柔性介质的切割方法技术

本发明专利技术公开了一种柔性介质的切割方法，其包括：提供待切割的柔性介质，所述柔性介质包括相对的第一表面和第二表面；在所述柔性介质的第一表面上贴附保护膜；将贴附有所述保护膜的所述柔性介质放置于真空吸附平台上，所述保护膜与所述真空吸附平台连接；控制所述真空吸附平台的吸附孔产生真空吸附力，将所述保护膜以及所述柔性介质吸附固定；应用激光切割工艺从所述第二表面切割所述柔性介质；剥离去除所述保护膜。本发明专利技术提供的切割方法可以避免柔性介质的边缘发生翘曲的问题，并且还可以避免真空吸附平台的表面被切割损伤。

The cutting method of flexible medium

The invention discloses a cutting method of a flexible medium, which includes: providing a flexible medium to be cut, the flexible medium including a relative first surface and a second surface, attached a protective film on the first surface of the flexible medium, and placing the flexible medium attached to the protective film on a vacuum adsorption platform. The protective film is connected with the vacuum adsorption platform, and the adsorption hole of the vacuum adsorption platform is controlled to produce a vacuum adsorption force, the protective film and the flexible medium are adsorbed and fixed, and the laser cutting process is used to cut the flexible medium from the second surface, and the protective film is stripped off. The cutting method provided by the present invention can avoid the problem of warping on the edge of the flexible medium, and can also avoid the cutting damage of the surface of the vacuum adsorption platform.

【技术实现步骤摘要】
柔性介质的切割方法
本专利技术涉及柔性显示面板的生产工艺，尤其涉及一种柔性介质的切割方法。
技术介绍
有机电致发光二极管(Organiclight-emittingdiodes，OLED)显示面板具备自发光、对比度高、厚度薄、视角广和反应速度快等优点，是新一代平面显示技术的代表，越来越受到业界的推崇。柔性OLED显示面板是其中的一个重要发展趋势，柔性OLED显示面板不仅能够在体积上更加轻薄，而且能够降低功耗，从而有助于提升相应产品的续航能力。同时，由于柔性OLED显示面板的可弯曲性和柔韧性，其耐用程度也高于普通硬质显示面板。柔性OLED显示面板可广泛应用于各种带显示功能的产品中，例如可以应用于平板电脑、电视、移动终端和各类可穿戴式设备中。柔性OLED显示面板在带来一系列优点的同时也具有其本身的缺陷，由于柔性基板具有挠性和热膨胀性等问题，给显示器件的加工带来不便，容易出现基板下垂，甚至产生褶皱或断裂，很难精准的进行后续膜层的制备工序。为了解决该问题，需要将柔性基板连接于刚性的基板如玻璃基板上，用以支撑和固定柔性基板以利于薄膜的形成。在柔性基板上制备形成显示面板的各层元件之后，再通过剥离工艺，将刚性基板从柔性基板上剥离开来，从而完成柔性显示面板的制备工作。目前主流的柔性OLED显示面板的制作方法包括：步骤S1、以玻璃基板为载体，在整面玻璃基板上涂覆一层聚酰亚胺(PI)膜作为柔性衬底，在柔性衬底上制备形成OLED显示母板，所述OLED显示母板包括多个OLED显示面板。步骤S2、应用切割工艺，将玻璃基板以及OLED显示母板切割裂片将多个OLED显示面板相互分割，形成单片的OLED显示面板。步骤S3、针对各个单片的OLED显示面板，应用激光剥离(Laserliftoff，LLO)工艺将PI膜与玻璃基板分离，即得到柔性OLED显示面板。以上的工艺步骤中，对于步骤S2的切割工艺，通常是使用激光切割设备。众所周知，激光切割设备是比较昂贵的并且设备的使用成本也较高，而在以上的步骤S2中，在进行激光切割工艺时还需要对玻璃基板进行切割，不仅耗费了工时和材料，也增加了激光切割设备的损耗和使用成本。为了改善以上提到的问题，现有技术的解决方法是：首先是将包括多个OLED显示面板的OLED显示母板从玻璃基板上剥离；然后再对OLED显示母板切割将多个OLED显示面板相互分割，形成单片的柔性OLED显示面板。即，在以上的工艺步骤S1～S3中，在进行步骤S1之后，先进行步骤S3再进行步骤S2，不需要切割玻璃基板。业内通常将从玻璃基板上剥离后的OLED显示母板称为全柔性OLED显示母板，针对全柔性显示母板的切割工艺，参阅图1和图2，首先是将全柔性OLED显示母板1吸附固定在真空吸附平台上，所述真空吸附平台1包括吸附孔2；然后应用激光切割装置3沿着预定的切割线4对全柔性OLED显示母板5进行切割，将多个OLED显示面板6(图1和图2中仅示例性示出了其中一个OLED显示面板6)相互分离。这种切割工艺存在着以下的问题：(1)、参阅图1，切割线4(OLED显示面板6的边缘)通常位于吸附孔2之间，切割线4与吸附孔2之间具有较大的距离，对应于切割线位置的吸附力较弱，在进行激光切割工艺之后，OLED显示面板6的边缘容易产生翘曲的问题。(2)、参阅图2，进行激光切割工艺时，在对应于切割线4的位置需要完全切断全柔性OLED显示母板5，此时真空吸附平台1的表面经常被激光损伤。因此，现有技术还有待于改进和发展。
技术实现思路
鉴于现有技术存在的不足，本专利技术提供了一种柔性介质的切割方法，所述切割方法可以避免柔性介质的边缘发生翘曲的问题，并且还可以避免真空吸附平台的表面被切割损伤。为了达到上述的目的，本专利技术采用了如下的技术方案：一种柔性介质的切割方法，其包括：提供待切割的柔性介质，所述柔性介质包括相对的第一表面和第二表面；在所述柔性介质的第一表面上贴附保护膜；将贴附有所述保护膜的所述柔性介质放置于真空吸附平台上，所述保护膜与所述真空吸附平台连接；控制所述真空吸附平台的吸附孔产生真空吸附力，将所述保护膜以及所述柔性介质吸附固定；应用激光切割工艺从所述第二表面切割所述柔性介质；剥离去除所述保护膜。其中，所述激光切割工艺的切割深度不小于所述柔性介质的厚度并且小于所述柔性介质和所述保护膜的厚度之和。其中，所述保护膜的厚度大于100μm。其中，所述保护膜的厚度为100μm～200μm。其中，所述柔性介质为柔性OLED显示面板。其中，所述保护膜吸附固定于所述真空吸附平台上时，所述保护膜的边界与位于所述边界内的距离最近的吸附孔的垂直距离不大于5mm。其中，所述真空吸附平台上设置有承载组件，将贴附有所述保护膜的所述柔性介质放置于所述承载组件上，所述保护膜与所述承载组件连接；其中，所述承载组件中设置有与所述吸附孔流体连通的通孔，所述通孔将所述真空吸附平台产生的真空吸附力传递至所述保护膜，以吸附固定所述保护膜以及所述柔性介质；所述承载组件中的通孔的排布密度大于所述真空吸附平台中的吸附孔的排布密度。其中，所述保护膜吸附固定于所述承载组件上时，所述保护膜的边界与位于所述边界内的距离最近的通孔的垂直距离不大于5mm。其中，所述承载组件包括相对的上表面和下表面，所述保护膜连接于所述上表面上，所述下表面与所述真空吸附平台连接；其中，所述下表面设置有凹槽，所述通孔将所述凹槽连通至所述上表面，所述凹槽在所述下表面上的开口包围多个所述吸附孔。其中，所述承载组件的下表面通过密封件与所述真空吸附平台连接，所述密封件环绕设置于所述凹槽的边缘。本专利技术实施例提供的柔性介质的切割方法，首先是在柔性介质上贴附保护膜，然后将柔性介质连同保护膜一起吸附固定在真空吸附平台上，柔性介质和保护膜之间具有稳定且均匀的附着力，因此在进行切割工艺时，柔性介质在切割线的边缘不会发生翘曲的问题。另外，保护膜是连接在柔性介质和真空吸附平台之间，控制激光切割的参数使得柔性介质被切断时保护膜未被穿透，不会损伤真空吸附平台的表面。附图说明图1是现有技术中对全柔性显示母板进行切割时的俯视结构示意图；图2是现有技术中对全柔性显示母板进行切割时的剖面结构示意图；图3是本专利技术实施例1提供的柔性介质的切割方法的工艺流程图；图4a～4e是本专利技术实施例1提供的柔性介质的切割方法中，各个工艺步骤对应的结构图示；图5是本专利技术实施例1中将柔性介质放置于真空吸附平台上的俯视结构示意图；图6是本专利技术实施例2中将柔性介质通过承载组件连接到真空吸附平台上的结构示意图；图7是本专利技术实施例2中将柔性介质放置于承载组件上的俯视结构示意图。具体实施方式为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本专利技术的具体实施方式进行详细说明。这些优选实施方式的示例在附图中进行了例示。附图中所示和根据附图描述的本专利技术的实施方式仅仅是示例性的，并且本专利技术并不限于这些实施方式。在此，还需要说明的是，为了避免因不必要的细节而模糊了本专利技术，在附图中仅仅示出了与根据本专利技术的方案密切相关的结构和/或处理步骤，而省略了与本专利技术关系不大的其他细节。实施例1本实施例提供了一种柔性介质的切割方法，参阅图3以及图4a～4e，所述切割方法包括步骤：S11、如图4a所示，提供待切割的柔性介质10，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种柔性介质的切割方法，其特征在于，包括：提供待切割的柔性介质，所述柔性介质包括相对的第一表面和第二表面；在所述柔性介质的第一表面上贴附保护膜；将贴附有所述保护膜的所述柔性介质放置于真空吸附平台上，所述保护膜与所述真空吸附平台连接；控制所述真空吸附平台的吸附孔产生真空吸附力，将所述保护膜以及所述柔性介质吸附固定；应用激光切割工艺从所述第二表面切割所述柔性介质；剥离去除所述保护膜。

【技术特征摘要】
1.一种柔性介质的切割方法，其特征在于，包括：提供待切割的柔性介质，所述柔性介质包括相对的第一表面和第二表面；在所述柔性介质的第一表面上贴附保护膜；将贴附有所述保护膜的所述柔性介质放置于真空吸附平台上，所述保护膜与所述真空吸附平台连接；控制所述真空吸附平台的吸附孔产生真空吸附力，将所述保护膜以及所述柔性介质吸附固定；应用激光切割工艺从所述第二表面切割所述柔性介质；剥离去除所述保护膜。2.根据权利要求1所述的柔性介质的切割方法，其特征在于，所述激光切割工艺的切割深度不小于所述柔性介质的厚度并且小于所述柔性介质和所述保护膜的厚度之和。3.根据权利要求2所述的柔性介质的切割方法，其特征在于，所述保护膜的厚度大于100μm。4.根据权利要求3所述的柔性介质的切割方法，其特征在于，所述保护膜的厚度为100μm～200μm。5.根据权利要求1所述的柔性介质的切割方法，其特征在于，所述柔性介质为柔性OLED显示面板。6.根据权利要求1-5任一所述的柔性介质的切割方法，其特征在于，所述保护膜吸附固定于所述真空吸附平台上时，所述保护膜的边界与位于所述边界内的距离最近的吸附孔的垂直距离不大于5mm...

【专利技术属性】
技术研发人员：段艳强，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42