用于检测热阵列系统电磁阀异常的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种用于检测热阵列系统的电磁阀异常的装置，包括：经由气路依次连接的气源开关、压力计、流量计，气路的入气口与外部气源相连，气路的出气口与热阵列系统的制冷剂输入管道相连通；与热阵列系统的制冷剂输出管道相连通的输出控制阀；电磁阀开度调整机构，用于调整热阵列系统中的电磁阀的开度；以及异常检测机构，与压力计和流量计电连接，用于基于在规定的测试工作状态下压力计检测的气体压力值和流量计检测的气体流量值来确定热阵列系统的电磁阀是否异常，其中，所述规定的测试工作状态由气源开关和输出控制阀的打开/关闭以及电磁阀的开度来确定。利用该装置，可以实现对热阵列系统中的电磁阀的异常检测。

【技术实现步骤摘要】
用于检测热阵列系统电磁阀异常的装置
本技术通常涉及热阵列系统异常检测领域，更具体地，涉及用于检测热阵列系统电磁阀异常的装置。
技术介绍
在半导体制造和测试领域，通常会采用热阵列系统来检查所制造出的半导体芯片是否合格。热阵列系统是老化测试平台中非常重要的部件，它的主要功能就是在老化测试时将温度控制在设定的温度范围内。该热阵列系统的控制温度范围为85℃到135℃，最大功率为200W，以及响应控制时间<500ms。在进行半导体合格性检查测试时，会发生由于热阵列系统中的组件异常而导致的半导体合格性误报。为了防止出现上述误报，在进行半导体合格性检查测试之前，需要对热阵列系统进行异常检查。图1A示出了热阵列系统的外观示意图，图1B和图1C示出了热阵列系统的内部结构剖面图。如图1A、图1B和图1C所示，热阵列系统包括控制卡11、制冷剂输入管道12、制冷剂输出管道13、电磁阀14、蒸发器15、气囊16(粗略气囊16-1和精细气囊16-2)和弹簧17等组件。在上述组件中，控制卡11为热阵列系统的大脑，用于控制热阵列系统的各个部件工作，根据测试单元的反馈来计算出适当的电磁阀开关量，以及控制制冷剂的流量大小。制冷剂输入管道12和制冷剂输出管道13用于制冷剂的输入输出，从而形成一个制冷剂流动回路。电磁阀14用于控制制冷剂的流量大小，电磁阀14的控制信号由控制卡11提供。蒸发器15的外观为一个正方形的铜块，在蒸发器15内部分布有直径为0.1mm的管道，其主要功能是接触测试单元，导出测试单元的热量，并由蒸发器内部的制冷剂带走，从而起到温度控制的作用。热阵列系统分为上下两部分，上半部分固定于老化测试平台上，下半部分可以上下移动，悬在上半部分的下部。两个部分是通过例如10根弹簧17连接在一起。这10根弹簧起着托起热阵列系统的下半部分的作用。气囊16是指热阵列系统内部的气囊。在气囊16被打开时，使得热阵列系统中的蒸发器15紧密贴合测试单元，以便于蒸发器15控制测试单元的测试温度。在上述组件中，电磁阀14是整个热阵列系统中非常重要的部件。在日常生产中电磁阀14经常会失效。如果电磁阀14失效，则会导致制冷剂不能顺利通过蒸发器15，从而使得测试单元的温度超出控制范围。由此，需要一种用于检测热阵列系统电磁阀异常的装置。
技术实现思路
鉴于上述，本技术提供了一种用于检测热阵列系统电磁阀异常的装置。根据本技术的一个方面，提供了一种用于检测热阵列系统的电磁阀异常的装置，包括：经由气路依次连接的气源开关、压力计、流量计，所述气路的入气口与外部气源相连，所述气路的出气口与所述热阵列系统的制冷剂输入管道相连通；与所述热阵列系统的制冷剂输出管道相连通的输出控制阀；电磁阀开度调整机构，用于调整所述热阵列系统中的电磁阀的开度；以及异常检测机构，与所述压力计和所述流量计电连接，用于基于在规定的测试工作状态下所述压力计检测的气体压力值和所述流量计检测的气体流量值来确定所述热阵列系统的电磁阀是否异常，其中，所述规定的测试工作状态由所述气源开关和所述输出控制阀的打开/关闭以及所述电磁阀的开度来确定。优选地，在一个示例中，所述装置还可以包括：控制器，与所述气源开关、所述输出控制阀和所述电磁阀开度调整机构电连接，用于控制所述气源开关、所述输出控制阀和所述电磁阀开度调整机构来实现规定的测试工作状态。优选地，在一个示例中，所述装置还可以包括：第一计时器，与所述气源开关电连接，用于对所述气源开关被打开时起的经过时间进行计时；以及第二计时器，与所述气源开关电连接，用于对所述气源开关被关闭时起的经过时间进行计时。优选地，在一个示例中，所述第一计时器经由所述控制器与所述气源开关和所述流量计电连接，以及所述第二计时器经由所述控制器与所述气源开关和所述压力计电连接。优选地，在一个示例中，所述异常检测机构可以包括：存储器，用于存储多个气体流量参考值和多个气体压力参考值，其中，每个气体流量参考值或每个气体压力参考值与一种规定的测试工作状态对应；参考值获取机构，与所述存储器电连接，用于获取与各个测试工作状态对应的气体流量参考值或气体压力参考值；流量匹配器，用于将所测量的各个气体流量值与对应的气体流量参考值进行匹配；压力匹配器，用于将所测量的气体压力值与对应的气体压力参考值进行匹配；以及检测器，用于基于所述流量匹配器和所述压力匹配器的匹配结果来确定所述热阵列系统的电磁阀是否异常。优选地，在一个示例中，所述装置还可以包括：通知单元，与所述异常检测机构电连接，用于向用户通知所述异常检测机构的异常检测结果。优选地，在一个示例中，所述异常检测机构还可以包括：历史数据库，用于存储在各种测试工作状态下的历史气体流量测量值和历史气体压力测量值与异常详细信息之间的对应关系表，以及在确定所述热阵列系统的电磁阀异常时，所述异常检测机构还基于所检测的气体压力值和所检测的气体流量值以及所述对应关系表，确定所述异常详细信息。优选地，在一个示例中，所述对应关系表中还包含与所述异常详细信息对应的异常解决方案，所述装置还可以包括：异常解决方案确定机构，与所述异常检测机构相连，用于确定与所述异常详细信息对应的异常解决方案。利用本技术的装置，通过测量气路在测试工作状态下的气体压力值以及气体流量值，并且将所测量的气体压力值和气体流量值与气体压力参考值和气体流量参考值进行比较来确定热阵列系统电磁阀是否异常，可以实现对热阵列系统电磁阀的异常检测。利用本技术的装置，通过进一步设置第一计时器和第二计时器，并分别基于第一计时器的计时和第二计时器的计时来控制流量计和压力计的测量时机，由此可以提高异常检测的精确性。利用本技术的装置，通过利用控制器来控制气源开关的打开/关闭以及压力计和流量计的测量，可以实现对热阵列系统气囊的自动异常检测，而无需人工处理。利用本技术的装置，通过在异常检测机构中设置历史数据库，除了能够确定电磁阀是否异常之外，还可以确定更为具体的异常详细信息。利用本技术的装置，通过在历史数据库的对应关系表中还存储与异常详细信息对应的异常解决方案，还可以基于所确定的异常详细信息来获得异常解决方案。附图说明通过参照下面的附图，可以实现对于本公开内容的本质和优点的进一步理解。在附图中，类似组件或特征可以具有相同的附图标记。图1A示出了热阵列系统的外观图；图1B和图1C示出了热阵列系统的内部结构剖面图；图2示出了根据本技术的热阵列系统电磁阀异常检测装置的一个示例的框图；图3示出了根据本技术的测试工作状态的表格；图4示出了图2中的异常检测机构的一个实现示例的框图；图5示出了根据本技术的热阵列系统电磁阀异常检测装置的另一示例的框图；和图6示出了根据本技术的热阵列系统电磁阀异常检测装置的另一示例的框图。具体实施方式现在将参考示例实施方式讨论本文描述的主题。应该理解，讨论这些实施方式只是为了使得本领域技术人员能够更好地理解从而实现本文描述的主题，并非是对权利要求书中所阐述的保护范围、适用性或者示例的限制。可以在不脱离本公开内容的保护范围的情况下，对所讨论的元素的功能和排列进行改变。各个示例可以根据需要，省略、替代或者添加各种过程或组件。另外，相对一些示例所描述的特征在其它例子中本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于检测热阵列系统电磁阀异常的装置，其特征在于，所述装置包括：经由气路依次连接的气源开关、压力计、流量计，所述气路的入气口与外部气源相连，所述气路的出气口与所述热阵列系统的制冷剂输入管道相连通；与所述热阵列系统的制冷剂输出管道相连通的输出控制阀；电磁阀开度调整机构，用于调整所述热阵列系统中的电磁阀的开度；以及异常检测机构，与所述压力计和所述流量计电连接，用于基于在规定的测试工作状态下所述压力计检测的气体压力值和所述流量计检测的气体流量值来确定所述热阵列系统的电磁阀是否异常，其中，所述规定的测试工作状态由所述气源开关和所述输出控制阀的打开/关闭以及所述电磁阀的开度来确定。

【技术特征摘要】
1.一种用于检测热阵列系统电磁阀异常的装置，其特征在于，所述装置包括：经由气路依次连接的气源开关、压力计、流量计，所述气路的入气口与外部气源相连，所述气路的出气口与所述热阵列系统的制冷剂输入管道相连通；与所述热阵列系统的制冷剂输出管道相连通的输出控制阀；电磁阀开度调整机构，用于调整所述热阵列系统中的电磁阀的开度；以及异常检测机构，与所述压力计和所述流量计电连接，用于基于在规定的测试工作状态下所述压力计检测的气体压力值和所述流量计检测的气体流量值来确定所述热阵列系统的电磁阀是否异常，其中，所述规定的测试工作状态由所述气源开关和所述输出控制阀的打开/关闭以及所述电磁阀的开度来确定。2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：控制器，与所述气源开关、所述输出控制阀和所述电磁阀开度调整机构电连接，用于控制所述气源开关、所述输出控制阀和所述电磁阀开度调整机构来实现规定的测试工作状态。3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：第一计时器，与所述气源开关电连接，用于对所述气源开关被打开时起的经过时间进行计时；以及第二计时器，与所述气源开关电连接，用于对所述气源开关被关闭时起的经过时间进行计时。4.如权利要求3所述的装置，其特征在于，所述第一计时器经由所述控制器与所述气源开关和所述流量计电连接，以及所述第二计时器经由所述控制器与所述气源开关和所述压力计电连接。5.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：周伟，
申请(专利权)人：英特尔产品成都有限公司，英特尔公司，
类型：新型
国别省市：四川,51