太阳能rena刻蚀机槽体改造结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种太阳能rena刻蚀机槽体改造结构，包括主槽和储液罐，在主槽底部开有若干个孔；主槽和副槽的横截面相同，主槽设置在副槽之上；所述副槽放置于外槽中，在外槽的底部设置有溢出孔，溢出孔的开孔位置与副槽的放置位置错开；溢出孔通过细管连接储液罐，储液罐的输出端通过细管连接泵，泵的输出端通过细管连接副槽。本实用新型专利技术是改变槽体的结构，泵将储液罐抽至副槽，然后副槽满之后药液通过主槽槽底的多孔溢至主槽，主槽底的孔细小，药液进入主槽比较均匀，且泵从储液罐抽取的空气经过多孔逸出时，无法凝聚成大气泡，气泡基本在副槽里就基本破裂，避免了原横流管冒气泡破裂导致硅片的不良。

Transformation structure of tank body of solar Rena etching machine

The utility model discloses a transformation structure of a solar Rena etching machine, including a main slot and a liquid storage tank. A number of holes are opened at the bottom of the main slot; the cross section of the main slot and the vice groove is the same, the main slot is set on the vice groove; the auxiliary slot is placed in the outer slot, and the bottom of the outer groove is provided with a spillover hole and the opening position of the overflow hole. It is disconnected from the position of the sub slot; the overflow hole is connected to the storage tank through the pipe, the output end of the storage tank is connected to the pump through the pipe, and the output end of the pump connects the sub slot through the pipe. The utility model is to change the structure of the tank, and the pump will pump the liquid storage tank to the sub slot, and then the hole in the bottom of the main slot is spilled to the main trough after the side slot is full, the hole in the bottom of the main tank is fine, the liquid is more uniform into the main tank, and the air that the pump is extracted from the storage tank can not be condensed into large bubbles when the air is out of the hole, and the bubbles are basically in the air. The vice tank is basically broken, avoiding the poor silicon wafer caused by the bubble rupture of the original cross flow tube.

【技术实现步骤摘要】
太阳能rena刻蚀机槽体改造结构
本技术涉及一种太阳能RENA刻蚀机通过槽体改造减少不良品的方法，属于太阳能刻蚀
，具体是一种太阳能rena刻蚀机槽体改造结构。
技术介绍
刻蚀槽：去除边缘的结，防止漏电，硅片采取“水上漂”进行背面腐蚀。目前刻蚀机的刻蚀槽的使用药液(还有氢氟酸，硝酸，硫酸，水四种化学物质)，RENA刻蚀机通过泵从储液槽抽液至主槽的横流管，然后由横流管上的细孔(细孔是管子的朝下方，以防喷液至主槽时引起液面波动)均匀喷液至主槽，主槽多余的液会通过主槽边上的外槽流至储液槽，溶液进行均匀循环使用。但是泵在抽取储液槽溶液的时候会带入一部分空气进入横流管，由于空气聚集越来越多，气泡会从横流管的气孔里冒出来至液面处发生破碎，气泡破碎导致药液波动，引起翻液至硅片正面的上，腐蚀正面，加工至成品引起外观降级，给公司带来一定的经济损失。
技术实现思路
本技术针对
技术介绍
中存在的问题，提出一种太阳能rena刻蚀机槽体改造结构。技术方案：一种太阳能rena刻蚀机槽体改造结构，包括主槽和储液罐，其特征是：在主槽底部开有若干个孔；主槽和副槽的横截面相同，主槽设置在副槽之上；所述副槽放置于外槽中，在外槽的底部设置有溢出孔，溢出孔的开孔位置与副槽的放置位置错开；溢出孔通过细管连接储液罐，储液罐的输出端通过细管连接泵，泵的输出端通过细管连接副槽。优选的，所述主槽底部全部为孔，孔的直径为3mm，相邻孔圆心间距为4.5mm。优选的，所述溢出孔的直径为7cm。优选的，所述泵的功率为2.2KW。优选的，所述细管的材质为PVDF，直径为6cm。本技术的有益效果本技术是改变槽体的结构，刻蚀主槽内取消横流管，将刻蚀主槽下加一层槽体(副槽)，且将主槽底部改为多个孔的结构，泵将储液罐抽至副槽，然后副槽满之后药液通过主槽槽底的多孔溢至主槽，主槽底的孔细小，药液进入主槽比较均匀，且泵从储液罐抽取的空气经过多孔逸出时，无法凝聚成大气泡，气泡基本在副槽里就基本破裂，避免了原横流管冒气泡破裂导致硅片的不良。附图说明图1为本技术结构示意图。具体实施方式下面结合实施例对本技术作进一步说明，但本技术的保护范围不限于此：实施例1：一种太阳能rena刻蚀机槽体改造结构，包括主槽1和储液罐7，在主槽1底部开有若干个孔2；主槽1和副槽3的横截面相同，主槽1设置在副槽3之上；所述副槽3放置于外槽4中，在外槽4的底部设置有溢出孔5，溢出孔5的开孔位置与副槽3的放置位置错开；溢出孔5通过细管6连接储液罐7，储液罐7的输出端通过细管6连接泵8，泵8的输出端通过细管6连接副槽3。优选的实施例中：所述主槽底部全部为孔2，孔2的直径为3mm，相邻孔2圆心间距为4.5mm。所述溢出孔5的直径为7cm。所述泵8的功率为2.2KW。所述细管6的材质为PVDF，直径为6cm。本技术是改变槽体的结构，刻蚀主槽1内取消横流管，将刻蚀主槽1下加一层槽体(副槽3)，且将主槽1底部改为多个孔2的结构，泵8将储液罐7中的药液抽至副槽3，然后副槽3满之后药液通过主槽1槽底的多孔2溢至主槽1，主槽1槽底的孔2细小，药液进入主槽1比较均匀，且泵8从储液罐7抽取的空气经过多孔2逸出时，无法凝聚成大气泡，气泡基本在副槽3里就基本破裂，避免了原横流管冒气泡破裂导致硅片的不良。本文中所描述的具体实施例仅仅是对本技术精神做举例说明。本技术所属
的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本技术的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种太阳能rena刻蚀机槽体改造结构，包括主槽(1)和储液罐(7)，其特征是：在主槽(1)底部开有若干个孔(2)；主槽(1)和副槽(3)的横截面相同，主槽(1)设置在副槽(3)之上；所述副槽(3)放置于外槽(4)中，在外槽(4)的底部设置有溢出孔(5)，溢出孔(5)的开孔位置与副槽(3)的放置位置错开；溢出孔(5)通过细管(6)连接储液罐(7)，储液罐(7)的输出端通过细管(6)连接泵(8)，泵(8)的输出端通过细管(6)连接副槽(3)。

【技术特征摘要】
1.一种太阳能rena刻蚀机槽体改造结构，包括主槽(1)和储液罐(7)，其特征是：在主槽(1)底部开有若干个孔(2)；主槽(1)和副槽(3)的横截面相同，主槽(1)设置在副槽(3)之上；所述副槽(3)放置于外槽(4)中，在外槽(4)的底部设置有溢出孔(5)，溢出孔(5)的开孔位置与副槽(3)的放置位置错开；溢出孔(5)通过细管(6)连接储液罐(7)，储液罐(7)的输出端通过细管(6)连接泵(8)，泵(8)的输出端通过细管(6)连接副槽(3)。2.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐建，俞超，李慧，吴俊清，樊华，张子森，
申请(专利权)人：东方环晟光伏江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32