器固连在机台的一侧；所述的操作台位于机台的中间部分，控制台与操作台相连；所述的充填室固连在操作台上，充填室与气罐相连；所述的真空室包括密封盖、抽气管道和气缸，抽气管道与抽气泵相连；所述的氢气质谱仪固连在操作台的后方，氢气质谱仪与质谱真空泵相连；所述的抽气泵位于操作台的下方。

【技术特征摘要】
1.一种氢气质谱法检漏装置，其特征在于：包括机台、充填室、真空室、氢气质谱仪、气罐、质谱真空泵和抽气泵；所述的机台设有操作台、控制台、显示器和工作指示灯，工作指示灯位于机台的顶部，显示器固连在机台的一侧；所述的操作台位于机台的中间部分，控制台与操作台相连；所述的充填室固连在操作台上，充填室与气罐相连；所述的真空室包括密封盖、抽气管道和气缸，抽气管道与抽气泵相连；所述的氢...

【专利技术属性】
技术研发人员：李波，
申请(专利权)人：昆山阿普顿自动化系统有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32