一种工业用高效低温等离子体发生器制造技术

本实用新型专利技术涉及工业生产技术领域，具体涉及一种工业用高效低温等离子体发生器，包括等离子体箱，所述等离子体箱内设置等离子体发生腔，所述等离子体发生腔内等间距设置电极，所述等离子体发生腔内部下端入口处设置蜂窝板，所述蜂窝板上设置气流孔；所述等离子体箱下端连通锥形导流管，所述锥形导流管下端通过气流管道连通风机；所述等离子体箱上端设置锥形引流罩，所述锥形引流罩上端连通绝缘软管；所述等离子体发生腔内表面、所述锥形引流罩内表面均设置绝缘层。本实用新型专利技术大大提高了气体进入等离子体发生腔内气体电离的均匀度，且具有减缓气体流速的锥形导流管和蜂窝板，利于提高电离效率和等离子体浓度。

【技术实现步骤摘要】
一种工业用高效低温等离子体发生器
本技术涉及工业生产
，具体涉及一种工业用高效低温等离子体发生器。
技术介绍
低温等离子体加工产业始于20世纪30年代。20世纪50年代，自由电子束技术被广泛应用于医疗器械，化妆品和医药产品的灭菌。自此，低温等离子体技术在工业应用中被广泛推广，如热固性树脂固化，半导体增强和食品加工等工业领域。低温等离子体是近年开始开发的，尽管一些文献提到了几种产生方法，但并没有更加深入的了解它。目前它的用途主要限于少数低功率应用，如等离子电视，复印机，和空气净化器。使用自由电子束及低温等离子体最主要的缺点是产品必须直接置于放电路径中。此外，能量无法储存也是一个限制方面。目前由于缺乏可靠，低成本，易操作的方法来产生低温等离子体，故其尚未有大规模工业应用。在等离子体生产中，通常需要将外部的气体导入到等离子体发生腔内进行处理。然而，直接将外部气体通入到等离子体发生腔内常常会引起气体的不均匀分布，会出现气体局部集中或者出现气体死区(没有气体流入)等情况，严重影响了等离子体发生腔内处理效果和反应效率。从而影响等离子体的产生效率，造成资源上的浪费。技术内容解决的技术问题针对本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种工业用高效低温等离子体发生器，包括等离子体箱(1)，其特征在于：所述等离子体箱(1)内设置等离子体发生腔(2)，所述等离子体发生腔(2)内等间距设置电极(3)，所述等离子体发生腔(2)内部下端入口处设置蜂窝板(4)，所述蜂窝板(4)上设置气流孔(5)；所述等离子体箱(1)下端连通锥形导流管(6)，所述锥形导流管(6)下端通过气流管道(7)连通风机(8)；所述等离子体箱(1)上端设置锥形引流罩(9)，所述锥形引流罩(9)上端连通绝缘软管(10)；所述等离子体发生腔(2)内表面、所述锥形引流罩(9)内表面均设置绝缘层。

【技术特征摘要】
1.一种工业用高效低温等离子体发生器，包括等离子体箱(1)，其特征在于：所述等离子体箱(1)内设置等离子体发生腔(2)，所述等离子体发生腔(2)内等间距设置电极(3)，所述等离子体发生腔(2)内部下端入口处设置蜂窝板(4)，所述蜂窝板(4)上设置气流孔(5)；所述等离子体箱(1)下端连通锥形导流管(6)，所述锥形导流管(6)下端通过气流管道(7)连通风机(8)；所述等离子体箱(1)上端设置锥形引流罩(9)，所述锥形引流罩(9)上端连通绝缘软管(10)；所述等离子体发生腔(2)内表面、所述锥形引流罩(9)内表面均设置绝缘层。2.根据权利要求1所述的一种工业用高效低温等离子体发生器，其特征在于，所述蜂窝板(4)的外形尺寸与所述等离子体发生腔(2)的内表面结构尺寸相匹配。3.根据权利要求1所述的一种工业用高效低温等离子体发生器，其特征在于，所述电极(3)相互平行，所述气流孔(5)...

【专利技术属性】
技术研发人员：康志亮，罗强，夏思凡，
申请(专利权)人：四川农业大学，
类型：新型
国别省市：四川,51