一种大视场样本厚度测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种大视场样本厚度测量装置，包括依次排列设置的光源、散射板、滤光片、成像镜头和相机，在进行样本厚度测量时，样本放置在所述滤光片和成像镜头之间。本实用新型专利技术一种大视场样本厚度测量装置利用光在均匀介质中传输，其出射光强度遵循比尔—朗伯定律，并根据比尔—朗伯定律计算出样本的厚度；本实用新型专利技术结构简单，可以针对光学玻璃、薄膜等均匀性透射器件，基于透过率检测，可实现大视场内样本的厚度测量，针对厚度为毫米级的样本，测量精度可达到亚微米量级。

【技术实现步骤摘要】
一种大视场样本厚度测量装置
本技术涉及光学器件厚度测量装置，具体涉及一种大视场样本厚度测量装置。
技术介绍
现有的光学器件厚度的测量装置较为复杂，成本高，且测量精度不高。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种结构简单、测量精度高的大视场样本厚度测量装置。本技术解决上述技术问题的技术方案如下：一种大视场样本厚度测量装置，包括依次排列设置的光源、散射板、滤光片、成像镜头和相机，在进行样本厚度测量时，样本放置在所述滤光片和成像镜头之间。在上述技术方案的基础上，本技术还可以做如下改进。进一步，所述光源为LED白光源。进一步，所述样本为均匀性透射器件。进一步，所述均匀性透射器件具体为光学玻璃或薄膜。进一步，所述光学玻璃或薄膜的厚度为毫米级。进一步，所述样本为光谱透过率已知的样本。进一步，还包括用于测量所述样本的光谱透过率的光谱仪。进一步，所述样本的光谱透过率与所述滤光片的波段相匹配。本技术的有益效果是：本技术一种大视场样本厚度测量装置利用光在均匀介质中传输，其出射光强度遵循比尔—朗伯定律，并根据比尔—朗伯定律计算出样本的厚度；本技术结构简单，可以针对光学玻璃、薄膜等均匀性透射器件，基于透过率检测，可实现大视场内样本的厚度测量，针对厚度为毫米级的样本，测量精度可达到亚微米量级。附图说明图1为本技术一种大视场样本厚度测量装置的结构示意图。具体实施方式以下结合附图对本技术的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本技术，并非用于限定本技术的范围。如图1所示，一种大视场样本厚度测量装置，包括依次排列设置的光源、散射板、滤光片、成像镜头和相机，在进行样本厚度测量时，样本放置在所述滤光片和成像镜头之间。具体的：所述光源为LED白光源。LED光源和散射板可以产生均匀的照明。所述样本为均匀性透射器件。所述均匀性透射器件具体为光学玻璃或薄膜。所述光学玻璃或薄膜的厚度为毫米级。所述样本为光谱透过率已知的样本；或者本技术还包括用于测量所述样本的光谱透过率的光谱仪。所述样本的光谱透过率与所述滤光片的波段相匹配。在本具体实施例中，针对待测样本，使用光谱仪测量其光谱透过率，选择光谱透过率比较小对应的波段，选择该波段对应的滤光片。本技术一种大视场样本厚度测量装置的测量步骤如下：第一步，按照如图1所示放置样本，调节成像镜头，使相机对样本清晰成像，采集图像I1；第二步，移除样本，采集图像I2。本技术一种大视场样本厚度测量装置的测量原理如下：光在均匀介质中传输，其出射光强度遵循比尔—朗伯定律：I＝I0e-αL其中，I0和I分别表示入射光强度和出射光强度，α表示吸收系数，L表示传输距离(即样本的厚度)，则样本的厚度可计算如下：本技术一种大视场样本厚度测量装置利用光在均匀介质中传输，其出射光强度遵循比尔—朗伯定律，并根据比尔—朗伯定律计算出样本的厚度；本技术结构简单，可以针对光学玻璃、薄膜等均匀性透射器件，基于透过率检测，可实现大视场内样本的厚度测量，针对厚度为毫米级的样本，测量精度可达到亚微米量级。以上所述仅为本技术的较佳实施例，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大视场样本厚度测量装置，其特征在于：包括依次排列设置的光源、散射板、滤光片、成像镜头和相机，在进行样本厚度测量时，样本放置在所述滤光片和成像镜头之间；所述样本为均匀性透射器件；所述样本为光谱透过率已知的样本。

【技术特征摘要】
1.一种大视场样本厚度测量装置，其特征在于：包括依次排列设置的光源、散射板、滤光片、成像镜头和相机，在进行样本厚度测量时，样本放置在所述滤光片和成像镜头之间；所述样本为均匀性透射器件；所述样本为光谱透过率已知的样本。2.根据权利要求1所述的一种大视场样本厚度测量装置，其特征在于：所述光源为LED白光源。3.根据权利要求1或2所述的一种大视场样本厚度测量装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚平，
申请(专利权)人：武汉东湖学院，
类型：新型
国别省市：湖北,42