一种坩埚制造技术

技术编号:18067557 阅读:31 留言:0更新日期:2018-05-30 22:44
本实用新型专利技术公开了一种坩埚,包括:具有埚口的埚体;埚盖,盖装在埚口处、并通过螺栓与埚体锁紧连接在一起;和可发生热膨胀的金属件,设置于埚体和埚盖之间,并在受热时通过自身膨胀来消除埚体和埚盖之间的缝隙。本实用新型专利技术提供的坩埚,埚体和埚盖之间设置有可发生热膨胀的金属件,金属件在受热时通过自身的膨胀来挤压埚体和埚盖,以此来消除埚体和埚盖之间的缝隙,使得埚体和埚盖更好地实现密封,避免出现泄漏的问题,防止宕机;另外坩埚在锁紧螺栓时螺栓的锁紧力也不需要特别大,更方便于组装,同时还能够减少埚盖与螺帽因旋紧挤压而带来的磨损,而蒸镀时螺栓会通过金属件的膨胀对锁紧力进行提升补偿、来保证密封,其实用性更好。

【技术实现步骤摘要】
一种坩埚
本文涉及但不限于蒸镀技术,尤指一种坩埚。
技术介绍
现有的坩埚包括埚体和埚盖,埚体和埚盖均呈矩形状,坩埚的任一侧边上均锁紧有多个螺栓,螺栓用于锁紧埚体和埚盖在一起。由于坩埚的使用温度较高,故在埚体和埚盖之间不能设置诸如硅胶、橡胶等的密封垫进行密封,当前采用的密封方式为:埚体的口沿的平面与埚盖的下端面相压紧实现密封,这就要求螺栓的锁紧力较大。其中,螺栓的螺帽直接抵压在埚盖上,当用力拧螺栓时,螺栓的螺帽与埚盖产生摩擦,随着拆装次数的增加,螺栓会将埚盖上的穿插孔(圆形状)的上端面压凹陷而向穿插孔内侧凸起(穿插孔的孔壁发生变形而呈非圆形状),此种情况下螺栓不容易完全穿过穿插孔,也就是螺旋不能在埚体上旋紧到位,这时埚体和埚盖之间就会出现缝隙而导致泄漏,进而发生宕机问题。
技术实现思路
为了解决上述技术问题中的至少之一,本文提供了一种坩埚,能够更好地封堵住埚体和埚盖之间的缝隙,避免随着拆装次数的增加而在埚体和埚盖之间出现泄漏的问题,其实用性更好。为了达到本文目的,本技术提供了一种坩埚,包括:具有埚口的埚体;埚盖,盖装在所述埚口处、并通过螺栓与所述埚体锁紧连接在一起;和可发生热膨胀的金属件,设置于所述埚体和所述埚盖之间,并在受热时通过自身膨胀来消除所述埚体和所述埚盖之间的缝隙。可选地,所述埚体上设置有容纳槽,所述埚盖同时还覆盖所述容纳槽的槽口,所述金属件位于所述容纳槽内;其中,所述金属件受热膨胀时同时压紧所述容纳槽的槽壁和所述埚盖。可选地,所述金属件和所述容纳槽均呈环形状。可选地,所述金属件与所述埚盖为一体式结构。可选地,所述埚盖上设置有T形的插槽,所述埚体的外侧面上凸出有两插筋,所述埚体通过两所述插筋可推拉地插装于所述插槽内,所述金属件位于所述插筋和所述插槽的槽壁之间;其中,所述金属件受热膨胀时同时压紧所述插筋和所述插槽的槽壁。可选地,所述埚口位于所述埚体的上部,所述金属件设置于所述插筋的下端面与所述插槽的槽壁之间;其中,所述金属件受热膨胀时同时压紧所述插筋和所述插槽的槽壁,以使得所述埚口的口沿压紧在所述埚盖的下端面上。可选地,所述金属件上设置有供所述螺栓穿过的通孔。可选地,所述坩埚还包括:金属垫片,设置于所述螺栓的螺帽和所述埚体之间。可选地,所述埚体和所述埚盖均呈矩形状,所述金属垫片呈长条形状。可选地,所述金属件的材质为铝合金,所述金属垫片的材质为白钢。与现有技术相比,本技术提供的坩埚,埚体和埚盖之间设置有可发生热膨胀的金属件,金属件在受热时通过自身的膨胀来挤压埚体和埚盖,以此来消除埚体和埚盖之间的缝隙,使得埚体和埚盖更好地实现密封,避免出现泄漏的问题,防止宕机;另外坩埚在锁紧螺栓时螺栓的锁紧力也不需要特别大,更方便于组装,同时还能够减少埚盖与螺帽因旋紧挤压而带来的磨损,而蒸镀时螺栓会通过金属件的膨胀对锁紧力进行提升补偿、来保证密封,其实用性更好。而且,坩埚在冷却后进行拆卸时,金属件也因冷却而收缩,螺栓的螺帽受到的推力减小,更容易拧松拆卸下来。本文的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述,并且,部分地从说明书中变得显而易见,或者通过实施本文而了解。本文的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。附图说明附图用来提供对本文技术方案的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本申请的实施例一起用于解释本文的技术方案,并不构成对本文技术方案的限制。图1为本技术一个实施例所述的坩埚的结构示意图;图2为本技术另一个实施例所述的坩埚的结构示意图;图3为本技术再一个实施例所述的坩埚的结构示意图;图4为图2所示的坩埚中金属垫片的结构示意图。其中,图1至图4中附图标记与部件名称之间的对应关系为:1埚体,2埚盖,3螺栓,4金属件,5容纳槽,6插槽,7插筋,8金属垫片,9连接管嘴。具体实施方式为使本文的目的、技术方案和优点更加清楚明白,下文中将结合附图对本文的实施例进行详细说明。需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互任意组合。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本文,但是,本文还可以采用其他不同于在此描述的方式来实施,因此,本文的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。下面结合附图描述本文一些实施例的坩埚。本技术提供的坩埚,如图1至图3所示,包括:具有埚口的埚体1;埚盖2,盖装在所述埚口处、并通过螺栓3与所述埚体1锁紧连接在一起;和可发生热膨胀的金属件4,设置于所述埚体1和所述埚盖2之间,并在受热时通过自身膨胀来消除所述埚体1和所述埚盖2之间的缝隙。本技术提供的坩埚,埚体1和埚盖2之间设置有可发生热膨胀的金属件4,金属件4在受热时通过自身的膨胀来挤压埚体1和埚盖2,以此来消除埚体1和埚盖2之间的缝隙,使得埚体1和埚盖2更好地实现密封,避免在蒸镀时发生泄漏,防止出现宕机问题;另外坩埚在锁紧螺栓3时螺栓3的锁紧力也不需要特别大,更方便于组装,同时还能够减少埚盖2与螺帽因旋紧挤压而带来的磨损,而蒸镀时螺栓会通过金属件4的膨胀对锁紧力进行提升补偿、来保证密封,其实用性更好。而且,坩埚在冷却后进行拆卸时,金属件4也因冷却而收缩,会减少对埚体1和埚盖2的挤压力,螺栓3的螺帽受到的推力减小,更容易拧松拆卸下来。本技术的一个实施例中,如图1和图2所示,所述埚体1上设置有容纳槽5,所述埚盖2同时还覆盖所述容纳槽5的槽口,所述金属件4位于所述容纳槽5内;其中,所述金属件4受热膨胀时同时压紧所述容纳槽5的槽壁和所述埚盖2,对埚盖2的下表面和埚体1的埚口的口沿之间的缝隙进行封堵,避免蒸镀时在该缝隙处发生泄漏,更好地确保蒸镀工艺正常进行,防止出现宕机问题,容纳槽5的深度优选为5mm、6mm或7mm。具体地,埚体1的埚口朝上,容纳槽5设置在埚口的口沿上,埚盖2盖装在埚体1上、并同时覆盖容纳槽5,金属件4设置于容纳槽5内,然后再旋紧好螺栓3。金属件4和容纳槽5均呈环形状,金属件4受热后发生膨胀,胀满容纳槽5,金属件4的上端因膨胀而压紧在埚盖2的下端面上,以此种方式实现封堵住埚体1和埚盖2之间的缝隙。当然,金属件4与埚盖2也可以设置为一体式结构,也可实现本申请的目的,其宗旨未脱离本技术的设计思想,在此不再赘述,也应属于本申请的保护范围内。本技术的另一个实施例中,如图3所示,所述埚盖2上设置有T形的插槽6,所述埚体1的外侧面上凸出有两插筋7,所述埚体1通过两所述插筋7可推拉地插装于所述插槽6内,所述金属件4位于所述插筋7和所述插槽6的槽壁之间;其中,所述金属件4受热膨胀时同时压紧所述插筋7和所述插槽6的槽壁,以此来消除所述埚体1和所述埚盖2之间的缝隙。如:埚口位于埚体1的上部,金属件4呈板状、并覆盖在埚体1的埚口处(此方案图中未示出),金属件4受热时膨胀而压紧在埚体1的口沿和埚盖2的下端面之间,以此种方式来封堵埚体1和埚盖2之间的缝隙。还可以是:如图3所示,所述埚口位于所述埚体1的上部,所述金属件4呈长条形状、且设置于所述插筋7的下端面与所述插槽6的槽壁之间;其中,所述金属件4受热膨胀时同时压紧所述插筋7和所述插槽6的槽壁,以使得所述埚口的口沿压紧在所述埚盖2的下端面上,实现消除所述埚体1和所述埚盖2之间的缝隙,防止在蒸镀时出本文档来自技高网...
一种坩埚

【技术保护点】
一种坩埚,其特征在于,包括:具有埚口的埚体;埚盖,盖装在所述埚口处、并通过螺栓与所述埚体锁紧连接在一起;和可发生热膨胀的金属件,设置于所述埚体和所述埚盖之间,并在受热时通过自身膨胀来消除所述埚体和所述埚盖之间的缝隙。

【技术特征摘要】
1.一种坩埚,其特征在于,包括:具有埚口的埚体;埚盖,盖装在所述埚口处、并通过螺栓与所述埚体锁紧连接在一起;和可发生热膨胀的金属件,设置于所述埚体和所述埚盖之间,并在受热时通过自身膨胀来消除所述埚体和所述埚盖之间的缝隙。2.根据权利要求1所述的坩埚,其特征在于,所述埚体上设置有容纳槽,所述埚盖同时还覆盖所述容纳槽的槽口,所述金属件位于所述容纳槽内;其中,所述金属件受热膨胀时同时压紧所述容纳槽的槽壁和所述埚盖。3.根据权利要求2所述的坩埚,其特征在于,所述金属件和所述容纳槽均呈环形状。4.根据权利要求2所述的坩埚,其特征在于,所述金属件与所述埚盖为一体式结构。5.根据权利要求1所述的坩埚,其特征在于,所述埚盖上设置有T形的插槽,所述埚体的外侧面上凸出有两插筋,所述埚体通过两所述插筋可推拉地插装于所述插槽内,...

【专利技术属性】
技术研发人员:薛建成关立伟
申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
类型:新型
国别省市:北京,11

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