The printing system for printing substrates can be contained in gas packages, and the environment in the package can be maintained as a controlled printing environment. The controlled environment may include the control of the type of gas environment in the gas package, the control of the size and level of the particulate matter in the package, the control of the temperature in the package, and the control of the lighting. Various implementations can include the X and Y axis motion systems using linear air bearing technology and an ultrasonic floating table as a substrate, which can significantly reduce the excess heat load in the gas package. In addition, the X and Y axis motion systems of the linear air bearing motion system and the ultrasonic floating table as the substrate equipment are low particle generation devices, which combine with the filter and circulation system to provide a low particle printing system environment.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】打印系统组件和方法有关申请的交叉引用该申请要求2015年9月24日提交的美国临时申请No.62/232,339的权益,该临时申请以引用的方式全部并入本文。概述对有机发光二极管(OLED)显示器技术的潜能的关注已经由包括显示器面板的演示的OLED显示器技术性质驱动,所述显示器面板具有高度饱和的颜色、高对比度、超薄、快速响应、而且能量有效。另外,各种基板材料(包括柔性聚合物材料)可以用于制造OLED显示器技术。尽管针对小屏幕应用(主要针对蜂窝电话)的显示器的演示已经用来强调该技术的潜力,但是在一定范围的基板版式中以高产量定标大容量制造方面仍然存在挑战。针对版式的定标,Gen5.5基板具有大约130cmx150cm的尺寸,并且可以产生大约8个26”平板显示器。相比之下,较大版式的基板可以包括使用Gen7.5和Gen8.5母玻璃基板大小。Gen7.5母玻璃具有大约195cmx225cm的尺寸,并且可以切割成每基板8个42”或者6个47”平板显示器。Gen8.5中使用的母玻璃大约为220cmx250cm,并且可以切割成每基板6个55”或者8个46”平板显示器。在将OLED显示器制造定标成较大版式中仍存在的挑战的一个指示是:在大于Gen5.5基板的基板上以高产量大容量制造OLED显示器已被证明为极具挑战性。原则上,可以通过使用OLED打印系统在基板上打印各种有机薄膜以及其它材料来制造OLED装置。这种有机材料可能容易受到氧化和其它化学过程的损害。以可以定标用于各种基板大小并且可以在惰性的、基本上低颗粒的打印环境中进行的方式来容纳OLED打印系统可以提出各种工程挑战。用于 ...
【技术保护点】
一种打印系统,包括:限定内部的气体封装件;以及打印系统,所述打印系统容纳在气体封装组件的所述内部中,所述打印系统包括:打印头组件,所述打印头组件包括至少一个打印头;基板支撑设备,用于支撑基板,其中,所述基板支撑设备包括超声波浮动台;以及运动系统,用于相对于所述打印头组件来定位所述基板,所述运动系统包括:Y轴线性空气轴承运动系统,所述Y轴线性空气轴承运动系统构造有用于夹持所述基板的基板夹持器组件,和用于使所述基板的定向与行进Y轴维持平行的夹持器运动控制系统;以及X轴线性空气轴承运动系统。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.09.24 US 62/2323391.一种打印系统,包括:限定内部的气体封装件;以及打印系统,所述打印系统容纳在气体封装组件的所述内部中,所述打印系统包括:打印头组件,所述打印头组件包括至少一个打印头;基板支撑设备,用于支撑基板,其中,所述基板支撑设备包括超声波浮动台;以及运动系统,用于相对于所述打印头组件来定位所述基板,所述运动系统包括:Y轴线性空气轴承运动系统,所述Y轴线性空气轴承运动系统构造有用于夹持所述基板的基板夹持器组件,和用于使所述基板的定向与行进Y轴维持平行的夹持器运动控制系统;以及X轴线性空气轴承运动系统。2.根据权利要求1所述的打印系统,其中,所述夹持器运动系统能够使基板平行于所述行进Y轴的定向维持在+/-4300微弧度内。3.根据权利要求1所述的打印系统,其中,所述超声波浮动台构造成提供真空预加载。4.根据权利要求3所述的打印系统,所述超声波浮动台构造有真空歧管,以提供真空预加载。5.根据权利要求3所述的打印系统,所述超声波浮动台构造有多孔板,以提供真空预加载。6.根据权利要求3所述的打印系统,其中,所述真空预加载提供用于基板的面向上的定向。7.根据权利要求3所述的打印系统,其中,所述真空预加载提供用于基板的面向下的定向。8.根据权利要求1所述的打印系统,其中,所述超声波浮动台构造成支撑...
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