一种配有柔性热电偶的高温烧结炉系统技术方案
【技术实现步骤摘要】
一种配有柔性热电偶的高温烧结炉系统
本技术涉及铝粉氮化制备氮化铝用精确控温烧结炉系统，具体公开一种配有柔性热电偶的高温烧结炉系统。
技术介绍
大功率器件领域的集成度越来越高，趋于微型化、高性能化方向发展，同时散热问题成为影响器件质量的一个关键因素。传统的氧化铝已经不能满足大功率器件散热的需求。而氮化铝是一种无机非金属粉体，具有热导率高、室温强度高、热膨胀系数低、绝缘性能优良、耐高温、耐腐蚀、介电损耗小、无毒等诸多优异的性能，成为电路基板和高导热密封胶填料的首选材料。铝粉直接氮化法是制备氮化铝粉体的一种常见方法，往往较高的合成温度有利于纯化粉体和优化粉体形貌。但采用铝粉氮化法高温下制备氮化铝的过程中，由于铝粉与氮气的反应属于强放热过程，导致样品局部温度高于热电偶实际检测温度。常规的真空高温烧结炉的热电偶测温点位于加热体边缘，主要检测的是加热体的温度，而铝粉氮化的实际温度往往能比加热体高几十摄氏度，这样不利于精确控制铝粉氮化的实时温度。
技术实现思路
为了避免上述技术中的不足，本技术才采用柔性热电偶来替代刚性热电偶，公开一种配有柔性热电偶的高温烧结炉系统。具体方案为：主要由炉体部分（1）、多层坩埚（2）和柔性热电偶（3）组成，其中热电偶包括热电偶丝和热电偶保护管两部分，所述热电偶保护管分为刚性固定段（3-1）和微柔性测温段（3-2）；在铝粉与氮气在高温下制备氮化铝的实验中，可将热电偶的柔性段（3-2）深入到坩埚（2）的铝粉（2-1）中，可精确检测样品中心实时温度。进一步的，所述热电偶丝采用钨铼材质，热电偶保护管材质可以为刚玉、氮化硅、氮化铝中的一种，优选氮化硅。进...
【技术保护点】
一种配有柔性热电偶的高温烧结炉系统，其特征在于，主要由炉体部分（1）、多层坩埚（2）和柔性热电偶（3）组成，其中热电偶包括热电偶丝和热电偶保护管两部分，所述热电偶保护管分为刚性固定段（3‑1）和微柔性测温段（3‑2）；在铝粉与氮气在高温下制备氮化铝的实验中，可将微柔性测温段（3‑2）深入到坩埚（2）的铝粉（2‑1）中，可精确检测样品中心实时温度。
【技术特征摘要】
1.一种配有柔性热电偶的高温烧结炉系统，其特征在于，主要由炉体部分（1）、多层坩埚（2）和柔性热电偶（3）组成，其中热电偶包括热电偶丝和热电偶保护管两部分，所述热电偶保护管分为刚性固定段（3-1）和微柔性测温段（3-2）；在铝粉与氮气在高温下制备氮化铝的实验中，可将微柔性测温段（3-2）深入到坩埚（2）的铝粉（2-1）中，可精确检测样品中心实时温度。2.根据权利要求1所述的一种配有柔性热电偶的高温烧结炉系统，其特征在于，所述热电偶丝采用钨铼材质，热电偶保护管材质可以为刚玉、氮化硅...
【专利技术属性】
技术研发人员：张红冉，刘久明，吴诚，
申请(专利权)人：河北高富氮化硅材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河北,13
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