一种灯丝结构、工件清洗设备及真空镀膜设备制造技术

一种灯丝结构，包括灯丝、上连接轴、下连接轴、上轴承、下轴承及第一连接头，所述上连接轴穿过上轴承，所述下连接轴与下轴承连接，所述灯丝连接于上连接轴与下连接轴之间，所述第一连接头与下连接轴电性连接，所述下连接轴与灯丝电性连接。如此取消了线缆的电位连接方式及壳体开孔，因此无需开孔、完全封闭，氩气、离子和电子不会泄露，避免了氩气浪费、环境污染及安全事故。本实用新型专利技术还提供了一种工件清洗设备及一种真空镀膜设备。

【技术实现步骤摘要】
一种灯丝结构、工件清洗设备及真空镀膜设备
本技术涉及材料制作领域，特别是一种灯丝结构、工件清洗设备及真空镀膜设备。
技术介绍
溅射法制作纳米材料的方式有：磁控溅射、偏压溅射及反应溅射等。其中磁控溅射的原理为：电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的氩离子和电子，电子飞向基片。氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子沉积在基片或工件上成膜。二次电子在加速飞向基片的过程中受到磁场洛仑磁力的影响，被束缚在靠近靶面的等离子体区域内，该区域内等离子体密度很高，二次电子在磁场的作用下围绕靶面作圆周运动。工件有时需要用高速电子进行清洗，工件清洗设备的灯丝、基板及壳体需设置为不同的电位，以形成一定的电压差，从而引导电子的移动方向。现有的电位的维持方式为：在设备的壳体上开设一个通孔，线缆从该通孔伸入到壳体内，并分别与灯丝、基板及壳体连接，以维持电压差。由于壳体内填充有氩气等气体，在壳体上开孔可能导致氩气泄露，电子有可能从该通孔中溢出，造成氩气浪费、环境污染及安全事故。另有一种真空镀膜设备，其灯丝、基板及壳体需设置为不同的电位，以形成一定的电压差，从而引导电子的移动方向。现有的电位的维持方式为：在设备的壳体上开设一个通孔，线缆从该通孔伸入到壳体内，并分别与灯丝、基板及壳体连接，以维持电压差。由于壳体内填充有氩气等气体，在壳体上开孔可能导致氩气泄露，电子有可能从该通孔中溢出，造成氩气浪费、环境污染及安全事故。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供了一种无需开孔、完全封闭，氩气和电子不会泄露的灯丝结构、工件清洗设备及真空镀膜设备，以解决上述问题。一种灯丝结构，包括灯丝、上连接轴、下连接轴、上轴承、下轴承及第一连接头，所述上连接轴穿过上轴承，所述下连接轴与下轴承连接，所述灯丝连接于上连接轴与下连接轴之间，所述第一连接头与下连接轴电性连接，所述下连接轴与灯丝电性连接。进一步地，所述灯丝结构还包括转动环、遮挡板、驱动装置、第一齿轮及第二齿轮，所述转动环转动套设于下连接轴上，所述遮挡板呈弧形围绕灯丝设置，所述遮挡板的下端与转动环连接，所述转动环与第二齿轮平行且同轴固定设置，所述第二齿轮与第一齿轮啮合，所述第一齿轮固定于驱动装置的输出轴上。进一步地，所述灯丝结构还包括第二连接头，所述第二连接头通过固定轴与遮挡板电性连接。进一步地，所述驱动装置设置于固定板上，所述下轴承与固定板固定连接。本技术还提供一种工件清洗设备，具有上述的灯丝结构，所述工件清洗设备还包括壳体及基板，所述灯丝、基板均位于壳体内，所述上轴承穿过壳体的顶部，所述下连接轴穿过壳体的底部，所述基板设置于壳体的顶部与壳体的底部之间。进一步地，所述灯丝的上端通过上连接件与上连接轴连接，下端通过下连接件与下连接轴连接。进一步地，所述上连接件的上端与上连接轴连接，下端与灯丝的上端连接，下连接件的下端与下连接轴连接，上端与灯丝的下端连接，灯丝的上端与第一螺钉固定连接，并部分地缠绕在第二螺钉上，第一螺钉及第二螺钉均与上连接件螺纹连接。进一步地，所述上连接件的上端与上连接轴连接，下端与灯丝的上端连接，下连接件的下端与下连接轴连接，上端与灯丝的下端连接，灯丝的下端与第一螺钉固定连接，并部分地缠绕在第二螺钉上，第一螺钉及第二螺钉均与下连接件螺纹连接。本技术还提供一种真空镀膜设备，具有上述的灯丝结构，所述真空镀膜设备还包括壳体及基板，所述灯丝、基板均位于壳体内，所述上轴承穿过壳体的顶部，所述下连接轴穿过壳体的底部，所述基板设置于壳体的顶部与壳体的底部之间。与现有技术相比，本技术的灯丝结构、工件清洗设备及真空镀膜设备取消了线缆的电位连接方式及壳体开孔，因此无需开孔、完全封闭，氩气和电子不会泄露，避免了氩气浪费、环境污染及安全事故。附图说明以下结合附图描述本技术的实施例，其中：图1为本技术的工件清洗设备或真空镀膜设备的侧面局部剖视图。图2为图1中A部分地放大示意图。图3为图1中的护板、遮挡板及灯丝的相对位置关系的俯视示意图。图4为图1中的护板、遮挡板及灯丝处于另一状态时的示意图。具体实施方式以下基于附图对本技术的具体实施例进行进一步详细说明。应当理解的是，此处对本技术实施例的说明并不用于限定本技术的保护范围。请参考图1及图2，其为本技术实施例提供的工件清洗设备或真空镀膜设备的侧面示意图。本技术实施例提供的工件清洗设备或真空镀膜设备包括壳体110、基板(图未示)及灯丝结构。灯丝结构包括灯丝130、护板120、遮挡板140、上固定块161、下固定块162、转动环150、上连接轴171、下连接轴172、上轴承181、下轴承182、驱动装置210、第一齿轮220、第二齿轮230、第一连接头310及第二连接头320。护板120、灯丝130、遮挡板140、上固定块161、下固定块162均位于壳体110内。上连接轴171穿过上轴承181，上轴承181穿过壳体110的顶部且与壳体110紧密连接。下连接轴172与下轴承182连接，下连接轴172穿过壳体110的底部。灯丝130连接于上连接轴171与下连接轴172之间。本实施方式中，灯丝130通过上连接件132与上连接轴171连接，通过下连接件134与下连接轴172连接。上连接件132的上端与上连接轴171连接，下端与灯丝130的上端连接。灯丝130的上端与第一螺钉固定连接，并部分地缠绕在第二螺钉上。第一螺钉及第二螺钉均与上连接件132螺纹连接。下连接件134的下端与下连接轴172连接，上端与灯丝130的下端连接。通过旋转第一螺钉可调节灯丝130的张紧度。其他实施方式中，第一螺钉及第二螺钉也可设置于下连接件134上。护板120设置于壳体110的顶部与壳体110的底部之间。护板120为一弧形板，其圆心位于灯丝130上，即护板120呈弧形围绕灯丝130设置。护板120的上端通过上固定块161与壳体110的顶部固定连接，下端通过下固定块162与壳体110的底部固定连接。转动环150转动套设于下连接轴172上。遮挡板140为一下端固定于转动环150上的弧形板，其圆心位于灯丝130上，即遮挡板140呈弧形围绕灯丝130设置。遮挡板140的上端与上固定块161抵接，下端与转动环150固定连接。遮挡板140距离灯丝130的外径，小于护板120距离灯丝130的内径，如图3所示。本实施方式中，上固定块161朝向灯丝130的一侧设有弧形的绝缘块1612，遮挡板140的上端与绝缘块1612抵接。转动环150与第二齿轮230平行且同轴设置，并通过固定轴190固定连接。第二齿轮230与第一齿轮220啮合，第一齿轮220固定于驱动装置210的输出轴上。本实施方式中，驱动装置210为电机或气缸。驱动装置210设置于固定板240上，固定板240与壳体110的底部连接。下轴承182与固定板240固定连接。第一连接头310与下连接轴172电性连接，下连接轴172通过下连接件134与灯丝130电性连接。第二连接头320与固定轴190电性连接，固定轴190与遮挡板140电性连接。通电后，灯丝130及第一连接头310具有第一电位，遮挡板140及第二连接头320具有第二电位，基板上具有第三电位，壳本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种灯丝结构，其特征在于：所述灯丝结构包括灯丝、上连接轴、下连接轴、上轴承、下轴承及第一连接头，所述上连接轴穿过上轴承，所述下连接轴与下轴承连接，所述灯丝连接于上连接轴与下连接轴之间，所述第一连接头与下连接轴电性连接，所述下连接轴与灯丝电性连接。

【技术特征摘要】
1.一种灯丝结构，其特征在于：所述灯丝结构包括灯丝、上连接轴、下连接轴、上轴承、下轴承及第一连接头，所述上连接轴穿过上轴承，所述下连接轴与下轴承连接，所述灯丝连接于上连接轴与下连接轴之间，所述第一连接头与下连接轴电性连接，所述下连接轴与灯丝电性连接。2.如权利要求1所述的灯丝结构，其特征在于：所述灯丝结构还包括转动环、遮挡板、驱动装置、第一齿轮及第二齿轮，所述转动环转动套设于下连接轴上，所述遮挡板呈弧形围绕灯丝设置，所述遮挡板的下端与转动环连接，所述转动环与第二齿轮平行且同轴固定设置，所述第二齿轮与第一齿轮啮合，所述第一齿轮固定于驱动装置的输出轴上。3.如权利要求2所述的灯丝结构，其特征在于：所述灯丝结构还包括第二连接头，所述第二连接头通过固定轴与遮挡板电性连接。4.如权利要求2所述的灯丝结构，其特征在于：所述驱动装置设置于固定板上，所述下轴承与固定板固定连接。5.一种工件清洗设备，其特征在于：具有如权利要求1-4任一项所述的灯丝结构，所述工件清洗设备还包括壳体及基板，所述灯丝、基板均位于壳体内，所述上轴承穿过壳体的顶...

【专利技术属性】
技术研发人员：毕凯，
申请(专利权)人：嘉兴岱源真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33