【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种柔性可卷绕吸波膜材料的制备方法,其特征在于步骤是: 1)选择基体:基体选择聚酯薄膜,或涤纶织物,或聚酰亚胺膜中任一种,基材宽度为900mm至1200mm,厚度:0.005mm至1mm; 2)对上述基体进行表面清洗、除污、表面粗化处理,然后切边,卷装整齐,以备溅射; 3)NiCo合金靶材:NiCo合金比例分别为Ni90%-99%∶Co10%-1%;将Ni和Co两种金属粉混合均匀,烧结制作成NiCo合金靶材备用; 4)首先将靶材装入真空室,然后将步骤2)中卷装整齐的基体装入真空室,并穿入各导辊和张力辊等工序,检验真空室门密封条是否完整,然后关闭真空室门; 5)调整参数达到:靶材距基体表面50mm~90mm,基体表面瞬间温度240℃~300℃;阴极电压300v~450v,工作电流4至15A;氩气出口压力0.05Mpa; 工作时真空室内压强2.8×10↑[-1]~4.6×10↑[-3]pa;基体移动速度0.5~8m/min;溅射NiCo离子密度0.3~4g/m↑[2],基体表面方电阻50~100KΩ/sq; 6)经真空溅射,基体表面形成NiCo合金 ...
【技术特征摘要】
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