安装有采用铰链的门开关装置的太阳能电池用多结晶硅锭块制造装置制造方法及图纸

技术编号:1830526 阅读:260 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供一种安装有采用铰链的门开关装置的太阳能电池用多结晶硅锭块制造装置,该装置包括用于开关形成在隔热板上的孔的门,且通过设置在上述门与隔热板之间的铰链开关上述门,在熔解硅原材料后,为了冷却熔锅而使冷却板上升时,上述冷却板以支撑着门的下侧的状态上升,通过铰链,门以开关状被打开,在上述冷却板接近衬托器下侧或者紧贴在衬托器下侧时,上述被打开的门的一侧搭在上述冷却板的一个侧面上。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及具有采用铰链的门开关装置的太阳能电池用多结 晶(或多晶体)硅锭块的制造装置,尤其涉及使熔解的硅从下部开 始冷却的安装有采用铰链的门开关装置的太阳能电池用多结晶硅 锭块的制造装置。
技术介绍
最近,由于利用硅型太阳能电池的太阳光发电具有无害、安全、 可靠等优点,所以从试验阶段发展到了产业化阶段。在美国、日本、德国,利用硅太阳能电池已经实现了数百-数千Kw容量的太阳光发电。目前,利用太阳光发电的太阳能电池主要是利用通过 Czochralski直4立法(或摘:拉法)制造的单晶体石圭板来制造,4旦是为 了今后的持续性大规模容量化,需要降低硅板的价格,提高生产性。 在这样的情况下,作为降低太阳能电池用硅板的成本的一环节,研 究出了铸造法。以铸造法进行的太阳能电池用多结晶硅4t块的制造的主要特 征在于定向固化。在由石英或黑铅制造的熔锅(或坩埚)中放入多结晶硅颗粒, z使其熔解之后,/人熔锅下部去除石圭的熔解热量,同样乂人下部向上部 实现冷却凝固,从而获得具有一定方向的、所谓的柱状结构的锭块。与通过直拉法制造的单结晶石圭4定块相比,通过如上所述的方法 制造的多结晶硅锭块由于内部存在的晶界,所以在制造太阳能电池 时降低电气效率,但是相对4走块生长方向,结晶构成为柱状,因此, 从整体物性上来说,与单结晶锭块相比,略占20%的劣势。但是, 可以大量生产(单晶体直拉法的2-3倍),并且生产性(单晶体直 拉法的2~3倍)良好,制造技术简单,因此,在价才各方面,是单 结晶石圭4走块的大约1/2 ~ 1/3。到目前为止公知的铸造法是在向黑铅熔锅供给之前,在以石英 制造的多结晶硅熔解部内先熔解多晶石圭,之后从下部供给到上部维 持在600~ 1200。C的四边形或圆形的黑铅炫锅内,使结晶生长,从 而制造多结晶硅4t块。4旦是如上述的现有的铸造法是在冷;水冰的熔锅内进4亍急速冷 却固化,因此,虽然可以防止固化硅与熔锅之间的黏着现象,但是 由熔锅产生的污染较大,残留有热应力,乂人而缺陷浓度变大,并且 结晶粒子变小的问题。
技术实现思路
为了解决上述问题,本专利技术的目的在于提供一种安装有采用铰 链的门开关装置的太阳能电池用多结晶硅锭块的制造装置,以使硅 结晶从下部向上部均匀生长。本专利技术是对申请人于2007年1月19日提交的申请(申请号 10-2007-6218,专利技术名称太阳能电池用多结晶硅锭块制造装置)的申请进行补充的装置,作为开关门的方式之一,没有利用马达, 也可以打开门,从而解决了利用马达引起的问题(产生噪音、装置 结构复杂等)。为了实现上述目的,本专利技术涉及一种安装有采用铰链的门开关 装置的太阳能电池用多结晶硅锭块制造装置,上述太阳能电池用多结晶硅锭块制造装置包括真空腔;熔锅,设置在上述真空腔内, 且具有预定形状;衬托器(suceptor),包围并保护上述熔锅;支撑 台,设置在上述衬托器的下侧,用于支撑衬托器;加热炉,用于加 热,以4吏上述熔锅内的石圭原材料熔解;隔热玲反,与上述^N乇器的下 侧相隔^见定距离,并形成有孔;冷却4反,具有与上述隔热4反上的孔 相同的尺寸,且在冷却熔锅的下部时,从隔热板的下侧通过孔上升, 紧贴在衬托器的下侧或接近衬托器下侧;冷却板支撑轴,设置在上 述冷却才反的下侧,起到支撑冷却^反的轴的作用,且其内部i殳置有制 冷剂流3各;冷却板移动单元,用于移动上述冷却板和冷却板支撑轴; 惰性气体供给和排出部,用于向真空腔内供给惰性气体,并且向外 部排出真空腔内的惰性气体;温度传感器,用于检测上述熔锅内温 度;以及控制部,接收上述温度传感器的输出值,控制熔锅内的温 度,以使熔锅内的硅熔解并均匀成长,并且,控制上述惰性气体供 给和排出部,以便将真空腔内的惰性气体维持在一定水平上,并且 控制上述冷却板移动单元,以使上述冷却板通过形成在隔热板上的 孔来接近上述衬托器的下侧或者紧贴在衬托器的下侧。上述安装有 采用铰链的门开关装置的太阳能电池用多结晶硅锭块制造装置的 特4正在于,还包括用于开关形成在上述隔热才反上的孔的门,通过i殳 置在上述门与隔热板之间的铰链开关上述门,在炫解硅原材料后, 为了冷却上述熔锅而^f吏冷却才反上升时,上述冷却^反以支撑着门的下 侧的状态上升,通过4交链,门纟皮打开成开关状,上述冷却4反4妄近衬 4乇器下侧或者紧贴在^N乇器下侧时,上述一皮打开的门的一侧4荅在上 述冷却^反的 一 个侧面上。本专利技术的特征在于,还包括划痕防止装置,在上述的冷却板以 支撑着门的下侧的状态上升时,该装置用于防止在冷却板与门接触 的位置发生划痕。作为上述划痕防止装置的 一个例子,在与上述门的下侧4妄触的 冷却々反的一个侧面上i殳置專昆,上述冷却玲反在以支撑着门的下侧的状 态上升时,随着上述辊的滑动,门:故向上打开,/人而防止划痕。并且,如上所述,在本专利技术中可以设置两个门,也可以设置多 个(例如四个)。如上所述,i殳置四个门时,优选地,在与每个门 4妻触的冷却纟反的侧面上分别i殳置(i殳置四个)作为划痕防止装置的辊。上述的熔锅i殳置在真空腔的中心,上述隔热纟反上的孔位于^H乇 器的正下面。本专利技术的特征在于,在上述冷却板和冷却板支撑轴内侧设置有 制,令剂流^各。如上所述,本专利技术提供一种安装有采用铰链的门开关装置的太 阳能电池用多结晶硅锭块制造装置,从而使硅结晶可以从下部向上 部方向均匀生长。并且,在本专利技术中,利用铰链开关门与利用电机等的开关门方 式相比,产生的噪音较少,整个装置的结构简单,从而,降低了装 置的制造成本。并且,在本专利技术中,通过在与门的下侧接触的冷却板的一个侧 面上设置辊,乂人而可以防止冷却^反与门接触位置上的划伤。附图说明图la至图lc是^4居本专利技术的一实施例的太阳能电池用多结晶 硅锭块制造装置的立体截面图,其中,图la是初始状态的示意图, 图lb是冷却板接近门的下侧的状态示意图,图lc是门被打开,冷 却板接近(或者紧贴)熔锅和衬托器的下侧的状态示意图2a和图2b是^4居本专利技术的一实施例的太阳能电池用多结晶 硅锭块制造装置中的主要部分的简略示意图3a至图3c是^^艮据本专利技术的另一实施例的太阳能电池用多结 晶硅锭块制造装置的立体截面图,图3a是初始状态示意图,图3b 是冷却板接近门的下侧的状态示意图,图3c是门被打开,冷却板 接近(或者紧贴)熔锅和衬托器的下侧的状态示意图4a至图4b是根据本专利技术的另一实施例的太阳能电池用多结 晶硅锭块制造装置中的主要部分的简略示意图5a至图5c是根据本专利技术的一实施例的包围熔锅和衬托器周 围的力口热炉的立体截面图6是根据本专利技术的一实施例的太阳能电池用多结晶硅锭块制 造方法的流程图。附图才示i己100真空腔 110绝热材泮十120卩鬲《A才反 121孑匕130真空腔^f呆持单元 200溶锅8210衬托器320力口热炉321a、 321b电极400冷却板401、 402制冷剂流路410冷却纟反支撑轴421、 422辊500a、 500b门510a 、 520b铰链610、 620温度传感器具体实施例方式下面,参照附图详细说明本专利技术涉及的优选实施例。图la至图lc是才艮据本专利技术的一实施例的太阳能电池用多结晶 硅锭块制造装置的立体截面图,图la是初始状态示意图,图lb是 冷却本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种安装有采用铰链的门开关装置的太阳能电池用多结晶硅锭块制造装置,所述太阳能电池用多结晶硅锭块制造装置包括:真空腔;熔锅,设置在所述真空腔内,且具有预定形状;衬托器,包围并保护所述熔锅;支撑台,设置在所述衬托器的下侧,用于支撑衬托器;加热器,用于加热,以使所述熔锅内的硅原材料熔解;隔热板,与所述衬托器的下侧相隔规定距离,并形成有孔;冷却板,具有与所述隔热板上的孔相同的尺寸,且在冷却熔锅的下部时,所述冷却板从隔热板的下侧通过孔上升,紧贴在衬托器的下侧或接近衬托器下侧;冷却板支撑轴,设置在所述冷却板的下侧,起到支撑冷却板的轴的作用,其内部设置有制冷剂流路;冷却板移动单元,用于移动所述冷却板和冷却板支撑轴;惰性气体供给和排出部,用于向真空腔内供给惰性气体和向外部排出真空腔内的惰性气体;温度传感器,用于检测所述熔锅内温度;以及控制部,接收所述温度传感器的输出值后控制熔锅内的温度,以使熔锅内的硅熔解并均匀生长,并且,控制所述惰性气体的供给和排出部,以便将真空腔内的惰性气体维持在一定水平上,并且控制所述冷却板移动单元,以使所述冷却板通过形成在隔热板上的孔来接近所述衬托器的下侧或者紧贴在衬托器的下侧,其特征在于, 包括用于开关形成在所述隔热板上的孔的门,且通过设置在所述门与隔热板之间的铰链开关所述门, 在熔解硅原材料后,为了冷却所述熔锅而使冷却板上升时,所述冷却板以支撑着门的下侧的状 态上升,通过所述铰链,门被打开成开关状,在所述冷却板接近衬托器下侧或者紧贴在所述衬托器下侧时,该被打开的门的一侧搭在所述冷却板的一个侧面上。...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:吉钟元文相珍苏源郁
申请(专利权)人:GLOSIL株式会社韩国化学研究院
类型:发明
国别省市:KR[韩国]

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