一种用于制造多圈码道的光栅码盘的掩膜片制造技术

一种用于制造多圈码道的光栅码盘的掩膜片，其特征在于：包括大圆环和小圆盘，所述大圆环上设有用于同心内嵌小圆盘的沉孔，所述小圆盘叠放在大圆环的沉孔上用于与大圆环可拆式组装，所述大圆环和小圆盘上分别设有外圈码道和内圈码道。该用于制造多圈码道的光栅码盘的掩膜片可采用组合的方式以节省材料并降低成本。

【技术实现步骤摘要】
一种用于制造多圈码道的光栅码盘的掩膜片
本技术涉及光栅码盘制造
，具体涉及一种用于制造多圈码道的光栅码盘的掩膜片。
技术介绍
光栅码盘作为位置检测装置是传动控制的重要组成部分，其作用就是检测位移量，并发出反馈信号与控制装置发出的指令信号相比较，若有偏差，经放大后控制执行部件使其向着消除偏差的方向运动，直至偏差等于零为止。蚀刻法制造光栅码盘具有开发周期短、尺寸修改方便且适用于大批量生产而得到广泛应用。现有的一种利用蚀刻法制造出来的具有多圈码道的光栅码盘的结构如图1所示，包括圆盘1a，所述圆盘1a上设有外圈码道3a和内圈码道4a，所述外圈码道3a由透光区5a和不透光区6a构成，所述内圈码道4a由透光区7a和不透光区8a构成，所述透光区5a,7a即为镂空区，不透光区6a,8a为圆盘实体区。而现有的用于制造光栅码盘的掩膜片也与光栅码盘的形状结构一样，这样当需要制造的光栅码盘的各码道的透光区与不透光区的尺寸参数发生变化时，其掩膜片也需要重新制作，并且每一种规格的光栅码盘需要一个配对使用的掩膜片，导致掩膜片的规格也非常多，从而造成材料浪费和成本增加。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是：提供一种可采用组合的方式以节省材料并降低成本的用于制造多圈码道的光栅码盘的掩膜片。本技术的技术解决方案是：一种用于制造多圈码道的光栅码盘的掩膜片，其特征在于：包括大圆环和小圆盘，所述大圆环上设有用于同心内嵌小圆盘的沉孔，所述小圆盘叠放在大圆环的沉孔上用于与大圆环可拆式组装，所述大圆环和小圆盘上分别设有外圈码道和内圈码道。采用上述结构后，本技术具有以下优点：本技术用于制造多圈码道的光栅码盘的掩膜片将外圈码道设置在大圆环上，将内圈码道设置在小圆盘上，然后将大圆环和小圆盘同心叠放即可形成完整的两圈码道，针对外圈码道的透光区和/或不透光区的宽度D1、D2可设计不同规格的大圆环，同理根据内圈码道的透光区和/或不透光区的宽度D3、D4可设计不同规格的小圆盘，将大圆环和小圆盘相互组装即可形成规格众多的光栅码盘，这样只需规格较少的大圆环和小圆盘即可组装出规格多得多的光栅码盘，从而可节省材料，降低成本。作为优选，还包括设置在小圆盘的外边缘外的至少一定位凸起、以及设置在大圆环上的用于卡接定位凸起的定位卡槽。该设置可使小圆盘定位在大圆环上，且定位结构较为简单。作为优选，所述定位凸起为向外延伸的柱状且中间开叉，以使定位凸起通过弹性形变进入并卡牢在定位卡槽内。该设置可方便通过捏紧定位凸起安装或取下小圆盘，并在释放定位凸起后使小圆盘卡牢在大圆环的定位卡槽内。作为优选，所述内圈码道有139个透光区,其中透光区宽度D1为0.6～0.65MM,不透光区宽度D2为0.6～0.65MM,所述内圈码道的透光区与不透光区的宽度比＝1:1。该设置可很好地满足检测需求。作为优选，所述外圈码道有389个透光区,其中透光区宽度D3为0.08～0.12MM之间,不透光区宽度D4为0.08～0.12MM，所述外圈码道的透光区与不透光区的宽度比＝1:1。该设置可很好地满足检测需求。附图说明图1为现有具有多圈码道的光栅码盘的结构示意图；图2为本技术用于制造多圈码道的光栅码盘的掩膜片的结构示意图；图3为图2中A处的局部放大示意图；图4为本技术大圆环的结构示意图；图5为本技术小圆盘的结构示意图；现有技术图中：1a-圆盘，3a-外圈码道，4a-内圈码道，5a-外圈码道的透光区，6a-外圈码道的不透光区，7a-内圈码道的透光区，8a-内圈码道的不透光区；本技术图中：1-大圆环，2-小圆盘，3-外圈码道，4-内圈码道，5-外圈码道的透光区，6-外圈码道的不透光区，7-内圈码道的透光区，8-内圈码道的不透光区，9-定位凸起，10-定位卡槽，11-开叉，12-沉孔，D1-外圈码道的透光区的宽度，D2-外圈码道的不透光区的宽度，D3-内圈码道的透光区的宽度，D4-内圈码道的不透光区的宽度。具体实施方式下面结合附图，并结合实施例对本技术做进一步的说明。实施例：一种用于制造多圈码道的光栅码盘的掩膜片，包括大圆环1和小圆盘2，所述大圆环1上设有用于同心内嵌小圆盘2的沉孔12，所述小圆盘2叠放在大圆环1的沉孔12上用于与大圆环1可拆式组装，所述大圆环1和小圆盘2上分别设有外圈码道3和内圈码道4。本技术用于制造多圈码道的光栅码盘的掩膜片将外圈码道3设置在大圆环1上，将内圈码道4设置在小圆盘2上，然后将大圆环1和小圆盘2同心叠放即可形成完整的两圈码道，针对外圈码道3的透光区5和/或不透光区的宽度D1、D2可设计不同规格的大圆环1，同理根据内圈码道4的透光区7和/或不透光区的宽度D3、D4可设计不同规格的小圆盘2，将大圆环1和小圆盘2相互组装即可形成规格众多的光栅码盘，这样只需规格较少的大圆环1和小圆盘2即可组装出规格多得多的光栅码盘，从而可节省材料，降低成本。作为优选，还包括设置在小圆盘2的外边缘外的至少一定位凸起9、以及设置在大圆环1上的用于卡接定位凸起9的定位卡槽10。该设置可使小圆盘2定位在大圆环1上，且定位结构较为简单。作为优选，所述定位凸起9为向外延伸的柱状且中间开叉11，以使定位凸起9通过弹性形变进入并卡牢在定位卡槽10内。该设置可方便通过捏紧定位凸起9安装或取下小圆盘2，并在释放定位凸起9后使小圆盘2卡牢在大圆环1的定位卡槽10内。作为优选，所述内圈码道4有139个透光区7,其中透光区7宽度D1为0.6～0.65MM,不透光区8宽度D2为0.6～0.65MM,所述内圈码道4的透光区7与不透光区8的宽度比＝1:1。该设置可很好地满足检测需求。作为优选，所述外圈码道3有389个透光区5,其中透光区5宽度D3为0.08～0.12MM之间,不透光区6宽度D4为0.08～0.12MM，所述外圈码道3的透光区5与不透光区6的宽度比＝1:1。该设置可很好地满足检测需求。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于制造多圈码道的光栅码盘的掩膜片，其特征在于：包括大圆环(1)和小圆盘(2)，所述大圆环(1)上设有用于同心内嵌小圆盘(2)的沉孔(12)，所述小圆盘(2)叠放在大圆环(1)的沉孔(12)上用于与大圆环(1)可拆式组装，所述大圆环(1)和小圆盘(2)上分别设有外圈码道(3)和内圈码道(4)。

【技术特征摘要】
1.一种用于制造多圈码道的光栅码盘的掩膜片，其特征在于：包括大圆环(1)和小圆盘(2)，所述大圆环(1)上设有用于同心内嵌小圆盘(2)的沉孔(12)，所述小圆盘(2)叠放在大圆环(1)的沉孔(12)上用于与大圆环(1)可拆式组装，所述大圆环(1)和小圆盘(2)上分别设有外圈码道(3)和内圈码道(4)。2.根据权利要求1所述的一种用于制造多圈码道的光栅码盘的掩膜片，其特征在于：还包括设置在小圆盘(2)的外边缘外的至少一定位凸起(9)、以及设置在大圆环(1)上的用于卡接定位凸起(9)的定位卡槽(10)。3.根据权利要求2所述的一种用于制造多圈码道的光栅码盘的掩膜片，其特征在于：所述定位凸起(9)为向...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑康定，郑康良，冯小龙，何公明，章惠珍，
申请(专利权)人：宁波康强电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33