蚀刻废液的回收技术及其装置制造方法及图纸

本发明专利技术主要利用薄膜电极沉积法（Ｍｅｍｂｒａｎｅ　Ｅｌｅｃｔｒｏｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）处理含有铜离子的氯化铁的蚀刻废液。将氯化铁蚀刻废液置于阴极室中，其中的氯化铁完全转化为氯化亚铁后，铜离子于阴极上沉积为铜，以机械力将阴极上的铜屑刮下，铜屑随氯化亚铁溶液经过滤机将铜屑滤出。铜离子完全于阴极沉积除尽后，将所滤出的氯化亚铁溶液导入阳极室中。其氯化亚铁的亚铁离子于阳极室形成氯化铁，可再回收使用为蚀刻液。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种蚀刻废液的回收技术，以薄膜电极沉积法处理含有氯化铁的蚀刻废液；其特征在于：该含有氯化铁的蚀刻废液置放于阴极室中，并可将蚀刻废液中的铜回收，并将阴极室所滤出的氯化亚铁以及盐酸导入阳极室中，其氯化亚铁则于阳极室而形成氯化铁，而副槽室中盐酸的氯离子则经由阴离子薄膜朝阳极室移动，盐酸的氢离子则经由阳离子薄膜朝阴极室移动。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：郑文锋，熊祖德，孙尚培，
申请(专利权)人：先丰通讯股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]