一种适用于太阳能电池的进气系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种适用于太阳能电池的进气系统，包括炉体，还包括：用于气体进入所述炉体的管路，所述管路设置有气体流量计；及与所述管路并列设置的旁路管路，所述旁路管路的两端分别通过连接阀连接于位于所述炉体与所述气体流量计之间的所述管路上，所述旁路管路上沿所述气体流量计至所述炉体的方向依次设置有泄压阀和气路报警装置。该进气系统通过设置旁路管路能够避免进气系统发生堵塞后出现源瓶爆瓶、硅片返工等现象。

An air intake system for solar cells

The utility model discloses an air intake system for a solar cell, including a furnace body and a pipe for gas entering the furnace body, a gas flowmeter which is provided with a bypass line arranged in parallel with the pipe, and the two ends of the bypass line are connected by a connecting valve to the said pipe. In the pipeline between the furnace body and the gas flowmeter, the gas flow meter and the gas circuit alarm device are arranged in the direction of the gas flowmeter to the furnace body in the bypass line. The intake system can avoid the source bottle explosion and the rework of silicon wafers after the intake system is blocked by setting up the bypass pipeline.

【技术实现步骤摘要】
一种适用于太阳能电池的进气系统
本技术涉及太阳能电池制造
，尤其涉及一种适用于太阳能电池的进气系统。
技术介绍
太阳能电池在生产过程中，通过扩散以形成PN结，现有技术中的扩散通常是通过扩散炉实现。扩散炉主要由气路系统、加热系统、炉体等部分组成。而气路系统又可细分为进气系统与出气系统等组成部分，其中进气系统气体主要由氮气、通源氮气、氧气组成。如图1所示，由外围提供的氮气与氧气气体通过相应的氮气流量计2′与氧气流量计4′后通过对应第一管路3′与第二管路5′进入炉体1′，通源氮气则在通过通源氮气流量计6′后通过对应第三管路7′进入源瓶8′，以携带气态三氯氧磷后再通过对应第四管路9′进入炉体1′。由于第一管路1′、第二管路2′、第三管路3′及第四管路4′都是一条独立的管路，若任意一条管路及源瓶在实际生产过程中发生堵塞现象，则会带来源瓶爆瓶、磷源泄露以及硅片返工等意外状况的发生。为此，亟需一种新型的进气系统用于解决上述管路存在的缺陷。
技术实现思路
本技术的目的在于提出一种适用于太阳能电池的进气系统，能够避免进气系统发生堵塞后出现源瓶爆瓶、硅片返工等现象。为达此目的，本技术采用以下技术方案：一种适用于太阳能电池的进气系统，包括炉体，还包括：用于气体进入所述炉体的管路，所述管路设置有气体流量计；及与所述管路并列设置的旁路管路，所述旁路管路的两端分别通过连接阀连接于位于所述炉体与所述气体流量计之间的所述管路上，所述旁路管路上沿所述气体流量计至所述炉体的方向依次设置有泄压阀和气路报警装置。优选的，所述旁路管路的直径为10～25mm。优选的，所述旁路管路的直径为15mm。优选的，所述连接阀为三通阀。优选的，所述泄压阀的泄压阀值为3～5bar。优选的，所述泄压阀的泄压阀值为4bar。优选的，所述管路包括用于氮气进入所述炉体的第一管路，所述第一管路设置有氮气流量计，所述旁路管路的两端分别连接于位于所述氮气流量计和所述炉体之间的所述第一管路上。优选的，所述管路包括用于氧气进入所述炉体的第二管路，所述第二管路设置有氧气流量计，所述旁路管路的两端分别连接于位于所述氧气流量计和所述炉体之间的所述第二管路上。优选的，所述管路包括：用于通源气体进入源瓶的第三管路，所述第三管路连接有通源氮气流量计；及用于所述源瓶流出的携源气体进入所述炉体的第四管路；其中，所述旁路管路的一端连接于位于所述通源氮气流量计与所述源瓶之间的所述第三管路上、另一端连接于位于所述源瓶与所述炉体之间的所述第四管路上。优选的，所述管路的压力范围为2.5～3.5bar。本技术的有益效果为：本技术的进气系统通过设置旁路管路，当管路发生堵塞时，旁路管路的泄压阀则会自动检测旁路管路中的压力值，若该压力值达到泄压阀的设定阀值时，泄压阀则会打开，管路中的气流便可以通过旁路管路进入炉体，同时通过气路报警装置发出报警信息以提醒工作人员第一时间处理故障，因此，该进气系统能够避免进气系统发生堵塞后出现源瓶爆瓶、硅片返工等现象。附图说明图1是现有技术中的进气系统的结构示意图；图2是本技术具体实施方式提供的进气系统的结构示意图。图中：1′-炉体；2′-氮气流量计；3′-第一管路；4′-氧气流量计；5′-第二管路；6′-通源氮气流量计；7′-第三管路；8′-源瓶；9′-第四管路；1-炉体；2-氮气流量计；3-第一管路；4-氧气流量计；5-第二管路；6-通源氮气流量计；7-第三管路；8-源瓶；9-第四管路；10-旁路管路；11-连接阀；12-泄压阀；13-气路报警装置。具体实施方式下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。如图2所示，本技术提供的适用于太阳能电池的进气系统，包括炉体1及用于气体进入所述炉体1的管路，所述管路设置有气体流量计。特别地，该进气系统还包括与所述管路并列设置的旁路管路10，所述旁路管路10的两端分别通过连接阀11连接于位于所述炉体1与所述气体流量计之间的所述管路上，优选的，所述连接阀11为三通阀。所述旁路管路10上沿所述气体流量计至所述炉体1的方向依次设置有泄压阀12和气路报警装置13。所述泄压阀12的泄压阀值为3～5bar。例如泄压阀值可以为3bar、3.1bar、3.2bar、3.3bar、3.4bar、3.5bar、3.6bar、3.7bar、3.8bar、3.9bar、4bar、4.1bar、4.2bar、4.3bar、4.4bar、4.5bar、4.6bar、4.7bar、4.8bar、4.9bar、5bar，优选的，所述泄压阀12的泄压阀值为4bar。在本实施例中，所述管路包括用于氮气进入所述炉体1的第一管路3，所述第一管路3设置有氮气流量计2，所述旁路管路10的两端分别连接于位于所述氮气流量计2和所述炉体1之间的所述第一管路3上。所述管路还包括用于氧气进入所述炉体1的第二管路5，所述第二管路5设置有氧气流量计4，所述旁路管路10的两端分别连接于位于所述氧气流量计4和所述炉体1之间的所述第二管路5上。所述管路还包括用于通源气体进入源瓶8的第三管路7，所述第三管路7连接有通源氮气流量计6；及用于所述源瓶8流出的携源气体进入所述炉体1的第四管路9；其中，所述旁路管路10的一端连接于位于所述通源氮气流量计6与所述源瓶8之间的所述第三管路7上、另一端连接于位于所述源瓶8与所述炉体1之间的所述第四管路9上。优选的，源气体为气态三氯氧磷。所述旁路管路10的直径为10～25mm。例如该直径可以为10mm、11mm、12mm、13mm、14mm、15mm、16mm、17mm、18mm、18mm、19mm、20mm、21mm、22mm、23mm、24mm、25mm，优选的，所述旁路管路10的直径为15mm。在本实施例中，正常工作条件下，第一管路3、第二管路5、第三管路7及第四管路9的压力范围为2.5～3.5bar，例如该压力范围可以为2.5bar、2.6bar、2.7bar、2.8bar、2.9bar、3bar、3.1bar、3.2bar、3.3bar、3.4bar、3.5bar。当第一管路3、第二管路5、第三管路7及第四管路9堵塞时，其压力值随之增加，当压力值达到泄压阀12的泄压阀值4bar时，泄压阀12随之打开，相应气体气流便可以通过旁路管路进入炉体，同时气路报警装置产生报警信息以提醒工作人员对气路堵塞异常进行处理。本技术与现有技术相比具有下列优点：1.避免通源氮气进气气路(第三管路和第四管路)发生堵塞后可能导致的源瓶爆瓶磷源泄露的安全隐患；2.减少氮气与氧气进气气路(第一管路和第二管路)发生堵塞后可能导致的硅片返工；3.第一时间解决扩散炉管进气气路堵塞现象，整体计结构简单，操作简易。以上结合具体实施例描述了本技术的技术原理。这些描述只是为了解释本技术的原理，而不能以任何方式解释为对本技术保护范围的限制。基于此处的解释，本领域的技术人员不需要付出创造性的劳动即可联想到本技术的其它具体实施方式，这些方式都将落入本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种适用于太阳能电池的进气系统，包括炉体(1)，其特征在于，还包括：用于气体进入所述炉体(1)的管路，所述管路设置有气体流量计；及与所述管路并列设置的旁路管路(10)，所述旁路管路(10)的两端分别通过连接阀(11)连接于位于所述炉体(1)与所述气体流量计之间的所述管路上，所述旁路管路(10)上沿所述气体流量计至所述炉体(1)的方向依次设置有泄压阀(12)和气路报警装置(13)。

【技术特征摘要】
1.一种适用于太阳能电池的进气系统，包括炉体(1)，其特征在于，还包括：用于气体进入所述炉体(1)的管路，所述管路设置有气体流量计；及与所述管路并列设置的旁路管路(10)，所述旁路管路(10)的两端分别通过连接阀(11)连接于位于所述炉体(1)与所述气体流量计之间的所述管路上，所述旁路管路(10)上沿所述气体流量计至所述炉体(1)的方向依次设置有泄压阀(12)和气路报警装置(13)。2.根据权利要求1所述的进气系统，其特征在于，所述旁路管路(10)的直径为10～25mm。3.根据权利要求2所述的进气系统，其特征在于，所述旁路管路(10)的直径为15mm。4.根据权利要求1所述的进气系统，其特征在于，所述连接阀(11)为三通阀。5.根据权利要求1所述的进气系统，其特征在于，所述泄压阀(12)的泄压阀值为3～5bar。6.根据权利要求5所述的进气系统，其特征在于，所述泄压阀(12)的泄压阀值为4bar。7.根据权利要求1～6任一项所述的进气系统，其特征在于，所述管路包括用于氮气进入所述炉体(1)的第一管路(3)...

【专利技术属性】
技术研发人员：张春华，徐义胜，陈佳男，侯玉，衡阳，郑旭然，李栋，邢国强，
申请(专利权)人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32