电镀用电极以及电镀装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供电镀用电极以及电镀装置。是对颗粒状材料进行加热以及加压而形成的，至少在表面上具有导电性的多孔质材料形成的电镀用电极。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
电镀用电极以及电镀装置
本专利技术涉及使用被形成为多孔质的材料的电镀电极。更详细地说涉及例如使用金属颗粒或者树脂颗粒形成多孔质材料，至少在其表面上付与导电性，通过增加和电镀液的接触面积提高电极效率的电镀电极。另外，涉及把这样的多孔质材料作为电极壳使用的电镀电极。
技术介绍
例如，关于进行电镀处理制成的多层印刷电路板，高多层化、细线高密度化、小直径化以及低成本化的要求近年来特别高涨。并且，特别是在作为重要的制造工艺之一的孔内镀敷(THP)等中，例如在高水准下要求以下的事项，①电镀厚度均匀，②高电镀能力，③无坑等。另外，在一般的金属防触及电镀、装饰电镀等中，也强烈要求形状的复杂化、低本降等，要求低成本、高品质的电镀技术。以往，作为所使用的涉及电镀用电极的技术已知例如有图1～图5所示。图1是展示非溶解性的网状电极概要的图。该电极是把经耐触及以及导电处理加工金属质的网状材料的网状电极2设置成吊挂在兼作供电的支撑部件1上的状态。在电镀中，电极的表面积越宽阔，可以在低电压下流过更多的电流。即，可以与电镀液接触的表面积越大，越有希望成为可以高效率提供电流的电极。如图1所示如果把电极设置成网状，则因为与平板形的电极相比和电镀液的每个单体体积的接触面积增加，所以可以作为高效率的电极之一使用。在使用此图1的网状电极2的电镀装置中，为了进一步提高电极效率，还提出了配置强制搅拌电镀液的循环装置。-->图2以及图3展示配置了上述循环装置的电镀槽的以往例子。在图2所示的电镀槽中，在电镀液中在网状电极5、5之间配置要电镀的被电镀材料4，一边从空气喷嘴6排出空气，一边用喷射喷嘴7引起电镀液的搅拌流进行空气吹泡。另外在图3所示的电镀槽中，一边从喷嘴6喷出空气，一边用喷射喷嘴8引起对被电镀材料4的搅拌流。如图2以及图3所示，通过强制搅拌电镀液，可以增加电镀液和网状电极的接触机会提高电极效率。另外，图4展示被称为内置了搅拌喷嘴的单元电极的电镀用电极。图4(A)是展示单元电极长方向上的断面，图4(B)是展示此电极的横断面。此单元电极就是在罩10内配置喷管11的电极，从此喷管11向外面喷出电镀液搅拌。罩10是圆弧形，弦的部分形成使电镀液通过的电极面12。此电极面12由和上述一样的网状材料或者被形成有多个冲孔的板材形成。因为在使用此单元电极的情况下也可以强制搅拌电镀液所以可以提高电极效率。还有，在图4中展示上侧的单元电极，但在实际的电镀处理中上下一对单元电极电极面相对地被配置，在其间设置被电镀材料执行电镀处理。进而，在图5中展示以往的溶解型的电极15。此电极15在非溶解性的金属网16内收纳把铜、金等形成为球形状的阳极球17，通过使此阳极球17溶解(离子化)对被电镀材料进行电镀处理。但是，对于上述以往的多个电镀电极，如以下所示存在许多问题。图1所示的网状电极为了在金属质的网状材料上进行耐腐蚀以及导电处理加工，需要形成某种程度大的网状材料的间隔(网眼)。因为各网表面作为电极功能，所以通过不与网表面接触的网眼的电镀液不能参与电镀处理。如上所述虽然网状电极比板状电极和电镀液的接触面积提高，但如果和近年来严格的电镀条件相比需要进一步提高电极效率。但是，因为如上所述需要实施耐腐蚀以及导电加工，所以减小网的间隔受到限制，另外因为形成细的网状材料自身也有限度，所以不能再增加表面积，提高生产效率受到限制。另外，如上所述即使设置使电镀液循环的循环装置，在提高生产效率方面也有限。-->因此，如果要使用上述网电极确保一定的生产量，则电镀装置大型化，准备时间/电镀时间变长。其结果，产生加工时间变长的问题。另外，在图4所示的罩内设置喷嘴的电极中，在电极自身大型化的同时，从喷嘴喷出的电镀液流的控制困难，产生喷流的搅拌不均匀。并且电极面12具有和上述同样的问题。因而，如果要使用上述网电极确保一定的生产量，则电镀装置大型化，仍然产生加工时间变长的问题。另外，在使用图5所示的电极壳的电极中，存在变小的阳极球和碎削从金属网眼中飞出的情况。这样从网眼飞出的小阳极球等附着在被电镀材料上诱发产生坑和表面粗糙的电镀。进而，在壳内部中的电镀液的运动状况差，也存在电极效率差的问题。因而，本专利技术的主要目的在于提供电极效率高，可以实现均匀的电镀加工的电极。
技术实现思路
本专利技术涉及使用多孔质构件构成电极的新的电镀技术。在电镀电极中有图1以及图4所示那样自身非溶解把电镀液中的金属离子电镀到被电镀材料上的非溶解型，和如图5所示的电极那样溶解被收纳在壳体内的阳极球电镀到被电镀材料的溶解型。作为上述非溶解型的电镀电极，可以适宜地使用至少把在表面上具有导电性的非溶解性的材料形成为多孔质的片状电极。这样的多孔质的片通过加热以及加压粒状材料制作。通过适宜地调整在该多孔质片中使用的材料、加热条件、加压条件、处理时间等，可以形成所希望的多孔材料。作为粒状材料可以适宜地使用例如如钛那样耐腐蚀性的金属材料和如金、白金那样具备耐腐蚀性以及导电性的金属材料。使用这样的金属材料加热加压制成的材料一般被称为烧结金属。上述钛虽然导电性差，但在其表面上通过实施铜、白金、铱等的导电性的电镀可以付与其导电性。-->另外，作为粒状材料还可以使用树脂颗粒。一般因为树脂不具有导电性，所以在树脂的情况下也是通过在其表面上实施白金、铱等的导电性的电镀可以付与其导电性。作为粒状材料，当为了付与导电性而在向表面进行的电镀处理中使用所需要的钛颗粒、树脂颗粒的等的情况下，可以在加热加压形成多孔质材料后实施电镀处理，也可以预先在颗粒上实施电镀处理后加热以及加压形成为多孔质材料。如上所述在多孔质中，具有溶解性以及导电性的电镀电极因为，单位体积的表面积极大，所以可以使与表面积成比例流过的电流量增加，成为电极效率高的电极。另外，通过使用所使用的材料的颗粒直径不同的材料，还可以形成具有比较大间隙的多孔质材料，和具有小间隙的多孔质材料并存的形态。如果采用这样的形态则可以调整对被电镀材料的电镀处理。特别是在被电镀材料的表面存在凹凸和弯曲部分时，因为希望电镀液的供给也据此调整，所以可以应对此状况。上述非溶解性的电镀电极虽然可以在直接浸泡在电镀液中的形态下使用，但也可以通过附加压送的电镀液压送装置使电镀液强制通过此电极的多孔质部分，进一步提高电极效率。例如，可以设置成形成电镀液被压入的中空的框架，在此框架的一部分上配设上述多孔质电极的喷嘴型的电镀电极的形态。另外，当设置成溶解型的电镀电极的情况下使用上述多质材料形成电极壳体是极其有效的。此电极壳体和以往的网材料相比因为其间隔极其小，所以滤过能力高。因而，可以抑制因消耗而减小的阳极球飞到外面的事态。而后，如果向这样的电极壳体内导入付与了压力的电镀液，则可以进一步提高电极效率。另外，还可以采用作为收纳阳极球的阳极壳体设置外壳体和在其内部设置内壳体，在它们之间配设阳极球的形态。此外壳体以及内壳体的至少一方如果用上述的非溶解并且具有导电性的多孔质材料形成，则在可以抑制阳极球飞到外面的现象的同时，可以构成使电镀液-->和阳极球的接触机会提高的溶解性的电镀用电极。对于这样的阳极壳，如果把电镀液向内部压送则也可以进一步提高电极效率。上述多孔质材料和用以往的网材料形成的壳不同，被形成的无数的间隙(开孔)小，具有均匀性。因而，当本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电镀用电极，其特征在于：至少在表面上用具有导电性的多孔质材料形成。

【技术特征摘要】
1.一种电镀用电极，其特征在于：至少在表面上用具有导电性的多孔质材料形成。2.一种电镀用电极，其特征在于：对颗粒状材料进行加热以及加压而形成的，至少在表面用具有导电性的多孔质材料形成。3.根据权利要求2所述的电镀用电极，其特征在于：上述颗粒的材料是非溶解性金属颗粒或者树脂颗粒。4.根据权利要求2或者3所述的电镀用电极，其特征在于：作为上述颗粒状材料使用不同颗粒直径的材料，形成间隙状态为疏松的部分和紧密的部分并存的多孔质。5.一种电镀用电极，其特征在于：是把电镀液导入中空的框架内后，使其向外侧喷出的喷嘴型的电镀用电极，用表面具有导电性的多孔质形成上述框架的至少一部分。6.一种电镀用电极，其特征在于：是把电镀液导入中空的框架内后，使其向外侧喷出的喷嘴型的电镀用电极，用对颗粒状材料进行加热以及加压后的至少在表面上具有导电性的多孔质材料形成上述框架的至少一部分。7.根据权利要求6所述的电镀用电极，其特征在于：上述颗粒状的材料是非溶解性金属颗粒或者树脂颗粒。8.根据权利要求6或者7所述的电镀用电极，其特征在于：作为上述颗粒材料使用不同颗粒直径的材料，形成为间隙状态是疏松的部分和紧密部分并存的多孔质。9.一种电镀装置，其特征在于：具备权利要求5至8的任意一项所述的电镀用电极、和向上述框架内压送电镀液...

【专利技术属性】
技术研发人员：川名永四郎，兵头清志，山口清二，
申请(专利权)人：富士通株式会社，骏河精机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]