太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置，涉及太阳能电池片制备设备技术领域。该太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置包括第一压力接口、第二压力接口及连接管道。第一压力接口的数量为2个以上，其中1个第一压力接口设置在连接管道的第一端，其余第一压力接口设置在连接管道的中部；第二压力接口的数量为2个以上，其中1个第二压力接口设置在连接管道的第二端，其余第二压力接口设置在连接管道的中部。本实用新型专利技术的太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置，通过对比来进行待校准压力计的校准，校准操作简单，校准效率高，解决了压力计校准操作繁琐的问题，具有进行推广应用的价值。 1

【技术实现步骤摘要】
太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置
本技术涉及太阳能电池片制备设备
，特别是涉及一种太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置。
技术介绍
在太阳能电池片的制备过程中，通常需要对电池片发射结面进行镀光学减反射膜。目前，氮化硅薄膜作为晶体硅太阳能电池片的光学减反射膜，同时也起到电池片表面钝化和体内钝化的作用，以提高太阳能电池的转换效率。目前，制备氮化硅薄膜，一般采用的是等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法，配套采用德国的PECVD设备。在采用PECVD设备制备氮化硅薄膜的过程中，为了保护微波系统内部真空值的真实有效，需要对PECVD设备的多种接口上的真空压力计进行真空值校准。对PECVD设备进行真空压力计的校准，目前采用的是用与原压力计相同法兰接口的压力计替换并对比的方式，这种方式操作繁琐，校准效率低。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的在于提供一种太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置，以解决现有技术中存在的压力计校准操作繁琐的技术问题。为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案：本技术提供的一种太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置，包括第一压力接口、第二压力接口及连接管道；所述第一压力接口的数量为2个以上，其中1个所述第一压力接口设置在所述连接管道的第一端，其余所述第一压力接口设置在所述连接管道的中部；所述第二压力接口的数量为2个以上，其中1个所述第二压力接口设置在所述连接管道的第二端，其余所述第二压力接口设置在所述连接管道的中部。进一步地，所述第一压力接口为卡盘法兰接口。该技术方案的技术效果在于：使用与机台端或/和压力计接口端的接口形式相同的卡盘法兰接口，来进行连接，进而进行压力计校准，连接方便，校准操作简单、快速。进一步地，1个所述第一压力接口设置在所述连接管道的第一端，其余所述第一压力接口分别通过第一连接管道连接在所述连接管道的中部。该技术方案的技术效果在于：第一压力接口通过第一连接管道与连接管道连通，既能达到校准的目的，连接结构又简单。进一步地，所述第一连接管道垂直设置在所述连接管道的中部。该技术方案的技术效果在于：与连接管道垂直连接的第一连接管道，保证相互连通通畅，有利于校准的准确进行；并且，组件加工简单，便于装置的生产制造。进一步地，当所述第一连接管道的数量为2个时，2个所述第一连接管道的轴线重合。该技术方案的技术效果在于：轴线重合，使得2个第一连接管道处于同一个平面内，使得相接处内部连通更加通畅；同时，也便于装置整体的加工。进一步地，所述第二压力接口为普通法兰接口。该技术方案的技术效果在于：使用与机台端或/和压力计接口端的接口形式相同的普通法兰接口，来进行连接，进而进行压力计校准，连接方便，校准操作简单，校准效率高。进一步地，1个所述第二压力接口设置在所述连接管道的第二端，其余所述第二压力接口分别通过第二连接管道连接在所述连接管道的中部。该技术方案的技术效果在于：第二压力接口通过第二连接管道与连接管道连通，既能达到校准的目的，并且连接结构又简单。进一步地，所述第二连接管道垂直设置在所述连接管道的中部。该技术方案的技术效果在于：与连接管道垂直连接的第二连接管道，保证相互连通通畅，有利于校准的准确进行；并且，组件加工简单，便于装置的生产制造。进一步地，当所述第二连接管道的数量为2个时，2个所述第二连接管道的轴线重合。该技术方案的技术效果在于：轴线重合，使得2个第二连接管道处于同一个平面内，使得相接处内部连通更加通畅；同时，也便于装置整体的加工。进一步地，所述连接管道的中部设有开关阀。该技术方案的技术效果在于：开关阀的设置，便于在校准过程中对第一压力接口或第二压力接口进行通断，使得校准过程更加便于控制。本技术提供的太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置，一个第一压力接口设置在连接管道的第一端，其余第一压力接口设置在连接管道的中部；一个第二压力接口设置在连接管道的第二端，其余第二压力接口设置在连接管道的中部。本技术提供的太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置，对PECVD设备进行真空压力计的校准时，将机台端的待校准的压力计卸下，将与机台端接口匹配的一个第一压力接口或第二压力接口连接在机台端，将待校准压力计连接在与其接口匹配的又一个第一压力接口或第二压力接口上，而后，将对比校准用的压力计连接在与其接口匹配的其他的第一压力接口或第二压力接口上，同时，对其他未参与连接的第一压力接口或第二压力接口用堵头密封，通过对比来进行待校准压力计的校准，校准操作简单，校准效率高，并且，校准后可不必将待校准压力计安装回机台端，压力计依旧能够正常使用，不影响氮化硅薄膜的制备，还使得后续的校准作业变得更加方便，解决了压力计校准操作繁琐的问题，适于进行推广应用。附图说明为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例一提供的一种太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置的整体结构示意图；图2为本技术实施例一提供的一种太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置的俯视结构示意图；图3为本技术实施例一提供的一种太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置中的第一压力接口的结构示意图；图4为本技术实施例一提供的一种太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置中的第二压力接口的结构示意图。附图标记：100-第一压力接口；200-第二压力接口；300-连接管道；301-第一连接管道；302-第二连接管道。具体实施方式下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。实施例一：在本实施例的可选方案中，如图1所示，本实施例提供的一种太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置，包括第一压力接口100、第二压力接口200本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置，其特征在于，包括第

【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置，其特征在于，包括第一压力接口(100)、第二压力接口(200)及连接管道(300)；所述第一压力接口(100)的数量为2个以上，其中1个所述第一压力接口(100)设置在所述连接管道(300)的第一端，其余所述第一压力接口(100)设置在所述连接管道(300)的中部；所述第二压力接口(200)的数量为2个以上，其中1个所述第二压力接口(200)设置在所述连接管道(300)的第二端，其余所述第二压力接口(200)设置在所述连接管道(300)的中部。2.根据权利要求1所述的太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置，其特征在于，所述第一压力接口(100)为卡盘法兰接口。3.根据权利要求1所述的太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置，其特征在于，1个所述第一压力接口(100)设置在所述连接管道(300)的第一端，其余所述第一压力接口(100)分别通过第一连接管道(301)连接在所述连接管道(300)的中部。4.根据权利要求3所述的太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置，其特征在于，所述第一连接管道(301)垂直设置在所述连接管道...

【专利技术属性】
技术研发人员：高贵敏，尹恒民，乔勇，谢贤清，
申请(专利权)人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司，阿特斯阳光电力集团有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32