The invention provides a III V solar steam method plating antireflection film, the method comprises the following steps of panels using a narrow scribing knife, cut each side in the process of retaining panels side with no reserve side for the main gate line is non edge, with wide knife on retain the edge knife cut shallow groove, forming a wide groove; the corrosion of CAP layer carrier battery in with corrosive liquid; corrosion end CAP layer battery plating disc in high vacuum coating machine of steam, complete the antireflection film evaporation process; the narrow row knife interrupt handling in the wide groove position, remove the reserved corners to obtain the size of the battery demand. The invention has the advantages that the performance of the three junction solar cell fabricated by the method of the invention and antireflection film after dicing battery was higher than the open circuit voltage, the process can solve the large size thin battery production, effectively improve the efficiency of the battery.
【技术实现步骤摘要】
一种Ⅲ-Ⅴ族太阳电池蒸镀减反射膜的实现方法
本专利技术涉及物理电源
,尤其涉及一种Ⅲ-Ⅴ族太阳电池蒸镀减反射膜的实现方法。
技术介绍
目前,以砷化镓为代表的Ⅲ-Ⅴ族化合物太阳电池是现在空间上应用最为广泛的太阳电池。随着空间探索的不断深入,人们对通讯、导航等功能卫星容量的需求不断提高,将来的空间飞行器应具有更强的电力供应,携带更多的载荷。为满足空间型号对太阳电池阵高功率、低载荷的要求,提高电池阵的布片率,大尺寸薄型电池成为必然的发展趋势。现有砷化镓电池生产工艺中,先进行划片,得到所需尺寸的太阳电池后,再进行腐蚀CAP层和蒸镀减反射膜工艺。但是,对于薄型大面积电池,即厚度低于150μm、面积大于32cm2的砷化镓太阳电池,仅在位于电池主栅线一侧的焊点位置进行固定,不能牢固的将产品固定在真空镀膜机中,容易造成产品移动,产生不合格品;增加固定点会引起电池上膜层缺口,影响产品外观,同时降低电池的转换效率。如果对工艺顺序进行调整,在圆片上直接蒸镀减反射膜之后进行划片,会发现由于后划片造成电池边缘外延层缺陷,引起微短路造成电池开路电压降低,光电转换效率下降。
技术实现思路
本专利技术要解决的问题是提供一种Ⅲ-Ⅴ族太阳电池蒸镀减反射膜的方法,尤其适合于有效解决薄型大尺寸电池的蒸镀减反射膜层且不影响电池性能的方法。为解决上述技术问题,本专利技术采用的技术方案是:一种Ⅲ-Ⅴ族太阳电池蒸镀减反射膜的方法,该方法包括以下步骤,一次划片步骤,使用第一刀具对电池板进行划片,各边划断过程中,保留电池板一边不做处理,保留边为非主栅线所在边,采用第二刀具对保留边进行浅刀切槽处理,形成宽槽 ...
【技术保护点】
一种Ⅲ‑Ⅴ族太阳电池蒸镀减反射膜的实现方法,其特征在于:该方法包括以下步骤,一次划片步骤,使用第一刀具对电池板进行划片,各边划断过程中,保留电池板一边不做处理,保留边为非主栅线所在边,采用第二刀具对保留边进行浅刀切槽处理,形成宽槽;腐蚀CAP层步骤,一次划片步骤后,将电池置于承载器中进行腐蚀CAP层,通过在腐蚀液中彻底腐蚀CAP层后,用去离子水清洗电池表面腐蚀液后,将电池表面干燥处理;蒸镀减反射膜步骤,将腐蚀完CAP层的电池放置在高真空镀膜机的蒸镀盘上,完成减反射膜的蒸镀过程;二次划片步骤,对蒸镀过减反射膜的电池进行划片处理,采用所述第一刀具在所述宽槽部位进行划断处理,除去预留的保留边得到需求尺寸的成品电池。
【技术特征摘要】
1.一种Ⅲ-Ⅴ族太阳电池蒸镀减反射膜的实现方法,其特征在于:该方法包括以下步骤,一次划片步骤,使用第一刀具对电池板进行划片,各边划断过程中,保留电池板一边不做处理,保留边为非主栅线所在边,采用第二刀具对保留边进行浅刀切槽处理,形成宽槽;腐蚀CAP层步骤,一次划片步骤后,将电池置于承载器中进行腐蚀CAP层,通过在腐蚀液中彻底腐蚀CAP层后,用去离子水清洗电池表面腐蚀液后,将电池表面干燥处理;蒸镀减反射膜步骤,将腐蚀完CAP层的电池放置在高真空镀膜机的蒸镀盘上,完成减反射膜的蒸镀过程;二次划片步骤,对蒸镀过减反射膜的电池进行划片处理,采用所述第一刀具在所述宽槽部位进行划断处理,除去预留的保留边得到需求尺寸的成品电池。2.根据权利要求1所述的一种Ⅲ-Ⅴ族太阳电池蒸镀减反射膜的实现方法,其特征在于:所述第一刀具为普通生产工艺刀具,所述第二刀具宽于普通生产工...
【专利技术属性】
技术研发人员:王鑫,杜永超,肖志斌,梁存宝,铁剑锐,
申请(专利权)人:中国电子科技集团公司第十八研究所,天津恒电空间电源有限公司,
类型:发明
国别省市:天津,12
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