一种具有高光提取效率的微结构闪烁体器件制造技术

本发明专利技术涉及一种具有高光提取效率的微结构闪烁体器件，包括：衬底，布置在衬底上的反射层，布置在反射层上的微结构与闪烁体，所述的微结构为网格状结构，所述的闪烁体镶嵌在各网格内并与微结构形成一整体。与现有技术相比，本发明专利技术采用可以降低光谱的形状畸变，有利于保持探测器光谱响应的一致性。

【技术实现步骤摘要】
一种具有高光提取效率的微结构闪烁体器件
本专利技术属于核辐射探测领域，具体涉及一种具有高光提取效率的微结构闪烁体器件，该结构性的闪烁体在辐射探测器中将显著提高闪烁体光输出，进而提升探测系统的灵敏度和信噪比。
技术介绍
高能物理实验、核物理实验及核医学成像系统中闪烁探测系统是非常重要的辐射测量装置，该装置中的核心功能材料就是闪烁体。闪烁体通过吸收高能射线并将其转化为可见光的方式来实现对射线的探测。闪烁体的光输出是直接决定的探测器的效率，光输出由闪烁体的本征光产额和光提取效率共同决定，目前使用的大部分商用闪烁体的本征光产额都经过晶体生长技术的充分优化接近理想值。但由于大部分闪烁体的折射率较大，闪烁光在出射面形成的全反射角较小，导致大部分闪烁光被限制在闪烁体内部无法出射，无法进入探测系统成为有效的闪烁光，严重影响了探测的系统灵敏度和信噪比。因此如何提取这部分被限制在闪烁体内部的光显得十分重要。中国专利ZL201510566362.1公开了一种采用光子晶体微结构，采用此结构可以显著提高闪烁体的光提取效率，从而实现高的光输出。但是周期为波长量级的光子晶体的最大问题在于，其衍射效应，导致光谱畸变本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有高光提取效率的微结构闪烁体器件，其特征在于，该闪烁体器件包括：衬底，布置在衬底上的反射层，布置在反射层上的微结构与闪烁体，所述的微结构为网格状结构，所述的闪烁体镶嵌在各网格内并与微结构形成一整体。

【技术特征摘要】
1.一种具有高光提取效率的微结构闪烁体器件，其特征在于，该闪烁体器件包括：衬底，布置在衬底上的反射层，布置在反射层上的微结构与闪烁体，所述的微结构为网格状结构，所述的闪烁体镶嵌在各网格内并与微结构形成一整体。2.根据权利要求1所述的一种具有高光提取效率的微结构闪烁体器件，其特征在于，所述的网格状结构的折射率小于闪烁体的折射率。3.根据权利要求1所述的一种具有高光提取效率的微结构闪烁体器件，其特征在于，所述的网格状结构对闪烁体发光波长透明。4.根据权利要求1-3中任一项所述的一种具有高光提取效率的微结构闪烁体器件，其特征在于，所述的网格状结构为呈正方形周期的格子，格子的边长为10-50μm，网格线条的宽度为0.5-1μm，高度为0.5-5μm。5.根据权利要求1-3中任一项所述的一种具有高光提取效率的微结构闪烁体器件，其特征在于，所述的微结构的材料为AlF3，MgF2或Si...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘波，程传伟，张娟楠，顾牡，陈鸿，刘金良，陈亮，欧阳晓平，
申请(专利权)人：同济大学，
类型：发明
国别省市：上海,31