压印用的模板制造装置以及模板制造方法制造方法及图纸

实施方式的压印用的模板制造装置具备：工作台(13)，对模板(W)进行支承，该模板(W)具有形成有凹凸图案的凸部(52)；供给头(11)，向工作台(13)上的模板(W)供给液状的疏液材料；移动机构(15)、(17A)以及(17B)，使供给头(11)以及工作台(13)在沿着工作台(13)的方向上相对移动；以及控制部(40)，对供给头(11)以及移动机构进行控制，以使供给头(11)避开凹凸图案而至少在凸部(52)的侧面涂敷液状的疏液材料。液状的疏液材料包含与模板(W)的表面反应的疏液成分以及非疏液成分、将疏液成分溶解的挥发性溶剂、以及将非疏液成分溶解的氟系的挥发性溶剂。

Template manufacturing device for stamping and template manufacturing method

A template manufacturing device for an imprint of an implementation: a worktable (13) supporting a template (W) with a convex part (52) having a concave and convex pattern, a supply head (11), a liquid like liquid material to the template (W) on the worktable (13), and a mobile mechanism (15), (17A), and (17B), to supply the head (11) and the workbench (11). 13) relative movement along the direction of the worktable (13), and the control unit (40), control the supply head (11) and the moving mechanism so that the supply head (11) avoids the bump pattern and at least the liquid material is applied to the side of the convex part (52). The liquid material contains the thinning liquid component that reacts with the surface of the template (W) and the non thinning component, the volatile solvent that dissolves the thinning liquid component, and the volatile solvent of the fluorine system that dissolves the non thinning component.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压印用的模板制造装置以及模板制造方法
本专利技术的实施方式涉及压印用的模板制造装置以及模板制造方法。
技术介绍
近年来，作为在半导体基板等被处理物上形成细微的图案的方法，提出了一种压印法。该压印法是如下方法：将形成有凹凸图案的模具(原版)按压于涂敷在被处理物上的液状的被转印物(例如光固化性树脂)，从其单侧照射光，之后，使模具脱离固化后的被转印物，从而使凹凸图案转印于被转印物。作为按压于液状的被转印物的表面的模具，使用了模板。该模板也被称作模塑、压印模或者压模等。模板由透光性高的石英等形成，以便在使前述的被转印物固化的工序(转印工序)中，容易被紫外线等光透过。在该模板的主面设有凸部(凸状的部位)，在该凸部形成有用于向前述的液状的被转印物按压的凹凸图案。例如，将具有凹凸图案的凸部称作台地(mesa)部，将模板的主面中除台地部以外的部分称作非台地(オフ台地)部。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第5537517号公报
技术实现思路
专利技术将要解决的课题然而，若将模板按压于液状的被转印物，则液状的被转印物虽然是少量但还是从凸部的端部溢出，溢出的液状的被转印物有时会沿着凸部的侧面(侧壁)而本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压印用的模板制造装置，其特征在于，具备：工作台，对模板进行支承，该模板具有基体和凸部，该基体具有主面，该凸部设于上述主面上，在该凸部中的端面形成有向液状的被转印物按压的凹凸图案；供给头，向上述工作台上的上述模板供给将上述液状的被转印物弹开的液状的疏液材料；移动机构，使上述工作台以及上述供给头在沿着上述工作台的方向上相对移动；以及控制部，对上述供给头以及上述移动机构进行控制，以使上述供给头避开上述凹凸图案而至少在上述凸部的侧面涂敷上述液状的疏液材料，上述液状的疏液材料包含：与上述模板的表面反应的疏液成分；与上述模板的表面反应的非疏液成分；将上述疏液成分溶解的挥发性溶剂；以及将上述非疏液成分溶...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.07.14 JP 2015-1404241.一种压印用的模板制造装置，其特征在于，具备：工作台，对模板进行支承，该模板具有基体和凸部，该基体具有主面，该凸部设于上述主面上，在该凸部中的端面形成有向液状的被转印物按压的凹凸图案；供给头，向上述工作台上的上述模板供给将上述液状的被转印物弹开的液状的疏液材料；移动机构，使上述工作台以及上述供给头在沿着上述工作台的方向上相对移动；以及控制部，对上述供给头以及上述移动机构进行控制，以使上述供给头避开上述凹凸图案而至少在上述凸部的侧面涂敷上述液状的疏液材料，上述液状的疏液材料包含：与上述模板的表面反应的疏液成分；与上述模板的表面反应的非疏液成分；将上述疏液成分溶解的挥发性溶剂；以及将上述非疏液成分溶解的氟系的挥发性溶剂。2.根据权利要求1所述的压印用的模板制造装置，其特征在于，上述控制部对上述供给头以及上述移动机构进行控制，以使上述供给头向上述凸部的周围的上述主面上供给上述液状的疏液材料，并在上述凸部的侧面涂敷上述液状的疏液材料。3.根据权利要求1所述的压印用的模板制造装置，其特征在于，将上述疏液成分溶解的挥发性溶剂为氟系溶剂，上述氟系的挥发性溶剂是挥发性比将上述疏液成分溶解的挥发性溶剂高的溶剂。4.根据权利要求1所述的压印用的模板制造装置，其特征在于，上述氟系的挥发性溶剂是氟系不活性液体。5.根据权利要求1所述的压印用的模板制造装置，其特征在于，还具备对在上述凸部的侧面涂敷有上述液状的疏液材料的上述模板...

【专利技术属性】
技术研发人员：出村健介，中村聪，松岛大辅，幡野正之，柏木宏之，
申请(专利权)人：芝浦机械电子株式会社，东芝存储器株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP