本发明专利技术提供一种具有从基板上自动锁定和自动解锁基片功能的基片座组件装置，用于镀膜机构，而所述基板包括一个可调卡环座。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术的一个目的是克服现有技术的缺点，即提供一种自动化的基片座组件装置， 所述装置不再需要螺钉紧固件，并且可以最大限度的减少与基片座的人为接触专利技术概述因此，本专利技术涉及一种基片座组件装置，所述基片座组件装置用于装配和拆卸某种 类型的基片座，此类型的基片座包括带有锁销的基座和带有锁扣的盖，所述盖的锁扣用 于与所述基座的锁销啮合，以将所述盖固定在基座上，所述基片座组件装置包括〖06]基片座安装座，用于支撑面朝下的所述基片座；07基片座装载支架，用于在装配和拆卸过程中支撑面朝上的所述基片座；可在所述基片座安装座与所述基片座装载支架之间移动的提升臂，用于提起所述基 片座，将其翻转，再将所述基片座置于所述基片座装载支架上；以及由所述基片座装载支架伸出的致动装置，用于使所述基片座的基座的锁销脱离锁 扣，从而使所述盖与所述基座分离，并将基片装载到所述基片座上或从所述基片座上卸 下。附图说明图1示出了常规的基片座；图3为图2所示基片座的一个实施例的横截面图；图4为图2所示基片座的另一个实施例的横截面图；图5为依据本专利技术的基片座组件装置的等轴测视图；图7为图5所示基片座组件装置的等轴测视图；图8为依据本专利技术的基片装载/拆卸工具的等轴测视图；以及图9为图8所示基片装载/拆卸工具的横截面图。详细说明20参见图2至4,依据本专利技术的一种优选基片座11包括一个安装在基座13上的普通 一次性盖12a (图3)或普通可重用盖(图4)，所述盖子最好完全或至少部分由可被 磁闭锁吸引的材料制成，例如由铁、钴和镍中一种或多种元素组成的铁磁性材料，所述磁闭锁公布于本专利技术申请人的2006年4月20日公开的公布号为2006/0081468的美国 专利申请中。基座13有一个带凹槽的圆柱形突起14 (用于接收磁闭锁的锥形销)和一 个构成环形凹槽20的环形安装圈15 (将在下文中介绍)。基座13为基片16的背面提 供了一个保护盖，从而可防止不必要的和多余的的背面涂层。每个盖12a和12b均包含 一个或多个用于基片16的开口，并确定了围绕每个开口延伸的凸缘18。凸缘18用于 将基片16的边缘固定在基座13的上表面上制出的槽19中。盖12a和12b上的开口通 常为圓形，但也可以是任何形状，如方形或椭圆形，具体形状的选取取决于基片16的 形状。21]盖12a和12b还有一个环形中间区21,用以确保基座13的上表面被盖住，从而使 所述表面免于接触杂散镀膜的材料。环形法兰22从与基座13的侧壁相邻的中间区21 垂直伸出，用以保护基座13的侧壁免于接触杂散镀膜材料。对于盖12a (图3),将环 形法兰22的上方和外部自由边缘23a向内弯曲并与环形法兰22的其余部分平行，形成 一个锁扣或凸轮面，用来与基座13上的闭锁面31啮合。在另一种方式中，可以由盖 12a垂直伸出一个或多个独立的夹头，与锁销32的闭锁面31啮合。这些夹头最好釆用 弹性材料制成，例如与盖12a相同的金属板，从而可以相对容易(即不借助工具)地将 夹头和盖12a手动释放。为方便夹头的分离可以采用各种机械手段，包括由夹头处引出 的杠杆、按钮和旋钮。盖12b的环形法兰22的上方或外部自由边缘(见图4 )有一个实心环形圏26和一 个环形凹槽27。所述环形圈26可以为锁销32提供锁扣，并有一个与环形槽27相邻的 斜角28,可提供与闭锁面31啮合的凸轮面。为方便将盖12a或12b从基座13上拆卸，闭锁面31被置于可动锁销或滑块32上， 后者在被施加足够的力时，可以向基座13的中心(如径向)往复运动，即向圓柱形突 起14运动。螺钉紧固件33经锁销32上的槽34伸入基座13,用于引导锁销32的往复 运动。由环形安装圈15背后伸出的弹簧36将锁销32向外顶出，使闭锁面31与锁扣上 的凸轮面即环形法兰22的外部自由边缘23a或23b啮合，并l是供一个抵靠力，在将盖 12a或12b从基座13上释放时必须克服此力。闭锁面31也有一个斜边，角度与斜边28 基本相同，使得闭锁面31的斜边可以与斜边28在对应于不同基片厚度的不同位置啮合。 环形槽2 7提供了足够的缝隙，用以在对应于不同基片厚度的不同位置接收锁销3 2的端部。邻接面37位于锁销32的与闭锁面31相对的一个末端上，所述邻接面37毗连于弹 簧36与锁销32的啮合处，其作用将在下文中介绍。典型的基片为直径200 mm、厚度0. 2 mm至1. 4 mm的玻璃圆片；也可以采用其他基 片形式，如厚度可达32 mm，质量可达2 kg。25]基片座如图2至4所示，它可以采用一次性盖12a (优选由廉价的金属板冲压而成， 可以在使用一、两次之后被丢弃)或可重复使用的盖12b。盖12a和12b在加速、振动 和温度周期奕化中将基片16相对基座13可靠而精确地固定。此外，盖12a和12b盖住 基座13,使基座13免于接触杂散的镀膜熔剂，否则镀膜熔剂如果发生剥落，可能沉积 在基座13上导致基片16损坏。理想情况下，盖12a和12b包括外侧的表面特性和内侧的表面特性。外侧的表面特 性应可促使杂散的4度膜材料贴附，而内侧的表面特性则应方便清洗且在与基片16接触 时不会使后者的性能降低。制造盖12a和12b的一种或多种材料在镀膜温度下应具有较 低的蒸汽压力，从而最大程度减少在镀膜时释放任何可能污染基片16或影响镀膜过程 的物质。可重用的盖12b优选采用铝或不锈钢制成。铝加工容易，重量轻，且杂散的镀膜材 料可良好地粘附。对铝制盖12b的外表面进行粗糙化加工可以提高材料粘附性。为了保 持基片支承凸缘18的形状和洁净度，在加工时必须谨慎，因为铝的硬度不高。不锈钢则非常硬，可以实现对基片16的良好支承。其外表面可以进行粗糙化处理，或者进行 其他的处理，以提高杂散的镀膜材料的贴附性。参见图5、 6和7,基片座组件装置整体编号为41，它包括基片座支座或固定部件 42、旋转杆43以及安装在平台45上的基片座装载支架44。固定部件42包括4个分开 布置的基座架46,每个支座均有一个斜面内拐角，形成斜面47和肩48。每个基座架 46的斜面47均提供了一个引导面，用以将基片座ll引导至4个肩48上的静止位置。 图中所示的固定部件42可以由任何等效结构代替，所述等效结构在基片座11附着到旋 转杆43的过程中提供辅助作用。旋转杆43绕水平转轴49可旋转地连接至装载支架部件44,包括从所述轴49向外 伸出的板51和垂直伸至板51外侧自由端的手柄52。带有锁定爪54的中心插槽53由 板51上接近中部的位置伸入环形安装圈15中，以便锁定爪54可以咬合住凹槽20,将 基片座11的基座13固定至旋转杆43上。当基座13与旋转杆43正确对准时，圆柱状 突起14进入中心插槽53。锁定爪54的致动装置55由板51上与中心插槽53相对一侧 伸出。在使用时，小心地将基片座11面朝下锁定于固定部件42上，以使锁销32与致动 器61对准。理想情况下，固定部件42配有对应于多个致动器61的位置而间隔分布的 多个指示器，所述指示器用于各锁销32与致动器61的对准，当旋转杆43转向装载支 架部件44时，锁销32与致动器61对准。在图示的实施方式中，各锁销32分别与固定分别与固定部件42的基座架46对准，这样可以保证锁销32与本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种基片座组件装置，所述基片座组件装置用于装配和拆卸某种类型的基片座，此类型的基片座包括带有锁销的基座和带有锁扣的盖，所述盖的锁扣用于与所述基座的锁销啮合，以将所述盖固定在基座上，所述基片座组件装置包括： 基片座安装座，用于支撑面朝下的所述基片座； 基片座装载支架，用于在装配和拆卸过程中支撑面朝上的所述基片座； 可在所述基片座安装座与所述基片座装载支架之间移动的提升臂，用于提起所述基片座，将其翻转，再将所述基片座置于所述基片座装载支架上；以及 由所述基片座装载支架伸出的致动装置，用于使所述基片座的基座的锁销脱离锁扣，从而使所述盖与所述基座分离，并将所述基片装载到所述基片座上或从所述基片座上卸下。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：理查德I塞顿，拉塞尔爱德华巴巴茄，罗夫埃尔兹，马库斯K提尔斯科，
申请(专利权)人：JDS尤尼弗思公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]
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